Granit materiallary ýokary durnuklylyk, pes termal giňelme we korroziýa garşy ýokary garşylyk ýaly ajaýyp häsiýetleri sebäpli ýarymgeçirijiler senagatynda giňden ulanylýar. Bu häsiýetler graniti plastinka geçirijilik ulgamynda ýokary takyklykly bölekleri gurmak üçin ideal materiala öwürýär.
Ýarymgeçirijileri öndürmek prosesinde, waferleri önümçilik prosesiniň dürli tapgyrlarynda daşamakda waferleri geçirmek ulgamy möhüm rol oýnaýar. Bu ulgamlar üçin takyklyk we takyklyk esasy talaplardyr, sebäbi hatda kiçijik üýtgeşmeler hem tutuş prosessi howp astyna salyp biler. Şonuň üçin waferleri geçirmek ulgamyndaky bölekler ýokary hilli materiallardan ýasalmaly we granit bu ölçeglere laýyk gelýär.
Granit materiallaryndan ýasalan wafli geçirijilik ulgamynyň käbir böleklerine aşakdakylar girýär:
1. Wakuum Çak Stolu
Wakuum patron stoly iş wagtynda waferi saklamak üçin ulanylýar we waferiň zaýalanmazlygyny üpjün etmek üçin onuň durnukly ýüzi bolmaly. Granit bu stoly ýasamak üçin ideal materialdyr, sebäbi ol ýokary durnuklylygy we takyklygy üpjün edýän tekiz, gözeneksiz ýüze eýedir. Mundan başga-da, granitiň termal giňelme koeffisiýenti pes, bu bolsa ony waferde ölçeg üýtgemelerine sebäp bolup biljek temperatura üýtgemelerine çydamly edýär.
2. Howa göteriji basgançak
Howa göteriji basgançak waferi önümçilik prosesiniň dürli tapgyrlaryndan geçirmek üçin ulanylýar. Basgançak ýokary takyklygy we durnuklylygy talap edýän sürtünmesiz hereketi üpjün etmek üçin döredildi. Granit bu ugurda ulanylýar, sebäbi ol berk we gaty daş bolup, wagtyň geçmegi bilen deformasiýa we aşynma garşy durýar.
3. Çyzykly hereket ýol görkezijileri
Hawa göteriji basgançagy gönükdirmek üçin çyzykly hereket gönükdirijiler ulanylýar we ýalňyşlyklary azaltmak üçin olar takyk ýerleşdirilmelidir. Bu gönükdirijini gurmak üçin granit ulanylýar, sebäbi ol ajaýyp mehaniki durnuklylyga we berklige eýedir. Şeýle hem, material korroziýa garşy çydamlydyr, bu bolsa gönükdiriji ulgamynyň uzak wagtlap işlemegini üpjün edýär.
4. Metrologiýa enjamlary
Metrologiýa enjamlary önümçilik prosesinde waferiň ölçeglerini we häsiýetlerini ölçmek üçin ulanylýar. Granit bu enjamy gurmak üçin ideal materialdyr, sebäbi ol ýokary berklige, pes giňelmäge we ýük astynda minimal deformasiýa eýedir. Mundan başga-da, granitiň termal durnuklylygy metrologiýa enjamlarynyň wagtyň geçmegi bilen durnukly we takyk bolmagyny üpjün edýär.
Netijede, ýarymgeçirijiler senagaty takyklyga we dogrulyga daýanýar we granit materiallary önümçilik prosesinde örän ygtybarly we durnuklydygyny subut etdi. Plastinka geçirijilik ulgamyndaky köp sanly möhüm bölekler ýokary durnuklylygy, takyklygy we pes termal giňelmäni talap edýänligi sebäpli, inženerler bu möhüm talaplary kanagatlandyrmak üçin granit materiallaryna ýüz tutdular.
Ýerleşdirilen wagty: 2024-nji ýylyň 19-njy marty