Ýokary derejeli önümçilik we öňdebaryjy ylmy barlaglar pudaklarynda, takyk statik basyşly howa ýüzýän hereket platformasy örän takyk işlemegi üpjün etmek üçin esasy enjamdyr. Granit takyklyk binýady platformanyň esasy goldaw bölegi bolup durýar we onuň işleýşi iş gurşawy bilen berk baglanyşyklydyr. Bu daşky gurşaw talaplaryny düşünmek we ýerine ýetirmek diňe bir platformanyň ýokary takyk işlemegini üpjün etmek bilen çäklenmän, eýsem kärhananyň degişli ugurlarda bäsdeşligini ýokarlandyrmak üçin möhüm bölegi bolup biler, bu barada aşakda jikme-jik beýan edilýär.
1. Temperatura: ölçeg durnuklylygyny üpjün etmek üçin takyk gözegçilik
Granit durnuklylygy bilen tanalsa-da, onuň termal giňelme koeffisiýenti nola deň däl we temperaturanyň kiçi üýtgemeleri onuň ölçeg takyklygyna täsir edip biler. Umuman aýdanyňda, granitiň termal giňelme koeffisiýenti 5-7 × 10⁻⁶/℃ deňdir. Takyk statik basyşly howada ýüzýän hereket platformasynyň ulanylyş senariýasynda bu kiçi üýtgeşiklik platforma tarapyndan güýçlendirilýär, bu bolsa hereket takyklygynyň üýtgemegine getirip biler. Mysal üçin, ýarymgeçiriji çip öndürmek prosesinde, litografiýa prosesiniň ýerleşdiriş takyklygynyň talaplaryna laýyk gelýän danami derejesi, daşky gurşawyň temperaturasynyň 1°C üýtgemesi, 1 metr granit esasynyň gapdal uzynlygy 5-7 mikron çyzykly giňelme ýa-da daralma döredip biler, bu bolsa çip litografiýasynyň nusgasynyň üýtgemesini we hasyllylygy peseltmegi üçin ýeterlikdir. Şonuň üçin, granit takyklyk binýady bilen enjamlaşdyrylan takyk statik basyşly howa ýüzýän platforma, ideal iş gurşawynyň temperaturasy 20 ° C ± 1 ° C derejesinde berk gözegçilikde saklanmalydyr, kärhanalar ýokary takyklykly hemişelik temperatura kondisioner ulgamyny gurnap, daşky gurşawyň temperaturasyny yzygiderli gözegçilikde saklap we takyk sazlap, granit binýadynyň ölçegleriniň durnuklylygyny saklap, platformanyň ýokary takyklykly işlemegini üpjün edip bilerler.
2. çyglylyk: makul gözegçilik, esasyň işini goraýar
Çyglylyk takyk granit esaslaryna hem uly täsir edýär. Ýokary çyglylykly gurşawda granit suw buguny aňsatlyk bilen siňdirip bilýär we ýüzünde kondensasiýa bolup biler, bu bolsa diňe bir howa flotasiýasynyň ulgamynyň kadaly işlemegine päsgel bermän, eýsem granit ýüzüniň uzak wagtlap eroziýasyna, onuň takyklygyna we hyzmat ediş möhletine sebäp bolar. Mysal hökmünde optiki linzalary üweýän ussahanany alyp görsek, eger çyglylyk uzak wagtlap 60% RH-dan ýokary bolsa, granit binýadynyň ýüzünde siňdirilen suw bugusy howa ýüzüji plýonkasynyň deňligini bozup, linzalary üweýän takyklygyň we ýüz kemçilikleriniň peselmegine sebäp bolar. Şonuň üçin iş gurşawynyň otnositel çyglylygyny 40%-60% RH aralygynda gözegçilikde saklamak gerek. Kärhanalar çyglylygy real wagt režiminde gözegçilik etmek we dolandyrmak, takyk granit binýady üçin amatly çyglylyk gurşawyny döretmek we takyk statik basyşly howa ýüzüji hereket platformasynyň durnukly işlemegini üpjün etmek üçin çyglylyk azaldyjylary, çyglylyk datçiklerini we beýleki enjamlary ulanyp bilerler.
