Ondarymgeçiriji ölçeg enjamlarynda granit platformalarynyň ýylylyk durnuklylygy.

?
Ondarymgeçiriji önümçiliginde takyklyk önümiň hiliniň we öndürijiliginiň durmuş ýoludyr. Ondarymgeçiriji ölçeg enjamlary, önümçiligiň takyklygyny üpjün etmek üçin esasy baglanyşyk hökmünde, esasy bölekleriniň durnuklylygyna diýen ýaly berk talaplary goýýar. Olaryň arasynda granit platformasy, ajaýyp ýylylyk durnuklylygy bilen ýarymgeçiriji ölçeg enjamlarynda aýrylmaz rol oýnaýar. Bu makala, hakyky synag maglumatlary arkaly ýarymgeçiriji ölçeg enjamlarynda granit platformalarynyň ýylylyk durnuklylygynyň öndürijiligini çuňňur seljerer. ?
Ondarymgeçiriji önümçiliginde ölçeg enjamlarynyň ýylylyk durnuklylygy üçin berk talaplar
Ondarymgeçirijini öndürmek prosesi diýseň çylşyrymly we takyk, çipdäki zynjyrlaryň giňligi nanometr derejesine girdi. Şeýle ýokary takyk önümçilik prosesinde, hatda iň pes temperatura üýtgemegi hem ýylylyk giňelmegine we enjam bölekleriniň gysylmagyna sebäp bolup biler we şeýlelik bilen ölçeg ýalňyşlyklaryny döredip biler. Mysal üçin, fotolitografiýa prosesinde, ölçeg enjamlarynyň ölçeg takyklygy 1 nanometrden sowulsa, gysga zynjyrlar ýa-da çipdäki zynjyrlarda açyk zynjyrlar ýaly çynlakaý problemalara sebäp bolup, çipiň döwülmegine sebäp bolup biler. Senagat maglumatlarynyň statistikasyna görä, temperaturanyň her 1 ℃ üýtgemegi üçin adaty metal material ölçeg enjamlary platformasy birnäçe nanometr ölçegli üýtgemeleri başdan geçirip biler. Şeýle-de bolsa, ýarymgeçiriji önümçiligi ± 0,1 nanometrde gözegçilik edilmeginiň ölçeg takyklygyny talap edýär, bu bolsa ýylylyk durnuklylygyny ölçeg enjamlarynyň ýarymgeçiriji önümçiliginiň talaplaryna laýyk bolup biljekdigini kesgitlemekde esasy faktor edýär. ?

Granit platformalarynyň ýylylyk durnuklylygynyň nazary artykmaçlyklary
Granit, tebigy daşyň bir görnüşi hökmünde, içki mineral kristallaşmagyna, dykyz we birmeňzeş gurluşyna eýe bolup, ýylylyk durnuklylygynyň tebigy artykmaçlygyna eýe. Malylylyk giňelme koeffisiýenti nukdaýnazaryndan granitiň ýylylyk giňelme koeffisiýenti gaty pes, adatça 4,5-den 6.5 × 10⁻⁶ / K çenli. Munuň tersine, alýumin erginleri ýaly umumy metal materiallarynyň ýylylyk giňeliş koeffisiýenti 23,8 × 10⁻⁶ / K çenli, granitiňkiden birnäçe esse ýokarydyr. Bu, şol bir temperaturanyň üýtgemegi şertlerinde, ýarymgeçirijiniň ölçeg enjamlary üçin has durnukly ölçeg salgylanmasyny üpjün edip biljek granit platformasynyň ölçegli üýtgemeginiň metal platformadan has kiçidigini aňladýar. ?
Mundan başga-da, granitiň kristal gurluşy oňa ýylylyk geçirijiliginiň ajaýyp birmeňzeşligini berýär. Enjamlaryň işleýşi ýylylyk ýa-da daşky gurşawyň temperaturasy üýtgese, granit platformasy ýylylygy çalt we deň derejede alyp biler, ýerli gyzmagyň ýa-da aşa sowamagyň öňüni alar, şeýlelik bilen platformanyň umumy temperatura yzygiderliligini netijeli saklar we ölçeg takyklygynyň durnuklylygyny hasam üpjün eder. ?
Malylylyk durnuklylygyny ölçemegiň prosesi we usuly
Ondarymgeçiriji ölçeg enjamlarynda granit platformasynyň ýylylyk durnuklylygyna takyk baha bermek üçin berk ölçeg shemasyny taýýarladyk. Örän takyk gaýtadan işlenen granit platformasy bilen enjamlaşdyrylan ýokary takyk ýarymgeçiriji wafli ölçeg guralyny saýlaň. Synag gurşawynda ýarymgeçiriji önümçilik ussahanasyndaky umumy temperaturanyň üýtgemegi diapazony simulasiýa edildi, ýagny ýuwaş-ýuwaşdan 20 35 35 heating gyzdyrylýar we soňra 20 to çenli sowadylýar. Tutuş proses 8 sagat dowam etdi. ?
