Ýarymgeçirijili plastinka barlagy ulgamynda arassa otag gurşawynyň arassalygy önümiň önümçiligi bilen gönüden-göni baglanyşyklydyr. Çip öndürmek prosesleriniň takyklygy ýokarlanmagy bilen, anyklaýyş enjamlarynyň göteriji platformalaryna bolan talaplar barha berkleşýär. Metal ionlarynyň bölünip çykmasy we bölejikleriň az hapalanmagy ýaly aýratynlyklary bolan granit platformalar däp bolan polat materiallaryndan öňe geçdi we plastinka barlag enjamlary üçin iň gowy çözgüt boldy.
Granit, esasan kwarts, dala şpaty we slýuda ýaly metal däl minerallardan ybarat bolan tebigy magmatik dag jynslarydyr. Bu häsiýet oňa nol metal ionlarynyň bölünip çykmagynyň artykmaçlygyny berýär. Tersine, demir, hrom we nikel ýaly metallaryň garyndysy bolan polat, arassa otag gurşawynda suw bugunyň we kislotaly ýa-da gidroksidi gazlaryň eroziýasyndan ýüze çykyp, Fe²⁺ we Cr³⁺ ýaly metal ionlarynyň çökmegine sebäp bolýar. Bu kiçijik ionlar plastinkanyň ýüzüne birleşenden soň, fotolitografiýa we aşındyrma ýaly soňky proseslerde ýarymgeçiriji materialyň elektrik häsiýetlerini üýtgedýär, tranzistoryň bosaga naprýaženiýesiniň süýşmegine sebäp bolýar we hatda zynjyrda gysga zynjyrlara hem getirýär. Hünärmen edaralarynyň synag maglumatlary granit platformasynyň 1000 sagatlap arassa otag temperaturasyna we çyglylygyna (23±0.5℃, 45%±5% RH) yzygiderli täsir edilenden soň, metal ionlarynyň bölünip çykmagynyň anyklaýyş çäginden (<0.1ppb) pes bolandygyny görkezýär. Dat almaýan polat platformalar ulanylanda metal ionlarynyň hapalanmagy sebäpli plitalaryň kemçilik derejesi 15% -den 20% -e çenli ýokary bolup biler.
Bölejikleriň hapalanmagynyň gözegçiligi babatda granit platformalary hem örän gowy işleýär. Arassa otaglarda howadaky asma bölejikleriň konsentrasiýasyna örän ýokary talaplar bar. Mysal üçin, ISO 1-nji synp arassa otaglarynda her kub metr üçin rugsat berilýän 0,1μm bölejikleriň sany 10-dan geçmeýär. Dat almaýan polat platforma jylaňlama işlerinden geçen hem bolsa, enjamlaryň titremesi we işgärleriň işlemegi ýaly daşarky güýçler sebäpli metal galyndylaryny ýa-da oksid ölçeginiň solup çykmagyny döredip biler, bu bolsa anyklaýyş optiki ýoluna päsgel berip ýa-da plastinkanyň ýüzüni dyrnap biler. Gaty mineral gurluşy (dykyzlygy ≥2,7g/sm³) we ýokary gatylygy (Mohs şkalasy boýunça 6-7) bolan granit platformalary uzak wagtlap ulanylanda aşynmaga ýa-da döwülmäge meýilli däl. Ölçenen ölçegler, olaryň anyklaýyş enjamlarynyň meýdançasyndaky howadaky asma bölejikleriň konsentrasiýasyny dat almaýan polat platformalara garanyňda 40% -den gowrak azaldyp biljekdigini we arassa otagyň derejeli standartlaryny netijeli saklap biljekdigini görkezýär.
Arassa häsiýetlerinden başga-da, granit platformalaryň toplumlaýyn öndürijiligi poslamaýan polatdan has ýokarydyr. Termal durnuklylygy babatda onuň termal giňelme koeffisiýenti diňe (4-8) × 10⁻⁶/℃, bu bolsa poslamaýan polatdan iki esse az (takmynan 17× 10⁻⁶/℃), bu bolsa arassa otagdaky temperatura üýtgeýän wagty anyklaýyş enjamlarynyň ýerleşiş takyklygyny has gowy saklap biler. Ýokary demping häsiýeti (demping gatnaşygy > 0,05) enjamyň titremesini çalt gowşadyp we anyklaýyş zondunyň titremeginiň öňüni alyp biler. Onuň tebigy korroziýa garşylygy, goşmaça örtük goragyna mätäçlik bolmazdan, fotorezist erginlerine, aşyndyryjy gazlara we beýleki himiki maddalara sezewar edilende hem durnukly bolmagyna mümkinçilik berýär.
Häzirki wagtda granit platformalary ösen wafer öndürýän zawodlarda giňden ulanylýar. Maglumatlar granit platformasyny kabul edenden soň, waferiň ýüzündäki bölejikleri anyklamakda ýalňyş baha bermek derejesi 60% azalandygyny, enjamlaryň kalibrleme sikliniň üç esse uzaldylandygyny we umumy önümçilik çykdajylarynyň 25% azalandygyny görkezýär. Ýarymgeçirijiler senagaty has ýokary takyklyga tarap barýarka, metal ionlarynyň bölünip çykmazlygy we bölejikleriň az hapalanmagy ýaly esasy artykmaçlyklary bolan granit platformalary wafer barlaglary üçin durnukly we ygtybarly goldaw bermegini dowam etdirer we pudagyň ösüşini öňe sürýän möhüm güýje öwrüler.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 20-nji maýy