Ýarymgeçirijiler önümçiliginde fotolitografiýa enjamy çipleriň takyklygyny kesgitleýän esasy enjam bolup durýar we köp sanly aýratynlyklary bilen granit esasy fotolitografiýa enjamynyň aýrylmaz bölegine öwrüldi.
Termal durnuklylyk: Temperatura üýtgemelerine garşy "galkan"
Fotolitografiýa enjamy işleýän wagty, ol köp mukdarda ýylylyk öndürýär. Hatda diňe 0,1 ℃ temperatura üýtgemesi hem enjam bölekleriniň deformasiýasyna sebäp bolup, fotolitografiýanyň takyklygyna täsir edip biler. Granitiň termal giňelme koeffisiýenti örän pes, diňe 4-8 × 10⁻⁶/℃, bu polatdan takmynan 1/3 we alýumin ergininden 1/5 deňdir. Bu bolsa fotolitografiýa enjamy uzak wagtlap işleýän wagty ýa-da daşky gurşawyň temperaturasy üýtgeýän wagty granit esasynyň ölçeg durnuklylygyny saklamaga mümkinçilik berýär we optiki bölekleriň we mehaniki gurluşlaryň takyk ýerleşmegini üpjün edýär.
Titreme garşy ajaýyp iş: Titremeleri özüne siňdirýän "süpürgiç"
Ýarymgeçirijiler zawodynda töweregindäki enjamlaryň işlemegi we adamlaryň hereketi titremeleri döredip biler. Granit ýokary dykyzlyga we berk tekstura eýe bolup, ajaýyp demping häsiýetlerine eýedir, demping gatnaşygy metallaryňkydan 2-5 esse ýokarydyr. Daşarky titremeler granit esasyna geçirilende, içki mineral kristallarynyň arasyndaky sürtülme titreme energiýasyny dargamak üçin ýylylyk energiýasyna öwürýär, bu bolsa gysga wagtyň içinde titremäni ep-esli azaldyp biler, bu bolsa fotolitografiýa enjamyna durnuklylygy çalt dikeltmäge we titreme sebäpli fotolitografiýa nusgasynyň bulanmagyna ýa-da deňleşdirilmezligine ýol bermeýär.
Himiki durnuklylyk: Arassa daşky gurşawyň "goragçysy"
Fotolitografiýa enjamynyň içki bölegi dürli himiki serişdeler bilen aragatnaşykda bolýar we adaty metal materiallary poslamaga ýa-da bölejikleriň çykmagyna meýilli bolýar. Granit kwarts we feldispat ýaly minerallardan ybarat. Ol durnukly himiki häsiýetlere we güýçli poslama garşylygyna eýedir. Kislota we gidroksidi erginlerine çümdürilenden soň, ýüzdäki poslama örän az bolýar. Şol bir wagtyň özünde, onuň dykyz gurluşy iň ýokary arassa otag standartlarynyň talaplaryna laýyk gelýän we plastina hapalanma howpuny azaldýan tas hiç hili hapa ýa-da tozan döretmeýär.
Işläp çykaryşa uýgunlaşmak: Takyk ölçegleri döretmek üçin "ideal material"
Fotolitografiýa enjamynyň esasy bölekleri ýokary takyklykly gözegçilik ýüzüne gurnalmaly. Granitiň içki gurluşy birmeňzeş we ony üwemek, jylalamak we beýleki usullar arkaly örän ýokary takyklyk bilen işläp çykarmak aňsat. Onuň tekizligi ≤0.5μm/m ýetip biler, ýüzüniň nagyşlygy bolsa ≤0.05μm bolup, optiki linzalar ýaly bölekleriň takyk gurnalmagy üçin esas döredýär.
Uzak ömür we tehniki hyzmat talap etmezlik: Çykdajylary azaltmak üçin "keskin gurallar"
Uzak möhletli ulanylanda ýadawlyga we çatlamaga meýilli metal materiallar bilen deňeşdirilende, granit adaty ýükleriň aşagynda plastik deformasiýa ýa-da döwülmelere asla sezewar bolmaýar we ýüzleý işlemegi talap etmeýär, şonuň üçin örtügiň soyulmagy we hapalanmagy howpunyň öňüni alýar. Amaly ulanylyşlarda, köp ýyllar ulanylandan soň, granit esasynyň esasy görkezijileri durnukly galyp, enjamlaryň işleýiş we tehniki hyzmat çykdajylaryny azaldýar.
Granit esasynyň termal durnuklylygyndan, titreme garşylygyndan başlap, himiki inertlige çenli köp sanly aýratynlyklary fotolitografiýa maşynynyň talaplaryna doly laýyk gelýär. Çip öndürmek prosesi has ýokary takyklyga tarap ösmegini dowam etdirýän mahaly, granit esasy ýarymgeçiriji önümçilik ulgamynda ornuny tutmajak rol oýnamagyny dowam etdirer.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 20-nji maýy