Ondarymgeçiriji önümçiliginde takyk rewolýusiýa: Granit mikron tehnologiýasyna laýyk gelende
1.1 Materiallar ylmynda garaşylmadyk açyşlar
SEMI halkara ýarymgeçiriji birleşiginiň 2023-nji ýyldaky hasabatyna görä, dünýädäki ösen fablaryň 63% -i adaty metal platformalarynyň ýerine granit bazalaryny ulanyp başlady. Eartheriň çuňlugynda magma kondensasiýasyndan emele gelen bu tebigy daş, özboluşly fiziki aýratynlyklary sebäpli ýarymgeçiriji önümçiliginiň taryhyny täzeden ýazýar:
Malylylyk inersiýasynyň artykmaçlygy: granit 4,5 × 10⁻⁶ / of ýylylyk giňelme koeffisiýenti poslamaýan poladyň diňe 1/5 bölegidir we litografiýa maşynynyň üznüksiz işinde ± 0.001mm ölçegli durnuklylygy saklanýar.
Wibrasiýa nemlendiriji aýratynlyklary: içerki sürtülme koeffisiýenti, çoýun demirden 15 esse ýokary, enjamlaryň mikro-titremesini täsirli siňdirýär
Magnitleşdirmegiň nol tebigaty: lazer ölçegindäki magnit ýalňyşlygy düýbünden ýok ediň
1.2 Menden fab-a metamorfoz syýahaty
ZHHIMG-iň Şandongdaky akylly önümçilik bazasyny mysal hökmünde alyp, çig granitiň bir bölegi geçmeli:
Ultra takyk işleme: 200 sagat üznüksiz üwemek üçin bäş okly baglanyşyk işleýiş merkezi, Ra0.008μm çenli ýerüsti çişlik
Emeli garramagy bejermek: Önümiň durnuklylygyny 40% ýokarlandyrýan hemişelik temperatura we çyglylyk ussahanasynda 48 sagat tebigy stres çykarylýar
Ikinjiden, ýarymgeçiriji önümçiliginiň "gaýa çözgüdi" alty sany takyk meselesini çözüň
2.1 Wafleriň bölüniş derejesini peseltmek shemasy
Mysal görkezişi: Germaniýada bir çip zawody gaz ýüzýän granit platformamyzy kabul edensoň:
| Waferiň diametri | çipiň peselmegi | tekizligi gowulandyrmak |
| 12 dýuým | 67% | ≤0.001mm |
| 18 dýuým | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Litografiki deňleşdiriş takyklygynyň öňe gidiş shemasy
Temperaturanyň öwezini dolmak ulgamy: oturdylan keramiki datçik şekil üýtgeýjisine hakyky wagtda gözegçilik edýär we platformanyň ýapgytlygyny awtomatiki düzýär.
Ölçelenen maglumatlar: 28 ℃ ± 5 uct üýtgemeginde, goýmagyň takyklygy 0,12μm-den az üýtgeýär
Iş wagty: Mart-24-2025