Kalibrleme laboratoriýalarynyň, ýarymgeçiriji arassa otaglarynyň we aerokosmos metrologiýa toplumlarynyň asuda zallarynda sessiz rewolýusiýa dowam edýär. Ol diňe programma üpjünçiligi ýa-da sensorlar bilen däl, eýsem ölçegleriň öz esaslaryny düzýän materiallar bilen hem hereket edýär. Bu üýtgeşmäniň öň hatarynda ösen keramiki ölçeg gurallary, şol sanda ultra durnukly keramiki howa göni çyzgyç we adatdan daşary berk ýokary takyklykly kremniý-karbid (Si-SiC) parallelepiped we kwadrat bar. Bular diňe gurallar däl; olar durnuklylygyň, gaýtalanmagyň we termal bitaraplygyň gepleşiksiz bolan täze döwrüň mümkinçilikleridir.
Ýarym asyrdan gowrak wagt bäri gara granit takyk metrologiýada agdyklyk edýärdi. Onuň tebigy dempingi, pes termal giňelmegi we ajaýyp tekizligi ony ýüz plitalary, kwadrat we göni gyralar üçin esasy materiala öwürdi. Şeýle-de bolsa, senagatlar, esasanam ýarymgeçiriji litografiýada, kosmos optikasynda we kwantum hasaplamalarynda, submikron we hatda nanometr ölçegli çydamlylyklara geçýändigi sebäpli, granitiň çäklendirmeleri barha aýdyňlaşýar. Ol agyr, gaýtalanýan degişmede mikro-çiplere sezewar bolýar we abraýyna garamazdan, ýük ýa-da daşky gurşawyň üýtgemeleri astynda henizem kiçijik uzak möhletli süýşme görkezýär.
Inženerçilik keramikasyna giriň: gündelik göz öňüne getirmegiň döwülýän küýzesi däl-de, aşa gyzgynlyk we basyş astynda ýasalan dykyz, birmeňzeş, ýokary öndürijilikli materiallar. Bularyň arasynda metrologiýa ulanylyşynda iki synp tapawutlanýar: ýokary arassa alýumin oksidi (Al₂O₃) we reaksiýa arkaly baglanyşykly kremniý karbidi (Si-SiC). Ikisi hem däp bolan materiallara garanyňda uly ösüşler hödürlese-de, olar dürli rollary ýerine ýetirýärler we bilelikde ölçegli metrologiýada mümkin bolan iň öňdebaryjylary görkezýärler.
Mysal üçin, keramiki howa göni çyzgyçyny alyp göreliň. Howa göteriji basgançaklar ýa-da optiki interferometrler bilen ulanmak üçin niýetlenen bu enjam, diýen ýaly doly göniligi, minimal massany we nol termal süýşmäni talap edýär. Alýumin oksidi esasynda.keramiki çyzgyçlar—500 mm-den ±0,5 µm aralygynda tekizlige we gönilige çenli işlenip, Ra 0,02 µm-den aşak ýüzüň gödekligine çenli jylaňlandyrylan — hut şuny üpjün edýär. Olaryň pes dykyzlygy (~3,6 g/sm³) dinamiki ölçeg ulgamlarynda inersiýany azaldýar, magnit däl, geçiriji däl tebigaty bolsa duýgur elektron ýa-da magnit gurşawlaryndaky päsgelçilikleri aradan aýyrýar. Plastinka barlag gurallarynda ýa-da lazer yzarlaýjy kalibrleme gurluşlarynda, hatda bir mikron ýaýyň hem netijeleri üýtgedip bilýän ýerlerinde, keramiki howa göni çyzgyç temperatura üýtgemelerinde we iş sikllerinde dogry bolup galýan durnukly, inert salgylanmany üpjün edýär.
Emma iň ýokary berklik we ýylylyk geçirijiligi talap edilende — meselem, kosmos teleskopynyň aýnasynyň deňleşdirilmeginde ýa-da ýokary kuwwatly lazer boşlugynyň metrologiýasynda — inženerler ýokary takyklykly kremniý-karbid (Si-SiC) parallelepiped we kwadrat böleklerine ýüzlenýärler. Si-SiC iň berk materiallaryň biridir, Ýang moduly 400 GPa-dan geçýär — bu polatdan üç esse köp — we ýylylyk geçirijiligi alýumin bilen bäsleşýär. Iň esasysy, onuň ýylylyk giňelme koeffisiýenti (CTE) optiki aýnalaryň ýa-da kremniý plitalarynyňky bilen deňleşdirilip, gibrid gurluşlarda nola golaý differensial giňelmegi üpjün edip bilner. EUV litografiýa gurallarynda esasy salgylanma hökmünde ulanylýan Si-SiC kwadrat diňe öz görnüşini saklamaz — ol ýerli gyzdyrmadan ýa-da titremeden döreýän bozulmalara işjeň garşy durar.
