Uly Koordinat Ölçeg Maşynlaryndan (KÖM) başlap, ösen ýarymgeçiriji litografiýa enjamlaryna çenli islendik ultra takyk enjamyň durnuklylygy we takyklygy, esasan, onuň granit binýadyna daýanýar. Uly ölçegli monolit esaslar ýa-da çylşyrymly köp bölümli granit tekiz paneller bilen iş salyşanda, ýygnamak we gurnamak prosesi önümçilik takyklygynyň özi ýaly möhümdir. Diňe taýýar paneli goýmak ýeterlik däl; paneliň tassyklanan submikron tekizligini saklamak we ulanmak üçin anyk daşky gurşaw we gurluş talaplary ýerine ýetirilmelidir.
1. Esasy: Durnukly, deň derejeli substrat
Iň köp ýaýran ýalňyş düşünje, ýokary dykyzlykly ZHHIMG® Gara Granitinden (3100 kg/m³) ýasalan ýaly takyk granit paneliň durnuksyz pollary düzedip biljekdigidir. Granit ajaýyp berklik hödürlese-de, ony uzak möhletli egrilikleriň minimal bolmagy üçin döredilen gurluş goldamaly.
Ýygnalýan meýdança diňe bir tekiz däl, eýsem dogry guratylan beton substratdan ybarat bolmaly, köplenç galyňlygy we dykyzlygy boýunça harby derejeli talaplara laýyk gelýär — bu ZHHIMG-niň öz ýygnak zallaryndaky 1000 mm dollarlyk galyňlykdaky, örän berk beton pollary gaýtalaýar. Iň esasysy, bu substrat daşarky titreme çeşmelerinden izolýasiýa edilmelidir. Iň uly maşyn bazalarymyzyň dizaýnynda, binýadyň özüniň statik we izolýasiýaly bolmagyny üpjün etmek üçin metrologiýa otaglarymyzyň daş-töweregindäki titreme garşy hendek ýaly düşünjeleri öz içine alýarys.
2. Izolýasiýa gatlagy: Gruntlamak we deňleşdirmek
Granit paneli bilen beton binýadyň arasyndaky gönüden-göni gatnaşykdan berk saklanmaly. Granit binýady içki dartgynlylygy ýok etmek we tassyklanan geometriýasyny saklamak üçin belli bir, matematiki taýdan hasaplanan nokatlarda goldanylmaly. Munuň üçin professional deňleşdiriji ulgam we grouting gatlagy gerek.
Panel sazlanyp bilýän deňleşdiriji domklar ýa-da pazlar arkaly takyk ýerleşdirilenden soň, granit bilen substrat arasyndaky boşluga ýokary berklikli, kiçelmeýän, takyk grout guýulýar. Bu ýöriteleşdirilen grout paneliň agramyny deň derejede paýlaýan ýokary dykyzlykly, birmeňzeş serhet emele getirmek üçin berkiýär, başgaça içki dartgynlylygy döredip we wagtyň geçmegi bilen tekizligi peseldip biljek çökmeleriň ýa-da deformasiýalaryň öňüni alýar. Bu ädim granit paneli we binýady netijeli ýagdaýda ýeke-täk, bitewi we berk massa öwürýär.
3. Termal we Wagtlaýyn Deňlik
Ähli ýokary takyklykly metrologiýa işlerinde bolşy ýaly, sabyrlylyk iň möhümdir. Granit paneli, grouting materialy we beton substrat gutarnykly deňleşdiriş barlaglary geçirilmezden öň töweregindäki iş gurşawy bilen termal deňagramlylyga ýetmelidir. Bu proses örän uly paneller üçin birnäçe gün dowam edip biler.
Mundan başga-da, lazer interferometrleri we elektron derejeler ýaly gurallar arkaly ýerine ýetirilýän deňleşdiriş sazlamasy haýal, minut aralyklar bilen ýerine ýetirilmeli we materialyň çökmegi üçin wagt berilmelidir. Berk global metrologiýa standartlaryna (DIN, ASME) eýerýän ussat tehniklerimiz soňky deňleşdirişiň çalt geçirilmeginiň gizlin stres döredip biljekdigini we soňra takyklyk üýtgemesi hökmünde ýüze çykjakdygyny düşünýärler.
4. Komponentleriň integrasiýasy we ýörite ýygnamak
ZHHIMG-niň çyzykly hereketlendirijileri, howa podşipniklerini ýa-da CMM relslerini birleşdirýän ýörite granit bölekleri ýa-da granit tekiz panelleri üçin soňky ýygnamak doly arassalygy talap edýär. Ýarymgeçiriji enjamlaryň gurşawyny gaýtalaýan ýörite arassa ýygnamak otaglarymyz zerurdyr, sebäbi granit bilen metal bölegiň arasynda galan mikroskopiki tozan bölejikleri hem mikro deflýasiýa döredip biler. Soňky berkitmezden öň her bir interfeýs üns bilen arassalanmaly we barlanmaly, bölegiň ölçegli durnuklylygynyň maşyn ulgamynyň özüne kemsiz geçirilmegini üpjün etmeli.
Bu berk talaplara eýermek bilen, müşderiler diňe bir bölegi gurnamak bilen çäklenmän, eýsem özleriniň örän takyk enjamlary üçin iň soňky Datum-y üstünlikli kesgitleýändiklerini kepillendirýärler - bu bolsa ZHHIMG-niň material ylmy we önümçilik tejribesi bilen kepillendirilen esasdyr.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 29-njy oktýabry