Takyk önümçilik we ylmy gözleglerde granit takyk platformalarynyň tekizligi enjamlaryň takyklygyny üpjün etmek üçin esasy görkeziji bolup durýar. Aşakda esasy akymlary kesgitlemegiň birnäçe usullary we olaryň siziň üçin iş proseduralary barada jikme-jik maglumat berilýär. ?
I. Lazer interferometrini kesgitlemek usuly
Lazer interferometri, ýokary takyklygy kesgitlemek üçin ileri tutulýan guraldyr. Mysal üçin ZYGO GPI XP lazer interferometrini alyň, çözgüdi 0,1nm ýetip biler. Ectionüze çykarylanda, ilki interferometriň ýagtylyk çeşmesini platforma bilen deňleşdiriň we platformanyň üstüni 50mm × 50mm gözenek meýdançalaryna bölüň. Netijede, päsgelçilik gysga maglumatlary nokatlar boýunça ýygnaldy we tekizlik ýalňyşlygyny almak üçin maglumatlar Zernike polinomial arkaly ýerleşdirildi we analiz edildi. Bu usul ýokary takyklyk platformalarynda ulanylýar we ≤0.5μm / m² tekizlik ýalňyşlyklaryny ýüze çykaryp bilýär. Adatça fotolitografiýa maşynlaryny we ýokary derejeli üç koordinat ölçeg maşyn platformalaryny ýüze çykarmakda ulanylýar. ?
Ii. Elektron derejeli array usuly
Elektron derejeli massiw kesgitlemek ýönekeý we ýokary netijelidir. TESA A2 elektron derejesi (durulygy 0.01μm / m) saýlandy we platformanyň X / Y ok ugry boýunça 9 × 9 massiwde ýerleşdirildi. Her derejedäki ýapgyt maglumatlary sinhron ýygnamak we hasaplamak üçin iň az kwadrat usuly ulanmak bilen tekizligiň bahasyny takyk alyp bolýar. Bu usul platformanyň ýerli konweksiýasyny we konweksiýa şertlerini netijeli kesgitläp biler. Mysal üçin, köpçülikleýin önümçilikde çalt ýüze çykarmak üçin 50 mm aralykda 0,2μm üýtgäp durmagy hem ýüze çykarylyp bilner. ?
Iii. Optiki tekiz kristal usuly
Optiki tekiz kristal usuly kiçi meýdan platformalaryny kesgitlemek üçin amatlydyr. Platformada synag edilmek üçin optiki tekiz kristalyny daşyna berkidiň we monohromatiki ýagtylyk çeşmesiniň (natriý çyrasy ýaly) yşyklandyrylmagy netijesinde olaryň arasynda emele gelen päsgelçilik çäklerini synlaň. Zolaklar parallel göni zolaklar bolsa, gowy tekizligi görkezýär. Egri zolaklar peýda bolsa, zolagyň egrilik derejesine görä tekizlik ýalňyşlygyny hasaplaň. Her egri zolak 0,316μm beýiklik tapawudyny görkezýär we tekizlik maglumatlary ýönekeý öwrülişik arkaly alyp bolýar. ?
Dört. Üç koordinatly ölçeg maşynyny barlamak usuly
Üç koordinatly ölçeg enjamy üç ölçegli giňişlikde ýokary takyklygy ölçäp biler. Granit platformasyny ölçeg maşynynyň iş stoluna ýerleşdiriň we platany ýüzündäki birnäçe ölçeg nokatlaryndan maglumatlary birmeňzeş ýygnamak üçin zondy ulanyň. Ölçeg maşyn ulgamy, platformanyň tekizligi hasabatyny döretmek üçin bu maglumatlary işleýär we seljerýär. Bu usul diňe bir tekizligi ýüze çykarmak bilen çäklenmän, platformanyň beýleki geometrik parametrlerini hem bir wagtda alyp biler we uly granit platformalaryny hemmetaraplaýyn kesgitlemek üçin amatlydyr. ?
Bu kesgitleme usullaryny özleşdirmek, granit takyklyk platformasynyň tekizligine takyk baha bermäge we takyk enjamlaryň durnukly işlemegi üçin ygtybarly kepillik berip biler.
Iş wagty: Maý-29-2025