Ýarymgeçiriji önümçiliginiň takyk zynjyrynda wafer geçiriji ulgamy "çip önümçilik liniýasynyň ýaşaýyş liniýasy" ýalydyr we onuň durnuklylygy we takyklygy çipleriň öndürijilik tizligini gönüden-göni kesgitleýär. Wafer geçiriji ulgamlarynyň täze nesli çyzykly hereketlendirijileri granit esaslary bilen rewolýusiýa taýdan birleşdirýär we granit materiallarynyň özboluşly artykmaçlyklary ýokary öndürijilikli geçirijiligi açmak üçin esasy koddyr.
Granit binýady: Durnukly geçirijilik üçin "gaýa ýaly berk binýady" gurmak
Ýüzlerçe million ýyllap geologik taýdan kämilleşdirilen granit, içki mineral kristallaşmasynyň dykyz we birmeňzeş häsiýetine eýedir. Bu tebigy häsiýet ony wafer geçirijilik ulgamlary üçin ideal esasy materiala öwürýär. Ýarymgeçiriji arassa otaglaryň çylşyrymly gurşawynda, örän pes termal giňelme koeffisiýenti (diňe 5-7 × 10⁻⁶/℃) bolan granit enjamlaryň işlemegi wagtynda döreýän ýylylyga we daşky gurşawyň temperatura üýtgemeleriniň täsirine garşy durup, esasyň ölçeginiň durnuklylygyny üpjün edip we termal deformasiýa sebäpli geçirijilik ýolunyň üýtgemeginiň öňüni alyp bilýär. Onuň ajaýyp titreme söndürijiligi, liniýa hereketlendirijileriniň işe girizilmegi, ýapylmagy we tizlenmegi wagtynda döreýän mehaniki titremeleri, şeýle hem ussahanadaky beýleki enjamlaryň işlemegi sebäpli daşarky päsgelçilikleri çalt siňdirip, wafer geçirijiligi üçin "nol silkme" bolan durnukly platforma üpjün edip bilýär.
Şol bir wagtyň özünde, granitiň himiki durnuklylygy, kislota we gidroksidi reagentleriniň uçujy we ýokary arassaçylyk talap edilýän ýarymgeçiriji sehlerinde onuň poslamazlygyny ýa-da poslamazlygyny üpjün edýär, şeýlelik bilen materialyň könelmegi ýa-da hapa maddalaryň adsorbsiýasy sebäpli geçirijiligiň takyklygyna täsiriniň öňüni alýar. Ýumşak we dykyz ýüz häsiýetnamalary tozanyň ýelmeşmegini has netijeli azaldyp, arassa otaglaryň berk tozansyz standartlaryna laýyk gelýär we kökden plastinka hapalanmagynyň töwekgelçiligini aradan aýyrýar.
Lineýarly motorlaryň we granitiň "altyn hyzmatdaşlyk" täsiri
Mehaniki geçirijilik aralygynyň ýoklugy, ýokary tizlenme we ýokary jogap tizligi ýaly aýratynlyklary bilen çyzykly hereketlendirijiler wafer geçirijiligine "çalt, takyk we durnukly" artykmaçlyklaryny berýär. Granit esas onuň üçin berk we ygtybarly goldaw platformasyny üpjün edýär. Ikisi bilelikde işleýär we öndürijilikde uly böküş gazanýar. Çyzykly hereketlendiriji wafer daşaýjysyny granit esas ýolunda işletmäge iterende, esasyň berkligi we durnuklylygy hereketlendirijiniň hereketlendiriji güýjüniň netijeli geçirilmegini üpjün edýär we esas deformasiýasyndan ýüze çykýan güýç ýitgisiniň ýa-da geçirijilikden yza galmagyň öňüni alýar.
Nanoölçegli takyklyga bolan isleg sebäpli, çyzykly hereketlendirijiler mikrondan aşaky derejeli süýşme gözegçiligini amala aşyryp bilýärler. Granit esaslarynyň ýokary takyklykly işleme häsiýetnamalary (±1μm içinde tekizlik ýalňyşlyklary gözegçilikde saklanýar) çyzykly hereketlendirijileriň takyk gözegçiligine doly gabat gelýär we wafer geçirijiligi wagtynda ýerleşdiriş ýalňyşlygynyň ±5μm-den az bolmagyny bilelikde üpjün edýär. Dürli tehnologiýa enjamlarynyň arasynda ýokary tizlikli gatnaw ýa-da wafer tabşyrmak üçin takyk duralga bolsun, çyzykly hereketlendirijileriň we granit esaslarynyň utgaşmasy wafer geçirijiliginde "nol çetleşme we nol titreme" üpjün edip biler.
Senagat tejribesiniň tassyklanmasy: Netijeliligiň we girdejilik derejesiniň iki esse ýokarlanmagy
Plastinka geçirmek ulgamyny täzeläninden soň, öňdebaryjy global ýarymgeçiriji kärhanasy çyzykly hereketlendiriji + granit esasly çözgüt kabul etdi, bu bolsa polýaka geçirmek netijeliligini 40% ýokarlandyrdy, geçirmek prosesinde çaknyşyk we geçiş ýaly näsazlyklaryň ýüze çykma derejesini 85% azalddy we çipleriň umumy çykyş derejesini 6% ýokarlandyrdy. Maglumatlaryň arkasynda granit esas tarapyndan üpjün edilýän geçirmek durnuklylygynyň kepilligi we çyzykly hereketlendirijiniň ýokary tizlikli we takyk sinergiýa täsiri ýatyr, bu bolsa polýaka geçirmek prosesinde ýitgileri we ýalňyşlyklary ep-esli azaldýar.
Material häsiýetlerinden başlap, takyk önümçiliklere, öndürijilik artykmaçlyklaryndan başlap, amaly barlaglara çenli, çyzykly hereketlendirijileriň we granit esaslarynyň utgaşmasy plastinka geçirijilik ulgamlarynyň standartlaryny täzeden kesgitledi. Geljekde ýarymgeçiriji tehnologiýasy 3nm we 2nm proseslere tarap ösende, granit materiallary özleriniň ornuny tutup bolmajak artykmaçlyklary bilen pudagyň ösüşine güýçli itergi bermegini dowam etdirer.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 14-nji maýy