Ondarymgeçiriji önümçiliginde fotolitografiýa enjamy çipleriň takyklygyny kesgitleýän esasy enjamdyr we köp aýratynlyklary bilen granit bazasy fotolitografiýa maşynynyň aýrylmaz bölegine öwrüldi.
Malylylyk durnuklylygy: Temperaturanyň üýtgemegine garşy "galkan"
Fotolitografiýa enjamy işledilende köp mukdarda ýylylyk öndürýär. Diňe 0,1 of temperaturanyň üýtgemegi enjamyň bölekleriniň deformasiýasyna sebäp bolup biler we fotolitografiýanyň takyklygyna täsir edip biler. Granitiň ýylylyk giňelme koeffisiýenti gaty pes, diňe 4-8 × 10⁻⁶ / ℃, bu poladyň takmynan 1/3 bölegine we alýumin ergininiň 1/5 bölegine deňdir. Bu, granit bazasyna fotolitografiýa maşynynyň uzak wagtlap işlemeginde ýa-da optiki komponentleriň we mehaniki gurluşlaryň takyk ýerleşişini üpjün edip, ölçegli durnuklylygy saklamaga mümkinçilik berýär.
Wibrasiýa garşy super ýerine ýetiriş: Wibrasiýany siňdirýän "gubka"
Ondarymgeçiriji zawodda töweregindäki enjamlaryň işlemegi we adamlaryň hereketi titremäni döredip biler. Granit ýokary dykyzlygy we gaty dokumasy bar, ajaýyp nemlendiriji häsiýetlere eýe, çyglylyk gatnaşygy metallardan 2-5 esse köp. Daşarky yrgyldylar granit bazasyna geçirilende, içki mineral kristallaryň arasyndaky sürtülme yrgyldy energiýasyny dargamak üçin ýylylyk energiýasyna öwürýär, bu gysga wagtyň içinde titremäni ep-esli azaldyp biler, fotolitografiýa maşynynyň durnuklylygy çalt dikeltmegine we titremäniň netijesinde fotolitografiýa nagşynyň bulaşmazlygy ýa-da gabat gelmezligi mümkin.
Himiki durnuklylyk: Arassa gurşawyň "Goragçysy"
Fotolitografiýa maşynynyň içki bölegi dürli himiki serişdeler bilen gatnaşyga girýär we adaty metal materiallar poslamaga ýa-da bölejikleriň çykmagyna ýykgyn edýär. Granit kwars we feldspar ýaly minerallardan durýar. Durnukly himiki aýratynlyklary we güýçli poslama garşylygy bar. Kislota we aşgar erginlerine siňdirilenden soň, ýeriň poslamagy gaty az. Şol bir wagtyň özünde, onuň dykyz gurluşy, iň ýokary arassaçylyk ülňüleriniň talaplaryna laýyk gelýän we wafli hapalanmak howpuny azaldýan galyndy ýa-da tozan öndürmeýär.
Uýgunlaşma gaýtadan işlemek: Takyk görkezijileri döretmek üçin "ideal material"
Fotolitografiýa maşynynyň esasy bölekleri ýokary takyklyk ýüzünde gurulmalydyr. Granitiň içki gurluşy birmeňzeşdir we üwemek, ýalpyldatmak we beýleki usullar arkaly gaty ýokary takyklykda gaýtadan işlemek aňsat. Onuň tekizligi ≤0.5μm / m, üstki çişligi Ra ≤0.05μm bolup, optiki linzalar ýaly komponentler üçin takyk gurnama binýadyny üpjün edýär.
Uzak ömri we tehniki hyzmaty ýok: çykdajylary azaltmak üçin "ýiti gurallar"
Uzak möhletleýin ulanmakda ýadawlyga we döwülmäge ýykgyn bolan metal materiallar bilen deňeşdirilende, granit adaty ýükleriň aşagynda plastmassa deformasiýasyny ýa-da döwülmegini başdan geçirmeýär we ýerüsti bejergini talap etmeýär, şeýlelik bilen örtügiň gabygynyň we hapalanmagynyň öňüni alýar. Amaly amalyýetlerde, köp ýyllap ulanylandan soň, granit bazasynyň esasy öndürijilik görkezijileri henizem durnukly bolup biler, enjamyň işleýşini we tehniki hyzmat çykdajylaryny azaldar.
Malylylyk durnuklylygyndan, himiki inertlige wibrasiýa garşylygyndan, granit bazasynyň köp aýratynlyklary fotolitografiýa maşynynyň talaplaryna doly laýyk gelýär. Çip öndürmek prosesi has takyklyga tarap ösmegini dowam etdirýärkä, granit bazalary ýarymgeçiriji önümçiliginde çalşyp bolmajak rol oýnamagyny dowam etdirer.
Iş wagty: Maý-20-2025