Lazer tehnologiýasynyň, çuňňur kosmos barlaglarynyň we ekstremal ultramelewşe (EUV) litografiýasynyň çalt ösýän pudaklarynda optiki takyklyga bolan isleg atom derejesine ýetýär. Optiki we fotonika kompaniýalary üçin takyk aýna bölekleriniň hili diňe bir tehniki häsiýetnama däl, eýsem ulgamyň işiniň kesgitleýji faktorydyr.
ZHHIMG Toparynda biz bu bölekleri öndürmegiň diňe materiallary kesmekden has köp zady talap edýändigini düşünýäris; ol ýagtylygyň we maddanyň fizikasyny özleşdirmegi talap edýär. Bu makalada optik aýnanyň möhüm ulanylyşlary we ultra takyk optika esaslaryny üpjün etmek üçin ýeňip geçýän berk önümçilik kynçylyklary öwrenilýär.
Möhüm ulanylyşlar: Takyklygyň möhüm ýeri
Optiki aýna häzirki zaman fotonikasynyň esasyny düzýär. Aragatnaşykdan goranyş ulgamyna çenli bu komponentlere bolan talaplar barha berkleşýär.
1. Lazer ýadro birleşmesi we güýçli lazer ulgamlary
Ýokary kuwwatly lazer ulgamlarynda optiki bölekler ägirt uly energiýa dykyzlygyna çydamly bolmalydyr. Aýnadaky islendik mikroskopiki kemçilik ýa-da hapaçylyk lazeriň täsiri bilen ýüze çykýan zeperlere sebäp bolup, tutuş ulgama zyýan ýetirip biler. Bu ýerde önümçilik esasy ünsi ýerasty zeperleri aradan aýyrmaga we şöhle bozulmalarynyň öňüni almak üçin ýokary birmeňzeşligi üpjün etmäge gönükdirilendir.
2. Kosmos optikasy we çuň kosmosy anyklamak
Kosmos teleskoplarynyň we uzakdan gözegçilik gurallarynyň diafragma ölçegleri ulaldygyça (häzirki wagtda 4 metrden geçýär), ýeňillik we ýüziň takyklygy üçin talap güýçlenýär. Kosmos üçin optiki komponentler örän pes termal giňelme koeffisiýentlerine eýe materiallary talap edýän ekstremal termal gurşawlarda öz görnüşlerini saklamaly.
3. Ýarymgeçiriji we EUV litografiýasy
Ýarymgeçirijiler senagatynda EUV litografiýa ulgamlary ýüziniň pytraňlygy 0,1 nm-den (RMS) az bolan şöhlelendiriji aýnalara daýanýar. Hatda atom derejesindäki üflemeler hem ýagtylygy saçyp, çipiň çözgüdini bozup biler. Bu optiki aýna önümçiliginiň iň ýokary derejesini görkezýär.
Önümçilik meselesi: Stress, Tekizlik we Ýumşaklyk
Bu ulanylyşlar üçin zerur bolan hil derejesine ýetmek önümçilik prosesinde üç esasy päsgelçilikleri ýeňip geçmegi öz içine alýar.
1. Içki stressi gözegçilikde saklamak
Galyndy stres optiki durnuklylygyň duşmanydyr. Ol iki synanyň (synma görkezijisiniň üýtgemegi) sebäbi bolup, termal ýük astynda çatlamaga sebäp bolup biler.
- Kynçylyk: Gaty, döwülen aýnany işläp taýýarlamak köplenç mikro stresleri döredýär.
- Biziň çemeleşmegimiz: Biz ösen ýumşatma proseslerini we az zyýanly şekillendirme usullaryny ulanýarys. Sowatma tizligini berk gözegçilikde saklamak we dartgynlylygy ýeňilleşdirmek üçin işleme strategiýalaryny ulanmak arkaly aýnanyň içki gurluşynyň neýtral we durnukly bolmagyny üpjün edýäris.
2. Ultra ýokary tekizlige (Pes ýygylykly takyklyga) ýetmek
Ultra takyk optika esaslary we aýna substratlary üçin ýüzüň "şekli" örän möhümdir.
- Kynçylyk: Adaty üwemek tolkunlylygy galdyryp biler ýa-da tolkun öňüsiniň takyklygyny peseldýän ýalňyşlyklary döredip biler.
- Biziň çemeleşmegimiz: Biz ýokary takyklykly kompýuter tarapyndan dolandyrylýan optiki ýüzleýiş usulyny (CCOS) ulanýarys. Bu bolsa, köplenç 1 nm-den az bolan pik-dere (PV) gymmatlyklaryna ýetmek üçin pes ýygylykly ýalňyşlyklary (forma üýtgemelerini) düzetmäge mümkinçilik berýär we optiki ýoluň kämil deňleşdirilmegini üpjün edýär.
3. Ýüziň büdür-büdürligi (Ýokary ýygylykly ýumşaklyk)
Saçgylanma ýokary ýygylykly ýüz teksturasyndan ýüze çykýar.
- Kynçylyk: Öwürmekden galan "dumanlygy" we kiçi çyzyklary aýyrmak üçin materialy aýyrmakdan ýüzüni tekizlemäge geçmeli.
- Biziň çemeleşmegimiz: Biz magnit kömegi bilen işläp bejermek ýaly ösen jylamak tehnologiýalaryny ulanýarys. Bu usul, täze ýerasty zeper ýetirmezden, nanometrden aşaky ýüz bükülmesine (Ra < 0.6 nm) ýetmek bilen, çylşyrymly şekilleri (erkin görnüşli linzalar ýaly) tapgyrlaýyn işläp çykarmaga mümkinçilik berýär.
ZHHIMG: Ultra-Precision-da Siziň Hyzmatdaşyňyz
Çig aýnadan funksional optiki komponente geçmek nanotexnologiýa arkaly syýahatdyr. ZHHIMG Toparynda biz material ylmy bilen takyk inženerçiligiň arasyndaky boşlugy doldurýarys.
Biziň mümkinçiliklerimiz şunlary öz içine alýar:
- Çylşyrymly geometriýalar: Erkin, asferiki we tekiz optiki bölekleriň işlenişi.
- Metrologiýa we barlag: Interferometrleri we profilometrleri ulanyp, ýüziň hilini we görnüşiň takyklygyny real wagt režiminde barlamak.
- Materiallar boýunça tejribe: Ýokary geçirijilik we pes giňelme bilen tanalýan erginleşdirilen kremniý, kwars we ýöriteleşdirilen optiki aýnalar bilen çuňňur tejribe.
Netije
Optiki ulgamlar mümkin bolan çäkleri giňeldýän mahaly, takyk aýna bölekleriniň öndürilişi
Optiki ulgamlar mümkin bolan çäkleri giňeldýän mahaly, takyk aýna bölekleriniň öndürilişi
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 9-njy apreli