3. arassaçylyk: berk gözegçilikde saklaň, bölejikleriň gatyşmagyny aradan aýyryň
Tozan bölejikleri takyk statik basyşly howa ýüzýän hereket platformasynyň "duşmany" bolup, granit takyk binýadyna uly zyýan ýetirýär. Kiçijik bölejikler gaz ýüzýän sürgüji bilen granit binýadynyň arasyndaky gaz plýonka boşlugyna girenden soň, gaz plýonkasynyň deňligini bozup, sürtülmäni artdyryp, hatda binýadyň ýüzüni dyrnap, platformanyň hereketiniň takyklygyna düýpli täsir edip biler. Aerokosmik bölekleriň örän takyk işleme ussahanasynda, howadaky tozan bölejikleri granit binýadyna düşse, işleme guralynyň hereket traýektoriýasy üýtgedilip, bölekleriň işleme takyklygyna täsir edip biler. Şonuň üçin iş meýdany örän arassa saklanmaly we 10,000 ýa-da ondan hem ýokary arassaçylyk derejesine ýetmeli. Kärhanalar ýokary netijeli howa süzgüçlerini (HEPA) gurnamak arkaly howadaky tozan bölejiklerini süzüp bilerler we adamlaryň getirýän tozany azaltmak we granit binýadynyň we takyk statik basyşly howa ýüzýän hereket platformasynyň ýokary takyklykly iş gurşawyny saklamak üçin işgärlerden tozansyz eşik, aýakgap örtügi we ş.m. geýmegi talap edip bilerler.
4. Titreme: Tekiz giňişlik döretmek üçin netijeli izolýasiýa
Daşarky titreme takyk statik basyşly howa ýüzýän platformanyň takyklygyna düýpli päsgel berer, emma takyk granit binýady belli bir titreme gowşatma ukybyna eýe bolsa-da, ýokary güýçli titreme onuň bufer çägini bozup biler. Zawodyň töweregindäki hereket we uly mehaniki enjamlaryň işlemegi netijesinde döreýän titreme ýer arkaly granit binýadyna geçirilýär, bu bolsa platformanyň hereketiniň takyklygyna päsgel berer. Ýokary derejeli CMM-de titreme ölçeg zondy bilen ölçeljek iş böleginiň arasyndaky gatnaşygyň durnuksyz bolmagyna sebäp bolup biler, bu bolsa ölçeg maglumatlarynyň çetleşmegine sebäp bolup biler. Bu meseläni çözmek üçin, enjamlaryň gurnalýan ýerinde titreme izolýasiýa meýdançalaryny goýmak, titreme izolýasiýa binýadyny gurmak ýa-da daşarky titremeleriň öňüni almak üçin işjeň titreme izolýasiýa ulgamyny ulanmak we granit takyk binýady we takyk statik basyşly howa ýüzýän hereket platformasy üçin asuda we durnukly iş gurşawyny döretmek ýaly netijeli titreme izolýasiýa çärelerini görmek zerurdyr.
Platformanyň dürli pudaklar üçin ýokary takyklykly we ýokary durnuklylykly hereket dolandyryş hyzmatlaryny hödürlemegini üpjün etmek üçin, takyk statik basyşly howa hereket platformasynda granit takyklyk binýadynyň artykmaçlyklaryndan doly peýdalanmak maksady bilen ýokardaky daşky gurşaw talaplaryna laýyk geliň. Eger kärhanalar önümçilik gurşawynda bu jikme-jikliklere üns berip bilseler, takyk önümçilikde, ylmy barlaglarda we beýleki ugurlarda mümkinçilikden peýdalanarlar, bäsdeşlik ukybyny ýokarlandyrarlar we durnukly ösüşe ýeterler.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 10-njy apreli