1. Ölçegleriň takyklygy
Tekizlik: esasyň ýüzüniň tekizligi örän ýokary standarta ýetmeli we tekizlik ýalňyşlygy islendik 100mm×100mm meýdanda ±0.5μm-den geçmeli däl; Tutuş esasy tekizlik üçin tekizlik ýalňyşlygy ±1μm aralygynda gözegçilik edilýär. Bu, litografiýa enjamynyň ekspozisiýa kellesi we çip anyklaýjy enjamynyň zond stoly ýaly ýarymgeçiriji enjamlaryň esasy bölekleriniň ýokary takyklykly tekizlikde durnukly gurnalmagyny we işledilmegini üpjün edýär, enjamyň optiki ýolunyň we zynjyr birikmesiniň takyklygyny üpjün edýär we esasyň deň däl tekizligi sebäpli bölekleriň süýşme sapmasynyň öňüni alýar, bu bolsa ýarymgeçiriji çip öndürilişine we anyklaýjy takyklygyna täsir edýär.
Gönilik: Esasyň her bir gyrasynyň göniligi örän möhümdir. Uzynlyk ugry boýunça gönilik ýalňyşlygy her 1 m üçin ±1μm-den geçmeli däl; Diagonal gönilik ýalňyşlygy ±1.5μm aralygynda gözegçilik edilýär. Mysal hökmünde ýokary takyklykly litografiýa enjamyny alyp görsek, stol esasyň ýol görkezijisi boýunça hereket edende, esasyň gyrasynyň göniligi stoluň traýektoriýasynyň takyklygyna gönüden-göni täsir edýär. Gönilik standarta laýyk gelmese, litografiýa nusgasy bozular we deformasiýa bolar, netijede çip öndürmek önümçiliginiň peselmegine sebäp bolar.
Parallellik: Esasyň ýokarky we aşaky ýüzleriniň parallellik ýalňyşlygy ±1μm aralygynda gözegçilikde saklanmalydyr. Gowy parallellik enjam gurnalandan soň umumy agyrlyk merkeziniň durnuklylygyny üpjün edip biler we her bir bölegiň güýji deňdir. Ýarymgeçirijili plastinka öndürýän enjamlarda, esasyň ýokarky we aşaky ýüzleri parallel bolmasa, plastinka işleniş wagtynda egilip, aşyndyryş we örtük ýaly prosesiň deňligine täsir eder we şeýdip çip işiniň yzygiderliligine täsir eder.
Ikinjiden, material aýratynlyklary
Gatylygy: Granit esasy materialyň gatylygy HS70 ýa-da ondan ýokary Şor berkligine ýetmeli. Ýokary gatylyk enjamyň işlemegi wagtynda bölekleriň ýygy-ýygydan hereket etmegi we sürtülmegi sebäpli döreýän aşynmalara netijeli garşy durup, esasyň uzak wagtlap ulanylandan soň ýokary takyklyk ölçegini saklamagyny üpjün edýär. Çip gaplama enjamlarynda robot eli ýygy-ýygydan çipi esasyň üstüne goýýar we esasyň ýokary gatylygy ýüzüň çyzyklaryň döremeginiň aňsat däldigini we robot golunyň hereketiniň takyklygyny saklap biljekdigini üpjün edip biler.
Dykyzlyk: Materialyň dykyzlygy 2,6-3,1 g/sm³ aralygynda bolmaly. Degişli dykyzlyk esasyň ýokary hilli durnuklylygyny üpjün edýär, bu bolsa enjamy goldamak üçin ýeterlik berkligi üpjün edip biler we enjamyň gurnamasynda we daşalmasynda artykmaç agram sebäpli kynçylyklar döretmez. Uly ýarymgeçiriji barlag enjamlarynda durnukly esasyň dykyzlygy enjamyň işlemegi wagtynda titreme geçirijiligini azaltmaga we anyklaýyş takyklygyny ýokarlandyrmaga kömek edýär.
Termal durnuklylygy: çyzykly giňelme koeffisiýenti 5×10⁻⁶/℃-den az. Ýarymgeçiriji enjamlar temperatura üýtgemelerine örän duýgurdyr we esasyň termal durnuklylygy enjamyň takyklygy bilen gönüden-göni baglanyşyklydyr. Litografiýa prosesinde temperatura üýtgemeleri esasyň giňelmegine ýa-da gysylmagyna sebäp bolup biler, bu bolsa ekspozisiýa nusgasynyň ölçeginde üýtgeşiklige getirýär. Çyzykly giňelme koeffisiýenti pes bolan granit esasy, enjamyň iş temperaturasy üýtgeýän wagty (umuman 20-30 ° C) litografiýanyň takyklygyny üpjün etmek üçin ölçeg üýtgemelerini örän kiçi aralykda dolandyryp biler.
