Ýarymgeçiriji enjamlarda takyk granit bölekleriniň 8 tipik ulanylyşy

Ýarymgeçirijiler senagatynda, "nanometr" ölçeg birligi bolanda, enjamlaryň gurluş bitewüligi barada gürrüň edilip bilinmez. Çip düwünleri 5 nm-e we ondan hem uly kiçelýän mahaly, titremeleriň öçürilmegine we termal durnuklylygyna bolan isleg iň ýokary derejä ýetýär. Takyk granit bölekleri ýokary derejeli wariant bolmakdan ýarymgeçirijiler öndürýän enjamlaryň möhüm "DNK-syna" geçdi.

Ýokary durnukly enjam gurluşlarynyň öňdebaryjy üpjün edijisi hökmünde, ZHHIMG® granitiň fabrikanyň sessiz gahrymany bolan sekiz iň möhüm ulanylyşyny seljerýär.

1. Litografiýa maşynynyň esaslary

Litografiýa enjamy ýarymgeçiriji zynjyryndaky iň çylşyrymly enjamdyr. Esasy uly optiki ulgamlary doly hereketsiz saklap, goldamaly. Granitiň ýokary dykyzlygy we içki dempingi onuň daş-töweregindäki mikro titremeleri özüne siňdirmegine mümkinçilik berýär we ýagtylyk çeşmesiniň atom derejesinde deňleşmegini üpjün edýär.

2. Howa göteriji hereket tapgyrlary

Ýokary tizlikli wafer daşamak sürtülmesiz hereketi talap edýär. Granit submikron tekizligine çenli çalşyrylyp bilinýändigi üçin, ol howa göteriji tehnologiýa üçin ajaýyp hyzmatdaş bolup hyzmat edýär. "Howa ýassygy" granit ýüzünde hiç hili aşynmasyz süýşýär we skanirlemek we ýerleşdirmek üçin zerur bolan örän ýumşak hereketi üpjün edýär.

3. Wafer barlag we metrologiýa platformalary

Oýmakdan soň, waferler kemçiliklere barlanmalydyr. Maşyn çarçuwasyndaky islendik termal giňelme "ýalan pozitiw netije" ýa-da kemçiligiň gözden gaçyrylmagyna getirip biler.Takyk granit bölekleribarlag maglumatlarynyň maşynyň bozulmagyny däl-de, waferiň ýüzüniň hakyky şöhlelenmesini üpjün edip, termal taýdan inert gurşawy üpjün ediň.

4. Gantry hereket ulgamlary (köpri gurluşlary)

Ýokary tizlikli böleklere bölmekde ýa-da sim bilen birikdirmekde "köpri" ýa-da portal silkmän çalt hereket etmelidir. Granit portal çoýun bilen deňeşdirilende has ýokary berklik-massa gatnaşygyny hödürleýär we "çökme wagtyny" - maşynyň indiki işini ýerine ýetirmezden öň titremeleriň durmagyny garaşmaly wagtyny ep-esli azaldýar.

5. Lazer abatlaýyş enjamlarynyň çarçuwalary

Maskada ýa-da waferde kemçilik tapylanda, takyk abatlamak üçin lazerler ulanylýar. Munuň üçin düýbünden magnit däl we geçiriji däl gurluş binýady gerek. Granit tebigy izolýasiýa bolup, elektromagnit päsgelçilikleriň inçe lazer ýoluna täsir etmeginiň öňüni alýar.

6. Arassa otaglar üçin CMM (Koordinata Ölçeg Enjamlary)

Ýarymgeçiriji desganyň içinde hil gözegçiligi üçin arassa otag düzgünlerine berk çydamly CMM-ler gerek. Bölejikleri çykaryp ýa-da oksidleşip bilýän metaldan tapawutlylykda, granit kislota çydamly we poslamaga çydamly bolup, daşky gurşawy hapalamazdan enjamyň ýokary durnuklylygyny saklaýar.

7. Himiki mehaniki jylaňlama (CMP) esaslary

CMP prosesi metallara ýokary derejede korroziýa berýän şlak we himiki serişdeleri öz içine alýar. Granitiň tebigy himiki garşylygy ony jylawlaýjy enjamlaryň gurluş binýady üçin ideal materiala öwürýär we hatda berk himiki gurşawlarda hem uzak möhletli hyzmat etmegi üpjün edýär.

8. Ion Implantasiýa Ulgamlary

Ion implantatorlaryndaky ýokary woltly gurşawlar ion şöhlelerine päsgel bermeýän ýa-da elektrik ýaýyny döretmeýän bölekleri talap edýär. Granitiň dielektrik häsiýetleri ony duýgur elektrik we wakuum böleklerini oturtmak üçin howpsuz we durnukly saýlaw edýär.

Näme üçin ýarymgeçiriji infrastruktura üçin ZHHIMG®?

ZHHIMG®-de biz ýarymgeçiriji enjamlaryň binýadynyň diňe bir daş bölegi däl-de, kalibrlenen guraldygyny düşünýäris. Biziň ýöriteleşdirilen gara granitimiz, 30+ ýyllyk el bilen üwemek tejribämiz bilen birleşip, submikron döwrüniň berk talaplaryna laýyk gelýän tekizlik we parallellik derejelerine ýetmäge mümkinçilik berýär.

• Material: Ýokary dykyzlykly, örän inçe däneli ZHHIMG® gara granit.

• Takyklyk: DIN 876 00-nji derejeli ýa-da JIS/ASME-niň ýörite talaplaryna laýyklykda takyklyk derejeleri.

• Özleşdirme: 10,000 m² yzygiderli temperatura ussahanalarymyzda öňünden gurnalan integrasiýa edilen goýmalar, T-şekilli ýerler we howa göteriji ýollar.