Ondarymgeçiriji öndürmek we takyk ölçeg gurallary ýaly ugurlarda granit takyk platformalarynyň takyklygy enjamlaryň işleýiş hilini gönüden-göni kesgitleýär. Platformanyň takyklygynyň standartlara laýyk gelmegini üpjün etmek üçin iki tarapdan tagalla etmeli: esasy görkezijileri kesgitlemek we standart kadalara laýyklyk. ?
Esasy görkezijini kesgitlemek: Takyklygyň köp ölçegli gözegçiligi
Tekizligi ýüze çykarmak: salgylanma tekizliginiň "tekizligini" kesgitlemek
Tekizlik granit takyklyk platformalarynyň esasy görkezijisidir we adatça lazer interferometrleri ýa-da elektron derejeleri bilen ölçelýär. Lazer interferometri, lazer şöhlesini çykaryp we aşaky mikron derejesine ýetýän takyklyk bilen platforma üstündäki minutlyk düzgünleri takyk ölçäp biler. Elektron derejesi birnäçe gezek hereket etmek bilen ölçelýär we ýerli aýlawlaryň ýa-da depressiýalaryň bardygyny anyklamak üçin platformanyň üstündäki üç ölçegli kontur kartasyny çyzýar. Mysal üçin, ýarymgeçiriji fotolitografiýa maşynlarynda ulanylýan granit platformalarynyň tekizligi ± 0,5μm / m bolmaly, bu bolsa 1 metr uzynlykdaky beýiklik tapawudynyň ýarym mikrometrden geçmeli däldigini aňladýar. Diňe ýokary takyklygy anyklaýyş enjamlary arkaly bu berk standart üpjün edilip bilner. ?
2. Göni kesgitlemek: Çyzykly hereketiň "göniligini" üpjün ediň
Takyk hereket edýän bölekleri göterýän platformalar üçin gönüden-göni möhüm ähmiýete eýe. Ectionüze çykarmagyň umumy usullary sim usuly ýa-da lazer kollimatorydyr. Sim usuly ýokary takyklykly polat simleri togtatmagy we göniligi kesgitlemek üçin platforma üstü bilen polat simleriň arasyndaky boşlugy deňeşdirmegi öz içine alýar. Lazer kollimatory, platforma gollanma demirýolunyň gurnama ýüzüniň çyzykly ýalňyşlygyny ýüze çykarmak üçin lazeriň çyzykly köpeliş aýratynlyklaryny ulanýar. Gönilik standartlara laýyk gelmeýän bolsa, enjamyň hereket wagtynda üýtgemegine, gaýtadan işlemegine ýa-da ölçeg takyklygyna täsir eder. ?
3. faceerüsti gödekligi ýüze çykarmak: Aragatnaşygyň "inçe" bolmagyny üpjün ediň
Platformanyň üstki çişligi komponentleri gurmagyň laýyklygyna täsir edýär. Adatça, kesgitlemek üçin stilus gödekligi ölçeýji ýa-da optiki mikroskop ulanylýar. Stilus görnüşli gural, platforma ýüzüne inçe zond bilen ýüz tutup, mikroskopik profiliň beýiklik üýtgemelerini ýazga alýar. Optiki mikroskoplar ýerüsti gurluşy gönüden-göni synlap biler. Highokary takyklykly programmalarda, granit platformalarynyň üstki çişligi Ra≤0.05μm-de gözegçilik edilmelidir, bu aýna ýaly täsire deňdir, gurnama wagtynda takyk komponentleriň berk gabat gelmegini üpjün eder we boşluklar sebäpli titremäniň ýa-da süýşmegiň öňüni alar. ?
Takyklyk ülňüleri: halkara kadalary we kärhananyň içerki gözegçiligi
Häzirki wagtda halkara derejesinde ISO 25178 we GB / T 24632 standartlary granit platformalarynyň takyklygyny kesgitlemek üçin esas hökmünde ulanylýar we tekizlik we gönümellik ýaly görkezijiler üçin anyk klassifikasiýalar bar. Mundan başga-da, ýokary derejeli önümçilik kärhanalary köplenç has berk içerki gözegçilik standartlaryny kesgitleýärler. Mysal üçin, fotolitografiýa maşynynyň granit platformasy üçin tekizlik talaplary halkara standartyndan 30% ýokarydyr. Synaglar geçirilende ölçenen maglumatlary degişli standartlar bilen deňeşdirmeli. Diňe standartlara doly laýyk gelýän platformalar takyk enjamlarda durnukly işlemegi üpjün edip biler. ?
Granit takyklyk platformalarynyň takyklygyny barlamak yzygiderli taslama. Diňe tekizlik, gönüden-göni we ýerüsti gödeklik ýaly esasy görkezijileri berk barlamak we halkara we kärhana ülňülerine boýun bolmak bilen ýarymgeçirijiler we takyk gurallar ýaly ýokary derejeli önümçilik meýdanlary üçin berk binýady döredip, platformanyň ýokary takyklygy we ygtybarlylygy kepillendirilip bilner.
Iş wagty: 21-2025-nji maý