Ýarymgeçirijileri öndürýän sehde çip öndürmek prosesiniň daşky gurşaw şertlerine we enjamlaryň takyklygyna bolan talaplary örän ýokarydyr we islendik kiçijik üýtgeşiklik çip önümçiliginiň ep-esli pese gaçmagyna getirip biler. XYZT takyk portal hereket platformasy nanosölçegli takyklyga ýetmek üçin berk binýady döretmek maksady bilen platformanyň beýleki bölekleri bilen hyzmatdaşlyk etmek üçin granit böleklerine daýanýar.
Ajaýyp titreme blokirleme häsiýetleri
Ýarymgeçiriji önümçilik sehinde, periferik enjamlaryň we işgärleriň işlemegi titreme döredip biler. Granit bölekleriniň içki gurluşy dykyz we birmeňzeş bolup, netijeli titreme "böwedi" ýaly tebigy ýokary demping häsiýetlerine eýedir. Daşarky titreme XYZT platformasyna geçirilende, granit bölegi titreme energiýasynyň 80% -den gowragyny netijeli gowşadyp we platformanyň hereket takyklygyna titreme päsgelçiligini azaldyp biler. Şol bir wagtyň özünde, platforma granit bölekleri bilen bilelikde işleýän ýokary takyklykly howa ýüzýän ýol görkeziji ulgamy bilen enjamlaşdyrylandyr. Howa ýüzýän ýol görkeziji platformanyň hereket edýän bölekleriniň kontaktsiz asma hereketini amala aşyrmak we mehaniki sürtülme sebäpli dörän kiçi titremäni azaltmak üçin ýokary basyşly gaz bilen emele gelen durnukly gaz plýonkasyny ulanýar. Ikisi bilelikde çip litografiýasy we aşındyrma ýaly esasy proseslerde platformanyň ýerleşiş takyklygynyň hemişe nanometr derejesinde saklanmagyny üpjün edýär we titreme sebäpli çip zynjyrynyň nagyşlarynyň üýtgemesiniň öňüni alýar.
Ajaýyp termal durnuklylyk
Sehde temperatura we çyglylyk üýtgemeleri çip öndürýän enjamlaryň takyklygyna uly täsir edýär. Granitiň termal giňelme koeffisiýenti örän pes, adatça 5-7 × 10⁻⁶/℃ aralygynda, temperatura üýtgese-de, ölçegi diýen ýaly üýtgemeýär. Sehde gündiz bilen gijäniň arasyndaky temperatura tapawudy ýa-da enjamyň ýylylyk öndürmegi daşky gurşawyň temperaturasynyň üýtgemegine sebäp bolsa-da, granit bölekleri termal giňelme we gysylma sebäpli platformanyň deformasiýasynyň öňüni almak üçin durnukly bolup biler. Şol bir wagtyň özünde, platforma bilen üpjün edilen akylly temperatura dolandyryş ulgamy daşky gurşawyň temperaturasyny real wagt režiminde gözegçilik edýär, kondisioneri we ýylylyk ýaýradyjy enjamlary awtomatiki usulda sazlaýar we sehiň temperaturasyny 20°C ±1°C derejesinde saklaýar. Granitiň termal durnuklylygynyň artykmaçlyklary bilen utgaşdyrylyp, platformanyň uzak möhletli işlemeginde her bir okuň hereket takyklygynyň hemişe çip öndürýän nanometr takyklyk standartlaryna laýyk gelmegini üpjün ediň, çip litografiýasynyň ölçeginiň takyklygyny, oýulma çuňlugynyň deň bolmagyny üpjün ediň.
Arassa daşky gurşawyň zerurlyklaryny kanagatlandyrmak
Ýarymgeçiriji önümçilik sehi tozan bölejikleriniň çipi hapalamagynyň öňüni almak üçin ýokary derejeli arassalygy saklamaly. Granit materialynyň özi tozan öndürmeýär we ýüzi tekiz, tozany siňdirmek aňsat däl. Umuman platforma daşarky tozanyň girmegini azaltmak üçin doly ýapyk ýa-da ýarym ýapyk gurluş dizaýnyny ulanýar. Içki howa aýlanyş ulgamy içki howanyň arassalygynyň çip önümçiliginde talap edilýän derejä ýetmegini üpjün etmek üçin sehiň arassa howa kondisioner ulgamy bilen baglanyşyklydyr. Bu arassa gurşawda granit bölekleri tozan eroziýasyndan ýüze çykýan öndürijilige täsir etmez we platformanyň ýokary takyklykly datçikleri we motorlary ýaly esasy bölekleri hem durnukly işläp biler, çip önümçiligi üçin üznüksiz we ygtybarly nanosölçegli takyklyk kepilligini üpjün edýär we ýarymgeçiriji senagatynyň has ýokary proses derejesine geçmegine kömek edýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 14-nji apreli