Ölçeg guralynyň granit platformasynda ýokary takyklykly kremniy wafli ýerleşdirilýär we kremniý wafli bilen platformanyň arasyndaky hakyky ýagdaýyň üýtgemegine gözegçilik etmek üçin nanoskale takyklygy bilen süýşüriji datçikler ulanylýar. Bu aralykda, platformanyň üstündäki temperaturanyň paýlanyşyna gözegçilik etmek üçin platformadaky dürli ýerlerde birnäçe ýokary takyklyk temperatura datçikleri ýerleşdirilýär. Synag wagtynda göçürme maglumatlary we temperatura maglumatlary maglumatlaryň dolylygyny we takyklygyny üpjün etmek üçin her 15 minutdan ýazylýar. ?
Ölçelenen maglumatlar we netijeleriň derňewi
Temperaturanyň üýtgemegi bilen platformanyň ululygynyň üýtgemegi
Synag maglumatlary, temperatura 20 from 35 ris ýokarlananda, granit platformasynyň çyzykly ululygynyň üýtgemeginiň gaty azdygyny görkezýär. Hasaplanylandan soň, tutuş ýyladyş prosesinde platformanyň iň ýokary çyzykly giňelmegi bary-ýogy 0,3 nanometr bolup, ýarymgeçiriji önümçilik proseslerinde ölçeg takyklygy üçin ýalňyşlyklara çydamlylyk derejesinden has pesdir. Sowuklama döwründe platformanyň ululygy takmynan öňki ýagdaýyna gaýdyp gelip biler we ululygyň üýtgemeginiň yzagalak hadysasyna üns berilmez. Örän pes temperatura üýtgemelerinde-de aşa pes ölçegli üýtgemeleri saklamagyň bu häsiýeti, granit platformasynyň ajaýyp ýylylyk durnuklylygyny doly tassyklaýar. ?
Platformanyň üstündäki temperaturanyň birmeňzeşligini seljermek
Temperatura datçigi tarapyndan toplanan maglumatlar enjamlaryň işleýşi we temperaturanyň üýtgemegi wagtynda granit platformasynyň üstündäki temperatura paýlanyşynyň gaty birmeňzeşdigini görkezýär. Temperaturanyň iň güýçli üýtgän döwründe-de, platformanyň üstündäki her ölçeg nokadynyň arasyndaky temperatura tapawudy elmydama ± 0,1 within aralygynda gözegçilik edilýär. Temperaturanyň birmeňzeş paýlanyşy, deň däl ýylylyk stresiniň netijesinde ýüze çykýan platforma deformasiýasyndan, ölçeg salgysynyň tekizligini we durnuklylygyny üpjün etmekden we ýarymgeçiriji metrologiýa enjamlary üçin ygtybarly ölçeg gurşawyny üpjün etmekden netijeli gaça durýar. ?
Adaty material platformalary bilen deňeşdirilende
Granit platformasynyň ölçenen maglumatlary, alýumin garyndy platformasyny ulanyp, şol bir görnüşdäki ýarymgeçiriji ölçeg enjamlary bilen deňeşdirildi we tapawutlar möhümdi. Temperaturanyň üýtgemeginiň şol bir şertlerinde alýumin garyndy platformasynyň çyzykly giňelmegi 2,5 nanometre deňdir, bu granit platformasynyňkydan sekiz esse köpdür. Bu aralykda, alýuminiý garyndy platformasynyň üstündäki temperatura paýlanyşy deň däl, iň ýokary temperatura tapawudy 0,8 reaching ýetýär, netijede platformanyň aç-açan deformasiýasy we ölçeg takyklygyna çynlakaý täsir edýär. ?
Ondarymgeçiriji metrologiýa enjamlarynyň takyk dünýäsinde ajaýyp ýylylyk durnuklylygy bilen granit platformalary, ölçeg takyklygyny üpjün etmegiň esasy nokadyna öwrüldi. Ölçelenen maglumatlar, ýarymgeçiriji önümçilik pudagy üçin ygtybarly tehniki goldaw berip, temperaturanyň üýtgemegine jogap bermekde granit platformasynyň ajaýyp öndürijiligini güýçli subut edýär. Ondarymgeçiriji önümçilik prosesleri has takyklyga tarap barýarka, granit platformalarynyň ýylylyk durnuklylygy artykmaçlygy artar we tehnologiki innowasiýalary we pudagyň ösüşini yzygiderli herekete getirer.