?
Ondarymgeçiriji önümçiliginde, çip öndürmek prosesiniň takyklygyny kesgitleýän esasy enjam hökmünde fotolitografiýa maşynynyň içki gurşawynyň durnuklylygy möhüm ähmiýete eýe. Örän ultramelewşe ýagtylyk çeşmesiniň tolgunmasyndan başlap, nanoskale takyk hereket platformasynyň işleýşine çenli her baglanyşykda azajyk gyşarma bolup bilmez. Granit esaslary, özboluşly aýratynlyklary bilen, fotolitografiýa maşynlarynyň durnukly işlemegini üpjün etmekde we fotolitografiýanyň takyklygyny ýokarlandyrmakda deňi-taýy bolmadyk artykmaçlyklary görkezýär. ?
Ajaýyp elektromagnit gorag öndürijiligi
Fotolitografiýa maşynynyň içki bölegi çylşyrymly elektromagnit gurşaw bilen doldurylýar. Örän ultramelewşe ýagtylyk çeşmeleri, hereketlendiriji hereketlendirijiler we ýokary ýygylykly elektrik üpjünçiligi ýaly komponentler tarapyndan döredilen elektromagnit päsgelçilik (EMI), enjamyň içindäki takyk elektron bölekleriniň we optiki ulgamlaryň işleýşine düýpli täsir eder. Mysal üçin, päsgelçilik fotolitografiýa nagyşlarynda azajyk gyşarmalara sebäp bolup biler. Ösen önümçilik proseslerinde, bu çipdäki nädogry tranzistor birikmelerine sebäp bolup, çip öndürijiligini ep-esli azaldar. ?
Granit metal däl material bolup, elektrik toguny özi geçirmeýär. Içindäki erkin elektronlaryň metal materiallardaky ýaly hereketi netijesinde ýüze çykýan elektromagnit induksiýa hadysasy ýok. Bu häsiýet, içerki elektromagnit päsgelçiligiň geçiş ýoluny netijeli bloklap bilýän tebigy elektromagnit gorag organy edýär. Daşarky elektromagnit päsgelçilik çeşmesinden emele gelen üýtgeýän magnit meýdany granit bazasyna ýaýranda, granit magnit däl we magnitleşdirilip bilinmeýänligi sebäpli, üýtgeýän magnit meýdanyna girmek kyn, şeýlelik bilen bazada oturdylan fotolitografiýa maşynynyň esasy böleklerini, meselem, takyk datçikler we optiki obýektiw sazlaýyş enjamlarynyň elektromagnit päsgelçilikleriniň täsirinden goraýar. ?
Ajaýyp wakuum utgaşyklygy
Ultramelewşe şöhläniň (EUV) howany goşmak bilen ähli maddalar aňsatlyk bilen siňýändigi sebäpli, EUV litografiýa maşynlary wakuum gurşawynda işlemeli. Bu pursatda enjam bölekleriniň wakuum gurşawyna laýyklygy aýratyn möhüm bolýar. Wakuumda materiallar gazy eräp, siňdirip we goýberip biler. Çykarylan gaz diňe bir EUV ýagtylygyny siňdirip, ýagtylygyň intensiwligini we geçiriş netijeliligini peseltmän, optiki linzalary hem hapalap biler. Mysal üçin, suw bugy linzalary oksidläp biler we uglewodorodlar linzalara uglerod gatlaklaryny goýup, litografiýanyň hiline çynlakaý täsir edip biler. ?
Granit durnukly himiki aýratynlyklara eýedir we wakuum gurşawynda gaz çykarmaz. Hünär synaglaryna görä, H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻⁷ Pa) talap edýän simulirlenen fotolitografiýa maşynynyň wakuum gurşawynda (esasy kamerada yşyklandyryş optiki ulgamy we şekillendiriş optiki ulgamy ýerleşýän ultra arassa wakuum gurşawy), granit bazasynyň çykaryş tizligi metallar ýaly beýleki materiallardan has pesdir. Bu, fotolitografiýa maşynynyň içki bölegine ýokary vakuum derejesini we arassalygyny uzak wagtlap saklamaga, optiki linzalar üçin EUV ýagtylygynyň ýokary geçmegini üpjün etmäge, optiki ulgamyň hyzmat möhletini uzaltmaga we fotolitografiýa maşynynyň umumy işleýşini ýokarlandyrmaga mümkinçilik berýär. ?
Güýçli yrgyldy garşylygy we ýylylyk durnuklylygy
Fotolitografiýa prosesinde, nanometr derejesinde takyklyk, fotolitografiýa maşynynyň sähelçe yrgyldy ýa-da termiki deformasiýa bolmaly däldigini talap edýär. Seminarda beýleki enjamlaryň işlemegi we işgärleriň hereketi netijesinde dörän daşky gurşaw titremeleri, şeýle hem fotolitografiýa maşynynyň işleýän wagtynda öndürýän ýylylygy, fotolitografiýanyň takyklygyna päsgel berip biler. Granit ýokary dykyzlygy we gaty gurluşy, ajaýyp yrgyldy garşylygy bar. Içki mineral kristal gurluşy yrgyldy energiýasyny netijeli güýçlendirip we titremäniň ýaýramagyny çalt basyp bilýän ykjamdyr. Synag maglumatlary, şol bir yrgyldy çeşmesiniň aşagynda granit bazasynyň yrgyldy amplitudasyny 0,5 sekundyň içinde 90% -den gowrak azaldyp biljekdigini görkezýär. Metal bazasy bilen deňeşdirilende, enjamlary has çalt dikeldip, fotolitografiýa linzasy bilen wafli arasynda takyk otnositel ýagdaýy üpjün edip biler we titremäniň netijesinde ýüze çykýan nagyşlaryň bulaşmagyndan ýa-da gabat gelmezliginiň öňüni alyp biler. ?
Bu aralykda, granitiň ýylylyk giňelme koeffisiýenti gaty pes, takmynan (4-8) × 10⁻⁶ / ℃, bu metal materiallardan has pesdir. Fotolitografiýa maşynynyň işleýşinde, ýagtylyk çeşmesinden ýylylyk öndürmek we mehaniki böleklerden sürtülme ýaly faktorlar sebäpli içerki temperatura üýtgese-de, granit bazasy ölçeg durnuklylygyny saklap biler we ýylylyk giňelmegi we gysylmagy sebäpli düýpli deformasiýa bolmaz. Fotolitografiýa takyklygynyň yzygiderliligini saklap, optiki ulgam we takyk hereket platformasy üçin durnukly we ygtybarly goldaw berýär.
Iş wagty: Maý-20-2025