Ýarymgeçirijiler senagaty 2nm-den kiçi proses düwünlerini işjeň yzarlaýandygy sebäpli, mehaniki ýalňyşlyklar üçin çäklendirme diýen ýaly ýok boldy. Bu ýokary töwekgelçilikli gurşawda proses kamerasynyň durnuklylygy indi ikinji derejeli mesele däl; ol girdeji üçin esasy päsgelçilikdir. ZHHIMG-de biz global OEM-leriň ýarymgeçiriji esasy enjamlaryň gurluş bitewüligine çemeleşmeginde düýpli üýtgeşmäni synlaýarys.
Dymyşlygyň fizikasy: Ösen titreşim öçüriş usullary
Häzirki zaman plastinka önümçiliginde öňler "fon sesi" hasaplanýan titremeler häzir betbagtçylykly ýagdaýa öwrüldi. Desganyň HVAC ulgamyndan mikro-titremeler ýa-da ýokary tizlikli skanirleme tapgyrynyň içki inersiýasy bolsun, gözegçiliksiz energiýa gönüden-göni örtük ýalňyşlyklaryna we bulanyk nagyşlara öwrülýär.
Ýarymgeçirijiler önümçiliginde häzirki titreme söndürme usullary köp gatlakly arhitektura öwrüldi. Mineral döküm ýa-da takyk granit ýaly ýokary massaly materiallary ulanýan passiw söndürme esasy bolup galsa-da, işjeň söndürme integrasiýasynyň artýandygyny görýäris.
Aktiw ulgamlar garşy ýygylyklary döretmek arkaly titremeleri "ýatyrmak" üçin pýezoelektrik aktuatorlary we real wagt datçiklerini ulanýarlar. Şeýle-de bolsa, aktiw ulgamlaryň netijeliligi esasy materialyň demping gatnaşygy bilen çäklendirilýär. ZHHIMG-niň ýokary dempingli gurluşyk materiallary boýunça tejribesi şu ýerde möhüm ähmiýete eýe bolýar. Aktiw elektronikany tebigy inert granit ýa-da kompozit esas bilen utgaşdyrmak arkaly biz nano-positioningiň päsgelçiliksiz amala aşyrylyp bilinjek "Dynç Zonany" üpjün edýäris.
Sürtünmesiz hereketiň ösmegi: Howa podşipnigi tehnologiýasy
Ýokary öndürijilige bolan isleg däp bolan mehaniki podşipnikleri çäklerine çykardy. Sürtülme gyzgynlyga, gyzgynlyk bolsa takyklygyň duşmany bolan termal giňelmä getirýär. Bu bolsa, olaryň giňden ýaýramagyna getirdi.takyklyk tapgyrlary üçin howa göteriji tehnologiýa.
Howa podşipnikleri basyşly howanyň inçe örtügine ýüki göterýär, adatça galyňlygy birnäçe mikron. Fiziki gatnaşyk ýok bolany üçin, statik sürtülme (ýapyşma) ýok. Bu aşakdakylara mümkinçilik berýär:
-
Gisterezissiz hereket: Sahnanyň her gezek bir nanometr koordinatasyna gaýdyp gelmegini üpjün etmek.
-
Tizlik üýtgewsizligi: Elektron şöhle barlagy ýaly skanirleme ulgamlary üçin örän möhümdir, mehaniki podşipnigiň iň kiçijik "dişli" hereketi hem şekili bozup biler.
-
Iň uzak ömürlilik: Degişýän bölekleriň ýoklugy sebäpli, aşynma we bölejikleriň döremegi ýok, bu bolsa olary 1-nji derejeli arassa otag gurşawy üçin ideal edýär.
ZHHIMG-de biz bu howa podşipnikleri üçin ýol görkeziji hökmünde hyzmat edýän ultra tekiz granit ýüzlerini öndürýäris. Dogry işlemegi üçin, bu ýüzler ýagtylyk tolkun uzynlygynyň böleklerinde ölçenýän tekizlige çenli sürtülmelidir.
Ýarymgeçirijili esasy enjamlardaky tendensiýalar: 2026 we ondan soňky döwür
2026-njy ýyla tarap barýarkak,ýarymgeçiriji kapital enjamlarynyň tendensiýalary“Üç sütün” bilen häsiýetlendirilýär: Modullaşdyrma, Durnuklylyk we Termal gözegçilik.
-
Modul platformasynyň dizaýny: OEM öndürijileri "goş we oýna" esasly modullary gözleýärler. Her bir gural üçin täze esas döretmegiň ýerine, olar litografiýa, metrologiýa ýa-da aşındyrma üçin uýgunlaşdyrylyp bilinýän standartlaşdyrylan ZHHIMG takyk esaslaryny ulanýarlar.
-
Termal dolandyryş: EUV (Ekstremal Ultrafiolet) ýagtylyk çeşmeleri ägirt uly ýylylyk öndürýändigi üçin, enjamyň esasy ägirt uly ýylylyk saklaýjy hökmünde hereket etmeli. Biz $<0.01^\circ\text{C}$ deltasyny saklamak üçin çylşyrymly sowadyş kanallaryny gönüden-göni mineral we granit böleklerimize birleşdirýäris.
-
Wakuum bilen utgaşyklylyk: Ýokary wakuumly gurşawa has köp prosesler geçýändigi üçin, ulanylýan materiallaryň hiç hili gaz çykarmasy bolmaly däl. Biziň ýöriteleşdirilen granit we keramiki gaýtadan işlemegimiz wakuumyň bitewiliginiň gurluş binýady tarapyndan hiç haçan bozulmazlygyny üpjün edýär.
ZHHIMG bilen strategik hyzmatdaşlyk
ZHHIMG diňe bir bölek öndüriji däl; biz hereketi gözegçilik edýän üpjünçilik zynjyrynda strategik hyzmatdaşdyrys. Hytaýdaky desgamyz pudakdaky iň kyn durnuklylyk meselelerini çözmek üçin Silikon jülgesindäki we Eýndhowendäki inženerçilik toparlary bilen ýakyndan hyzmatdaşlyk edýär.
Özümiziň hususy aýaklama tehnikalarymyzy we çuňňur düşünjämizi ulanmak arkalytitreme söndürme usullary, biz müşderilerimize Mur kanunynyň çäklerini giňeltmäge mümkinçilik berýäris. Siz indiki nesil ALD (Atom Gatlagyny Çökdürmek) guralyny ýa-da ýokary tizlikli wafer zondlaýjysyny işläp düzýän bolsaňyzam, esas ZHHIMG-den başlanýar.
Netije
Ýarymgeçiriji önümçiliginiň ösüşi fizika kanunlaryna garşy ýaryşdyr. Senagat 2026-njy ýyla tarap hereket edende, howa podşipnikleriniň takyklygyna we ösen dempressiýa ünsi has-da güýçlendirer. Bu tendensiýalardan öňde bolmak üçin, hakykatdanam we göçme manyda, tejribe we innowasiýa esaslanýan esas gerek.
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 26-njy ýanwary