Üçünjiden, ýerüsti hili
Gyrymsylyk: Esasyň ýüzüniň gyrymsylyk Ra gymmaty 0,05μm-den geçmeýär. Ultra tekiz ýüz tozanyň we hapaçylyklaryň adsorbsiýasyny azaldyp, ýarymgeçiriji çip önümçilik gurşawynyň arassalygyna täsirini azaldyp biler. Çip önümçilik sehinde tozansyz kiçi bölejikler çipiň gysga zynjyry ýaly kemçiliklere sebäp bolup biler we esasyň tekiz ýüzi sehiň arassa gurşawyny saklamaga we çip önümçiligini ýokarlandyrmaga kömek edýär.
Mikroskopiki kemçilikler: Esasyň ýüzünde görünýän ýaryklaryň, gum deşikleriniň, gözenekleriň we beýleki kemçilikleriň bolmagyna ýol berilmeýär. Mikroskopik derejede, diametri inedördül santimetrde 1μm-den uly bolan kemçilikleriň sany elektron mikroskopiýasynda 3-den geçmeli däldir. Bu kemçilikler esasyň gurluş berkligine we ýüzüniň tekizligine täsir eder, soňra bolsa enjamyň durnuklylygyna we takyklygyna täsir eder.
Dördünjiden, durnuklylyk we şoka garşylyk
Dinamiki durnuklylyk: Ýarymgeçiriji enjamlaryň işlemegi bilen döredilýän simulýasiýa edilen titreşme gurşawynda (titreşme ýygylygy diapazony 10-1000Hz, amplitudasy 0.01-0.1mm), esasdaky esasy berkidilýän nokatlaryň titreşme ýerini ±0.05μm aralygynda gözegçilik etmeli. Mysal hökmünde ýarymgeçiriji synag enjamlaryny alyp görsek, enjamyň öz titreşmesi we daş-töweregindäki gurşawyň titreşmesi iş wagtynda esasa geçirilse, synag signalynyň takyklygyna päsgel berlip bilner. Gowy dinamiki durnuklylyk synag netijeleriniň ygtybarly bolmagyny üpjün edip biler.
Seýsmiki garşylyk: Esasyň ajaýyp seýsmiki görkezijileri bolmaly we birden daşarky titremelere (seýsmiki tolkun simulýasiýa titremesi ýaly) sezewar bolanda titreme energiýasyny çalt gowşadyp biler we enjamyň esasy bölekleriniň deňeşdirilen ýagdaýynyň ±0,1μm aralygynda üýtgemegini üpjün edip biler. Ýer titremesine sezewar bolýan sebitlerdäki ýarymgeçiriji zawodlarda ýer titremesine çydamly esaslar gymmat ýarymgeçiriji enjamlaryny netijeli gorap, enjamlaryň zaýalanmagynyň we titreme sebäpli önümçiligiň bozulmagynyň töwekgelçiligini azaldyp biler.
5. Himiki durnuklylyk
Korroziýa garşylygy: Granit esasy ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde umumy himiki maddalaryň, mysal üçin, fluor gidroksid turşusynyň, akwa regiýasynyň we ş.m. korroziýasyna çydamly bolmaly. 24 sagatlap 40% massa paýy bolan fluor gidroksid turşusynyň ergininde çümdürilenden soň, ýüzüň hiliniň ýitgi derejesi 0,01% -den geçmeli däl; 12 sagatlap akwa regiýasynda (hlorid turşusynyň azot turşusyna bolan göwrüm gatnaşygy 3:1) çümdürilende, ýüzünde korroziýanyň aýdyň yzlary galmaýar. Ýarymgeçiriji önümçilik prosesi dürli himiki aşındyrma we arassalamak proseslerini öz içine alýar we esasyň gowy korroziýa garşylygy himiki gurşawda uzak möhletli ulanylyşyň korroziýa bolmazlygyny we takyklygyň we gurluş bitewüliginiň saklanmagyny üpjün edip biler.
Hapalanmaga garşy: Esasy material ýarymgeçiriji önümçilik gurşawynda organiki gazlar, metal ionlary we ş.m. ýaly umumy hapalaýjy maddalaryň örän pes siňdirilmegine eýedir. 72 sagatlap 10 PPM organiki gazlary (meselem, benzol, toluol) we 1 ppm metal ionlaryny (meselem, mis ionlary, demir ionlary) öz içine alýan gurşawa ýerleşdirilende, hapalaýjy maddalaryň esasy ýüzünde adsorbsiýasy sebäpli ýüze çykýan öndürijilik üýtgeşmesi az bolýar. Bu hapalaýjy maddalaryň esasy ýüzünden çip önümçilik meýdançasyna geçmeginiň we çip hiline täsir etmeginiň öňüni alýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 28-nji marty