Ýarymgeçirijiler önümçiliginde takyk rewolýusiýa: Granit mikron tehnologiýasy bilen duşuşanda
1.1 Material ylymlarynda garaşylmadyk açyşlar
2023-nji ýyldaky SEMI Halkara Ýarymgeçirijiler Assosiasiýasynyň hasabatyna görä, dünýäniň ösen fabrikalarynyň 63% -i däp bolan metal platformalaryň ýerine granit esaslaryny ulanmaga başlady. Ýeriň çuňlugynda magma kondensasiýasyndan dörän bu tebigy daş, özboluşly fiziki häsiýetleri sebäpli ýarymgeçiriji önümçiliginiň taryhyny täzeden ýazýar:
Termal inersiýa artykmaçlygy: granit 4.5×10⁻⁶/℃-iň termal giňelme koeffisiýenti poslamaýan polatdan diňe 1/5 bölegine deňdir we litografiýa maşynynyň üznüksiz işlemeginde ±0.001mm ölçeg durnuklylygy saklanýar.
Titreşimiň öçüriş häsiýetnamalary: içki sürtülme koeffisiýenti çoýundan 15 esse ýokary, enjamyň mikro-titremesini netijeli siňdirýär
Nol magnitlenme tebigaty: lazer ölçeglerinde magnit ýalňyşlygyny doly aradan aýyrýar
1.2 Menikiden fabrika çenli metamorfoz syýahaty
ZHHIMG-niň Şandongdaky akylly önümçilik bazasyny mysal hökmünde alyp, çig granit böleginiň aşakdaky synaglardan geçmelidigi anyklandy:
Ultra takyk işleme: 200 sagat üznüksiz frezerleme üçin bäş okly baglanyşyk işleme merkezi, ýüziň tekizligi Ra0.008μm çenli
Emeli garramagy bejermek: hemişelik temperatura we çyglylyk ussahanasynda 48 sagat tebigy stresden boşadylýar, bu bolsa önümiň durnuklylygyny 40% ýokarlandyrýar.
Ikinjiden, ýarymgeçiriji önümçiliginiň "daş çözgüdi" bilen baglanyşykly alty takyklyk meselesini çözüň
2.1 Waferiň parçalanma tizligini azaltmak shemasy
Mysal görkezilişi: Germaniýadaky çip döküm zawody biziň gazly suwda ýüzýän granit platformamyzy işe girizenden soň:
| Wafer diametri | çip tizliginiň peselmegi | tekizligiň gowulanmagy |
| 12 dýuým | 67% | ≤0.001mm |
| 18 dýuým | 82% | ≤0.0005mm |
2.2 Litografik deňleşdirme takyklygynyň öňe gidiş shemasy
Temperatura kompensasiýa ulgamy: gömülen keramiki sensor şekil üýtgeýjisini real wagt režiminde gözegçilik edýär we platformanyň egilişini awtomatiki usulda sazlaýar
Ölçenen maglumatlar: 28℃±5℃ üýtgemelerinde, ýerleşdirmegiň takyklygy 0.12μm-den az üýtgeýär
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 24-nji marty