Ýokary derejeli önümçilik we öňdebaryjy ylmy barlaglar ulgamynda howa ýüzüjisiniň örän takyk hereket moduly ajaýyp takyklyk görkezijileri bilen inçe işleme we ölçeg üçin esasy enjama öwrüldi. Granit takyklyk binýady, goldaw özeni hökmünde, iş gurşawy üçin berk talaplara eýedir we amatly daşky gurşaw şertleri onuň durnukly işlemegini we iň gowy täsirini üpjün etmek üçin esas bolup durýar.
Birinjiden, temperatura gözegçiligi: takyk "durnuklaşdyryjy"
Granit durnuklylygy bilen tanalsa-da, temperatura üýtgemelerine doly garşy däl. Termal giňelme koeffisiýenti pes bolsa-da, adatça 5-7 × 10⁻⁶/℃ bolsa-da, örän takyk hereket dolandyryş senariýalarynda temperaturanyň inçe üýtgemeleri ölçeg üýtgemelerine sebäp bolup we modulyň takyklygyna täsir edip biler. Ýarymgeçiriji çip öndürýän sehde litografiýa prosesi danami derejesindäki ýerleşdiriş takyklygyny talap edýär we daşky gurşawyň temperaturasy 1°C üýtgeýär we gapdal uzynlygy 1 metr bolan granit esasy 5-7 mikron çyzykly giňelmegi ýa-da gysylmany döredip biler. Bu kiçi üýtgeşiklik howa ýüzüjisiniň örän takyk hereket moduly tarapyndan geçirilýär, bu bolsa çip litografiýasynyň nusgasynyň üýtgemesini we hasyllylygy ep-esli azaltmagy üçin ýeterlikdir. Şonuň üçin, howada ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň granit takyk binýady bilen enjamlaşdyrylan, ideal iş gurşawynyň temperaturasy 20°C ±1°C derejesinde gözegçilikde saklanmaly, ýokary takyklykly hemişelik temperatura enjamlarynyň, mysal üçin, hemişelik temperatura we çyglylyk kondisioner ulgamy, daşky gurşawyň temperaturasyny yzygiderli gözegçilikde saklamak we sazlamak ýaly enjamlaryň kömegi bilen, temperatura üýtgemeleriniň örän kiçi aralykda bolmagyny üpjün etmek, esasyň ululygynyň durnuklylygyny saklamak we modulyň ýokary takyklykly işlemegini üpjün etmek üçin.
Ikinjiden, çyglylygy dolandyrmak: çyglylyga garşy goragyň açary "daş"
Çyglylyk takyk granit binýadynyň işine täsir edýän ýene bir möhüm faktordyr. Ýokary çyglylykly gurşawda granit suw buguny aňsatlyk bilen siňdirip bilýär, bu bolsa ýüzünde kondensasiýa döredip bilýär, bu bolsa diňe bir granitiň we howa ýüzüjisiniň ultra takyk hereket modulynyň birikme durnuklylygyna täsir etmän, eýsem, uzak möhletde ýüzüň eroziýasyna sebäp bolup, ýalpyldawuklygyny we takyklygyny peseldip biler. Optiki linzalary üweýän ussahanada, eger çyglylyk uzak wagtlap 60% RH-dan ýokary bolsa, granit binýadynyň ýüzünde siňdirilen suw bugusy gaz ýüzüji sürgüjiniň hereketine päsgel berer, şonuň üçin linzalary üweýän takyklyk peseler we ýüz kemçilikli bolar. Şonuň üçin, iş gurşawynyň otnositel çyglylygy 40%-60% RH aralygynda berk gözegçilikde saklanmalydyr, bu bolsa ýokary çyglylyk sebäpli granit binýadyna zyýan ýetmezçilik etmekden gaça durmak we howa ýüzüjisiniň ultra takyk hereket modulynyň sazlaşykly işlemegini üpjün etmek üçin çyglylyk azaldyjylary, çyglylyk datçiklerini we beýleki enjamlary gurnamak arkaly hakyky wagtda gözegçilik edilip we sazlanyp bilner.
Üçünjiden, arassalygyň kepilligi: takyklygyň "goragçysy"
Howa flotasiýasynyň ultra takyk hereket modulynyň takyk granit binýadyna tozan bölejikleriniň zyýanyny pes baha berip bolmaz. Kiçi bölejikler gaz plyonkasynyň deňligini bozup, sürtülmäni artdyryp, hatda binýadyň ýüzüni dyrnap, hereketiň takyklygyny peseldip biler. Aerokosmos bölekleriniň ultra takyk işleme ussahanasynda, howadaky tozan bölejikleri granit binýadyna düşse, işleme guralynyň hereket traektoriýasy üýtgedilip, bölekleriň işleme takyklygyna täsir edip biler. Şonuň üçin iş ýeri ýokary derejede arassa saklanmaly, ýokary netijeli howa süzgüçleri (HEPA) ýaly howa arassalaýjy enjamlary gurnamak arkaly 10,000 ýa-da ondan hem ýokary derejeli arassaçylyk standartlaryna ýetmeli, howadaky tozan bölejiklerini süzmeli, şol bir wagtyň özünde işgärler adamlaryň getirýän tozany azaltmak üçin tozansyz eşik, aýakgap örtügi we ş.m. geýmeli. Granit binýadynyň we howadaky ultra takyk hereket modulynyň ýokary takyklykly iş gurşawyny saklaň.
Dördünjiden, titreme izolýasiýasy: "amortizator ýastygynyň" rahat işlemegi
Daşarky titreme howa ýüzüjisiniň ultra takyk hereket modulynyň takyklygynyň duşmanydyr. Takyk granit binýady belli bir titreme gowşatma ukybyna eýe bolsa-da, ýokary güýçli titreme onuň bufer çägini bozup biler. Zawodyň töweregindäki hereket we uly mehaniki enjamlaryň işlemegi netijesinde döreýän titreme ýer arkaly granit binýadyna geçirilýär, bu bolsa howa ýüzüjisiniň ultra takyk hereket modulynyň hereket takyklygyna päsgel berer. Ýokary derejeli CMM-de titreme ölçeg zondy bilen ölçelýän iş böleginiň arasyndaky gatnaşygyň durnuksyz bolmagyna sebäp bolup, ölçeg maglumatlarynyň gyşarylmagyna sebäp bolup biler. Bu meseläni çözmek üçin enjamlaryň gurnalýan ýerinde titreme izolýasiýa meýdançalaryny goýmak, titreme izolýasiýa binýadyny gurmak ýa-da daşarky titremeleriň öňüni almak üçin işjeň titreme izolýasiýa ulgamyny ulanmak we granit takyk binýady we howa ýüzüjisiniň ultra takyk hereket moduly üçin asuda we durnukly iş gurşawyny döretmek ýaly netijeli titreme izolýasiýa çärelerini görmek zerurdyr.
Diňe temperatura, çyglylyk, arassaçylyk we titreme gözegçiligi ýaly daşky gurşaw talaplaryny doly kanagatlandyrmak arkaly, howa ýüzüjisiniň ultra takyk hereket modulynyň granit takyk binýady onuň iş artykmaçlyklaryny doly derejede ulanyp biler, dürli ugurlarda ultra takyk işler üçin ygtybarly kepillik berip biler we senagatyň has ýokary takyk önümçilik we ylmy barlag derejesine çykmagyna kömek edip biler.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 8-nji apreli