Ondarymgeçiriji önümçiliginiň takyk zynjyrynda, wafli geçiriş ulgamy "çip önümçilik liniýasynyň ömri" ýalydyr we durnuklylygy we takyklygy çipleriň hasyl derejesini gönüden-göni kesgitleýär. Wafer geçiriş ulgamlarynyň täze nesli çyzykly hereketlendirijileri granit bazalary bilen rewolýusiýa taýdan birleşdirýär we granit materiallarynyň özboluşly artykmaçlyklary ýokary öndürijilikli geçirişiň gulpuny açmak üçin esasy kod bolup durýar.
?
Granit bazasy: Durnukly geçiriş üçin "gaýa berk binýat" gurmak
Ofüzlerçe million ýyllyk geologiki arassalanyşy başdan geçiren Granit, dykyz we birmeňzeş içerki mineral kristallaşmasyny özünde jemleýär. Bu tebigy häsiýet, ony wafli geçiriş ulgamlary üçin ideal esasy material edýär. Ondarymgeçiriji arassalaýyş otaglarynyň çylşyrymly gurşawynda, ýylylyk giňelişiniň aşa pes koeffisiýenti (diňe 5-7 × 10⁻⁶ / ℃) bolan granit, enjamlaryň işleýşinde emele gelen ýylylyga we daşky gurşawyň temperaturasynyň üýtgemegine garşy durup biler, esasy ululygyň durnuklylygyny üpjün eder we ýylylyk deformasiýasy sebäpli geçiş ýolunyň gyşarmagynyň öňüni alar. Ajaýyp yrgyldy damping öndürijiligi çyzykly hereketlendirijileriň işe başlamagy, ýapylmagy we tizlenmegi wagtynda döredilen mehaniki yrgyldylary, şeýle hem ussahanada beýleki enjamlaryň işlemegi netijesinde ýüze çykan daşarky päsgelçilikleri çalt siňdirip biler, wafli geçirmek üçin “nol silkme” bilen durnukly platforma üpjün eder. ?
Şol bir wagtyň özünde, granitiň himiki durnuklylygy, kislota we aşgar reagentleriniň üýtgäp durýan we ýokary arassalygy talap edilýän ýarymgeçiriji ussahanalarda poslamazlygy ýa-da poslamazlygyny üpjün edýär, şeýlelik bilen material garramagy ýa-da hapalaýjy adsorbsiýa sebäpli geçiş takyklygyna täsir etmez. Smoothumşak we dykyz ýerüsti aýratynlyklar, arassa otaglaryň tozansyz ülňülerine laýyk gelýän we kökden wafli hapalanmak howpuny ýok edip, tozanyň ýelimlenmegini has täsirli edip biler. ?
Çyzykly hereketlendirijileriň we granitiň "altyn hyzmatdaşlygy" täsiri
Çyzykly hereketlendirijiler, mehaniki geçiriş arassalanylyşy, ýokary tizlenme we ýokary ses tizligi bilen, "çalt, takyk we durnukly" artykmaçlyklary bilen wafli geçirişini berýär. Granit bazasy munuň üçin berk we ygtybarly goldaw platformasyny üpjün edýär. Ikisi bilelikde işlemekde böküş gazanmak üçin bilelikde işleýärler. Çyzykly hereketlendiriji wafli göterijini granit esasy ýolunda herekete getirende, bazanyň berk berkligi we durnuklylygy hereketlendiriji güýjüň netijeli geçmegini üpjün edýär, esasy deformasiýa sebäpli güýç ýitirilmeginden ýa-da yza galmakdan gaça durýar. ?
Nanoskale takyklygyna bolan islegiň netijesinde çyzykly hereketlendirijiler kiçi mikron derejesindäki süýşme gözegçiligini gazanyp bilerler. Granit bazalarynyň ýokary takyklyk bilen işleýiş aýratynlyklary (tekizlik ýalňyşlyklary ± 1μm aralygynda dolandyrylýar) çyzykly hereketlendirijileriň takyk dolandyrylyşyna doly laýyk gelýär, wafli geçiriş wagtynda ýerleşiş ýalňyşlygynyň ± 5μm-den az bolmagyny bilelikde üpjün edýär. Dürli proses enjamlarynyň arasynda ýokary tizlikli gatnaw bolsun ýa-da wafli gowşurmak üçin takyk awtoulag duralgasy bolsun, çyzykly hereketlendirijileriň we granit bazalaryň kombinasiýasy wafli geçirişinde “nol gyşarmagy we nol sarsgyny” üpjün edip biler. ?
Senagat tejribesini barlamak: Netijeliligi we hasyl derejesini iki esse ýokarlandyrmak
Wafer geçiriş ulgamyny kämilleşdirenden soň, öňdebaryjy global ýarymgeçiriji kärhana çyzykly motor + granit esasy çözgüdi kabul etdi, bu wafli geçiriş netijeliligini 40% ýokarlandyrdy, geçiriş prosesinde çaknyşmak we ýapmak ýaly näsazlyklaryň ýüze çykma derejesini 85% peseldi we çipleriň umumy hasyl derejesini 6% ýokarlandyrdy. Maglumatlaryň aňyrsynda granit bazasy bilen üpjün edilýän geçiriş durnuklylygynyň kepili we çyzykly hereketlendirijiniň ýokary tizlikli we takyk sinergiýa täsiri bar, bu wafli geçiriş prosesinde ýitgini we ýalňyşlygy ep-esli azaldýar. ?
Maddy aýratynlyklardan takyk önümçilige, öndürijilik artykmaçlyklaryndan praktiki barlamaga çenli çyzykly hereketlendirijileriň we granit bazalarynyň kombinasiýasy wafli geçiriş ulgamlarynyň standartlaryny täzeden kesgitledi. Geljekde ýarymgeçiriji tehnologiýasy 3nm we 2nm prosesslere tarap öňe gidende, granit materiallary çalşyp bolmajak artykmaçlyklary bilen pudagyň ösüşine güýçli itergi berer.
Iş wagty: Maý-14-2025