Takyk önümçilik we ylmy barlaglar pudaklarynda granit takyk platformalaryň tekizligi enjamlaryň takyklygyny üpjün etmek üçin esasy görkeziji bolup durýar. Aşakda size birnäçe esasy anyklaýyş usullary we olaryň işleýiş tertibi barada jikme-jik maglumat berilýär.
I. Lazer interferometrini anyklamak usuly
Lazer interferometri ýokary takyklykly tekizligi anyklamak üçin iň gowy guraldyr. Mysal hökmünde ZYGO GPI XP lazer interferometrini alyp görüň, onuň çözgüdi 0,1 nm-e ýetip biler. Anyklama geçirilende, ilki interferometriň ýagtylyk çeşmesini platforma bilen deňleşdiriň we platformanyň ýüzüni 50mm × 50mm tor meýdanlaryna bölüň. Soňra interferensiýa çyzyklarynyň maglumatlary nokatma-nokat ýygnaldy we maglumatlar Zernike polinomyalyny ulanyp deňleşdirildi we seljerildi, tekizlik ýalňyşlygyny almak üçin. Bu usul ýokary takyklykly platformalara degişlidir we ≤0,5μm/m² tekizlik ýalňyşlyklaryny anyklap bilýär. Ol köplenç fotolitografiýa maşynlaryny we ýokary derejeli üç koordinatly ölçeg maşyn platformalaryny anyklamakda ulanylýar.
II. Elektron derejeli massiw usuly
Elektron derejeli massiwi anyklaýyş usuly ulanmak üçin ýönekeý we ýokary netijelidir. TESA A2 elektron derejesi (0.01μm/m çözgütli) platformanyň X/Y okunyň ugry boýunça 9×9 massiwde saýlanyldy we ýerleşdirildi. Her bir derejäniň meýil maglumatlaryny sinhron ýygnamak we soňra hasaplamak üçin iň kiçi kwadratlar usulyny ulanmak arkaly tekizlik gymmatyny takyk almak mümkin. Bu usul platformanyň ýerli içýakgynlyk we gapaklyk şertlerini netijeli kesgitläp biler. Mysal üçin, 50 mm aralygynda 0.2μm üýtgemesini hem anyklap bolýar, bu bolsa köpçülikleýin önümçilikde çalt anyklamak üçin amatlydyr.
III. Optiki tekiz kristal usuly
Optiki tekiz kristal usuly kiçi meýdanly platformalary ýüze çykarmak üçin amatlydyr. Optiki tekiz kristaly platformada synagdan geçiriljek ýüze berk birikdiriň we monohromatik ýagtylyk çeşmesiniň (meselem, natriý lampasynyň) şöhlelenmesi astynda olaryň arasynda emele gelen interferensiýa zolaklaryna syn ediň. Eger zolaklar parallel göni zolaklar bolsa, bu gowy tekizligi görkezýär. Eger egri zolaklar peýda bolsa, tekizlik ýalňyşlygyny zolak egriliginiň derejesine esaslanyp hasaplaň. Her bir egri zolak 0,316μm beýiklik tapawudyny görkezýär we tekizlik maglumatlaryny ýönekeý öwürmek arkaly alyp bolýar.
Dördünji. Üç koordinatly ölçeg maşynynyň barlag usuly
Üç koordinatly ölçeg enjamy üç ölçegli giňişlikde ýokary takyklykly ölçegleri amala aşyryp biler. Granit platformasyny ölçeg enjamynyň iş stoluna goýuň we platformanyň ýüzündäki birnäçe ölçeg nokatlaryndan maglumatlary deň derejede ýygnamak üçin zond ulanyň. Ölçeg enjamynyň ulgamy platformanyň tekizlik hasabatyny döretmek üçin bu maglumatlary işläp we seljerýär. Bu usul diňe bir tekizligi anyklamak bilen çäklenmän, eýsem platformanyň beýleki geometrik parametrlerini hem bir wagtda alyp bilýär we uly granit platformalaryny toplumlaýyn anyklamak üçin amatlydyr.
Bu anyklaýyş usullaryny özleşdirmek granit takyk platformasynyň tekizligini takyk baha bermäge we takyk enjamlaryň durnukly işlemegi üçin ygtybarly kepillik bermäge kömek edip biler.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 29-njy maýy