Ondarymgeçiriji wafli barlamak pudagynda arassa otagyň arassalygy önümiň hasyllylygy bilen gönüden-göni baglanyşyklydyr. Çip öndürmek prosesleriniň takyklygy gowulaşmagy bilen, kesgitleýiş enjamlarynyň göteriji platformalaryna bolan talaplar barha berkleşýär. Granit platformalary, nol metal ionynyň bölünip çykmagy we bölejikleriň pes hapalanmagy bilen häsiýetlendirilen adaty poslamaýan polat materiallaryndan ýokary bolup, wafli barlag enjamlary üçin ileri tutulýan çözgüt boldy.
Granit, esasan, kwars, feldspar we mika ýaly metal däl minerallardan ybarat tebigy çökündi gaýa. Bu häsiýet, nol metal ionynyň çykarylmagynyň artykmaçlygyny berýär. Munuň tersine, poslamaýan polat, demir, hrom we nikel ýaly metallaryň garyndysy hökmünde, arassa otagda suw buglarynyň we kislotaly ýa-da aşgar gazlarynyň eroziýasy sebäpli Fe²⁺ we Cr³⁺ ýaly metal ionlarynyň çökmegine sebäp bolup, elektrokimiki poslama ýykgyn edýär. Bu kiçijik ionlar wafliň ýüzüne birikdirilenden soň, fotolitografiýa we efir ýaly indiki proseslerde ýarymgeçiriji materialyň elektrik aýratynlyklaryny üýtgederler, tranzistoryň bosagadaky naprýa .eniýe süýşmegine sebäp bolar we hatda zynjyryň gysga zynjyrlaryna sebäp bolar. Hünärment edarasynyň synag maglumatlary, granit platformasynyň simulirlenen arassa otag temperaturasyna we çyglylyk gurşawyna (23 ± 0,5 ℃, 45% ± 5% RH) 1000 sagatlap yzygiderli täsir edenden soň, metal ionlarynyň çykarylyşynyň kesgitleme çäginden pesdigini görkezýär (<0.1ppb). Poslamaýan polat platformalary ulananyňyzda metal ionynyň hapalanmagy sebäpli dörän waflleriň kemçilik derejesi 15% -den 20% -e çenli bolup biler.
Bölejikleriň hapalanmagyna gözegçilik etmek nukdaýnazaryndan granit platformalary hem gaty gowy işleýär. Arassa otaglarda asma bölejikleriň howada konsentrasiýasy üçin aşa ýokary talaplar bar. Mysal üçin, ISO 1-nji synp otaglarynda her kub metr üçin rugsat berlen 0,1μm bölejikleriň sany 10-dan geçmeýär. Poslamaýan polat platformasy polishing bejergisini geçiren hem bolsa, enjamyň titremesi we işgärleriň işleýşi ýaly daşarky güýçler sebäpli demir galyndylaryny ýa-da oksid masştabyny çykaryp biler, bu optiki ýoluň ýüze çykmagyna päsgel berip biler ýa-da wafliň ýüzüni çyzyp biler. Dykyz mineral gurluşy (dykyzlygy ≥2.7g / cm³) we ýokary gatylygy (Mohs şkalasynda 6-7) bolan granit platformalary uzak möhletleýin ulanylanda könelmez ýa-da döwülmez. Ölçegli ölçegler, poslamaýan polat platformalary bilen deňeşdirilende, kesgitleýiş enjamlarynyň howasyndaky togtadylan bölejikleriň konsentrasiýasyny 40% -den gowrak azaldyp biljekdigini, arassa otagyň standartlaryny netijeli saklap biljekdigini görkezýär.
Arassa aýratynlyklaryndan başga-da, granit platformalarynyň hemmetaraplaýyn öndürijiligi poslamaýan polatdan has ýokarydyr. Malylylyk durnuklylygy nukdaýnazaryndan, ýylylyk giňeliş koeffisiýenti diňe (4-8) × 10⁻⁶ / is, poslamaýan poladyň ýarysyndan az (takmynan 17 × 10⁻⁶ / ℃), arassa otagyň temperaturasy üýtgän mahaly kesgitleýiş enjamlarynyň ýerleşiş takyklygyny has gowy saklap biler. Highokary nemlendiriji häsiýet (damping gatnaşygy> 0.05) enjamyň titremesini çaltlaşdyryp biler we kesgitleýiş barlagynyň titremeginiň öňüni alyp biler. Tebigy poslama garşylygy, goşmaça örtük goragynyň zerurlygy bolmazdan, fotorezist erginlerine, gaz gazlaryna we beýleki himiki serişdelere sezewar bolanda-da durnukly bolmaga mümkinçilik berýär.
Häzirki wagtda ösen wafli öndürýän zawodlarda granit platformalary giňden ulanylýar. Maglumatlar granit platformasyny kabul edenden soň, ýerüsti bölejikleri kesgitlemegiň nädogry kesgitleniş derejesiniň 60% azalandygyny, enjamlaryň kalibrleme sikliniň üç esse, önümçiligiň umumy bahasynyň 25% azalandygyny görkezýär. Ondarymgeçiriji pudagy has takyklyga tarap barýarka, nol metal ionynyň çykmagy we bölejikleriň pes hapalanmagy ýaly esasy artykmaçlyklary bilen granit platformalary, wafli barlamak üçin durnukly we ygtybarly goldaw bermegi dowam etdirer we pudagyň ösüşine itergi berýän möhüm güýje öwrüler.
Iş wagty: Maý-20-2025