Bu üstünlikleri mümkin edýän zat diňe material däl, eýsem keramiki ölçeg gurallaryny öndürmegiň ussatlygydyr. Mysal üçin, Si-SiC-ni takyk işläp taýýarlamak üçin almaz tigirleri, submikron CNC platformalary we temperatura gözegçilik edilýän gurşawlarda geçirilýän köp tapgyrly öwrüm prosesleri gerek. Hatda nädogry sinterlemeden dörän kiçi galyndy stres hem işläp bejerilenden soňky döwülmelere sebäp bolup biler. Şonuň üçin diňe birnäçe sanly global önüm öndürijiler material sintezini, takyk şekillendirmegi we gutarnykly metrologiýany bir üçegiň aşagynda birleşdirýärler - bu mümkinçilik hakyky metrologiýa derejeli önüm öndürijileri umumy keramiki üpjün edijilerden tapawutlandyrýar.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) kompaniýasynda bu dik integrasiýa biziň missiýamyzyň esasy bölegidir. Biziň keramiki ölçeg gurallarymyz - şol sanda DIN 874 AA derejeli keramiki howa göni çyzgyç modelleri we PTB we NIST standartlaryna laýyklykda yzarlanyp bolýan ýokary takyklykly kremniý-karbid (Si-Si-C) parallelepiped we kwadrat artefaktlar - ISO 7-nji synp arassa otaglarynda hususy sinterleme we tamamlama protokollaryny ulanyp öndürilýär. Her bir bölek doly interferometrik barlagdan, geometrik çydamlylyklaryň (tekizlik, parallellik, perpendikulýarlyk) CMM barlagyndan we iberilmezden öň ýüz bitewüligi synagyndan geçýär. Netijede, diňe bir tehniki şertlere laýyk gelmeýän, eýsem dürli tapgyrlarda olary yzygiderli öňe sürýän salgylanma derejeli artefakt emele gelýär.
Şeýle öndürijilige bolan isleg artýar. Ýarymgeçirijiler önümçiliginde EUV we ýokary NA litografiýa ulgamlary metr ölçegli aralyklarda onlarça nanometr aralygynda durnukly deňleşdiriş gurluşlaryny talap edýär - bu Si-SiC-niň termal-mehaniki sinergiýasyz mümkin däl. Aerokosmosda keramiki salgylanmalar bilen ýasalan hemra optiki skameýkalar ekstremal termal sikllere garamazdan orbitada durnuklylygy üpjün edýär. Pikometr derejesindäki durnuklylygyň möhüm bolan grawitasiýa tolkunlaryny anyklamak ýa-da atom sagadyny işläp düzmek ýaly täze ösýän ugurlarda hem keramika we Si-SiC metrologiýa artefaktlary hökmany bolup durýar.
Iň esasysy, bu gurallar durnuklylygy we eýeçiligiň umumy çykdajylaryny hem çözýär. Ýokary takyklykly kremniý-karbid parallelepipedine ilkinji maýa goýum granit ekwiwalentiniňkiden köp bolup bilse-de, onuň hyzmat ediş möhleti köp ulanylýan gurşawlarda 5-10 esse uzak bolup biler. Ol ýaglamany talap etmeýär, ähli umumy erginlere we plazmalara garşy durýar we çyglylygy siňdirýändigi sebäpli gaýtadan kalibrlemäge mätäçlik döretmeýär - çoýun ýa-da hatda käbir granitlerden tapawutlylykda. AS9100, ISO 13485 ýa-da SEMI standartlary boýunça işleýän hil dolandyryjylary üçin bu ygtybarlylyk gönüden-göni iş wagtynyň azalmagyna, audit netijeleriniň azalmagyna we müşderi ynamynyň ýokarlanmagyna getirýär.
Mundan başga-da, bu gurallaryň estetiki we funksional ajaýyplygyny gözden gaçyrmaly däl. Jilalanan Si-SiC kwadrat metal ýalpyldawuklygy bilen ýalpyldaýar, ýöne polatdan ýeňil agramda. Keramiki howa göni çyzgyç berk duýulýar, ýöne kynçylyksyz galdyrylýar - dar ýerlerde el bilen barlamak üçin ajaýyp. Bu adam merkezli häsiýetler ergonomikanyň we ulanmagyň aňsatlygynyň gündelik iş akymyna täsir edýän hakyky dünýä laboratoriýalarynda möhümdir.
Şeýlelikde, keramiki ölçeg gurallary örän ýokary takyklygy täzeden kesgitleýärmi? Jogap maglumatlarda we häzirki wagtda olary standart hökmünde görkezýän dünýä liderleriniň artýan sanawynda ýerleşýär. Indiki nesil uzynlyk standartlaryny tassyklaýan milli metrologiýa institutlaryndan başlap, elektrik ulaglarynyň hereketlendiriji böleklerini sertifikatlaşdyrýan 1-nji derejeli üpjün edijilere çenli üýtgeşiklik aýdyňdyr: näbelliligi azaltmak zerur bolanda, inženerler inženerçilik keramikasyna ynanýarlar.
Senagatlar atom ölçeglerini gözegçilikde saklamak üçin yzygiderli öňe gidişlerini dowam etdirýänlerinde, bir hakykat inkär edilip bilinmez: ölçegleriň geljegi daşdan oýulyp ýa-da metaldan guýlup bilinmez. Ol keramikada we kremniý karbidinde bişirilip, üwelip we jylaňlanar.
ZHONGHUI INTELLIGENT MANUFACTURING (JINAN) GROUP CO., LTD (ZHHIMG) ultra takyk keramika we kremniý-karbid metrologiýa çözgütlerinde dünýäde ykrar edilen täzelikçidir. Keramika ölçeg gurallarynda, keramik howa göni çyzgyçlarynda we ýokary takyklykly kremniý-karbid (Si-SiC) parallelepiped we kwadrat böleklerinde ýöriteleşen ZHHIMG ýarymgeçiriji, howa-kosmos, goranmak we ylmy barlaglar üçin doly güwänamalaşdyrylan, laboratoriýa derejesindäki artefaktlary hödürleýär. ISO 9001, ISO 14001 we CE güwänamalary bilen goldanylýan önümlerimiz dünýäniň öňdebaryjy tehnologiýa kärhanalary tarapyndan ynama mynasypdyr. Öňdebaryjy metrologiýa portfelimizi şu ýerde öwreniň:www.zhhimg.com.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 5-nji dekabry