Takyk ölçeg ulgamynda ajaýyp durnuklylygy, ýokary berkligi we gowy aşynma garşylygy bilen granit takyk platforma köp sanly ýokary takyklykly ölçeg işleri üçin ideal esas boldy. Şeýle-de bolsa, garaňkylykda gizlenen "takyk öldüriji" ýaly daşky gurşaw faktorlarynyň temperatura üýtgemeleri granit takyk platformasynyň ölçeg takyklygyna az täsir etmeýär. Ölçeg işleriniň takyklygyny we ygtybarlylygyny üpjün etmek üçin täsir çägini çuňňur öwrenmek örän möhümdir.
Granit durnuklylygy bilen tanalsa-da, temperatura üýtgemelerinden goragly däl. Onuň esasy bölekleri kwarts, dala şpaty we beýleki minerallar bolup, olar dürli temperaturalarda termal giňelme we daralma hadysasyny döredýär. Daşky gurşawyň temperaturasy ýokarlananda, granit takyk platforma gyzdyrylýar we giňelýär, şeýle hem platformanyň ölçegi birneme üýtgeýär. Temperatura peselende, ol asyl ýagdaýyna gaýdyp gelýär. Ölçegleriň kiçi ýaly görünýän üýtgemeleri takyk ölçeg senariýalarynda ölçeg netijelerine täsir edýän esasy faktorlara çenli ulaldyp bolýar.
Mysal hökmünde umumy koordinat ölçeg guralyny deňeşdirýän granit platformasyny alsak, ýokary takyklykly ölçeg işinde ölçeg takyklygynyň talaplary köplenç mikron derejesine ýa-da ondan hem ýokary derejä ýetýär. 20℃ standart temperaturada platformanyň dürli ölçeg parametrleriniň ideal ýagdaýdadygy we iş bölegini ölçemek arkaly takyk maglumatlaryň alnyp bilinjekdigi çak edilýär. Daşky gurşawyň temperaturasy üýtgeýän wagty ýagdaý düýbünden başgaça bolýar. Köp sanly tejribe maglumatlarynyň statistikasyndan we nazaryýet seljermelerinden soň, adaty şertlerde daşky gurşawyň temperaturasynyň 1℃ üýtgeýän wagtynda, granit takyk platformasynyň çyzykly giňelmegi ýa-da daralmagy takmynan 5-7 × 10⁻⁶/℃ bolýar. Bu, gapdal uzynlygy 1 metr bolan granit platforma üçin, temperatura 1°C üýtgese, gapdal uzynlygynyň 5-7 mikron üýtgeýändigini aňladýar. Takyk ölçeglerde ölçegiň şeýle üýtgemegi kabul ederlikli çäkden daşary ölçeg ýalňyşlyklaryna sebäp bolmak üçin ýeterlikdir.
Dürli takyklyk derejeleri üçin talap edilýän ölçeg işleri üçin temperatura üýtgemeleriniň täsir çägi hem tapawutlydyr. Adaty takyklyk ölçeglerinde, mysal üçin, mehaniki bölekleriň ölçeg ölçeglerinde, eger rugsat berilýän ölçeg ýalňyşlygy ±20 mikron aralygynda bolsa, ýokardaky giňelme koeffisiýentiniň hasaplamasyna görä, platformanyň ölçeginiň üýtgemegi sebäpli ölçeme ýalňyşlygyny kabul ederlik derejede dolandyrmak üçin temperatura üýtgemelerini ± 3-4 ℃ aralygynda gözegçilikde saklamak zerurdyr. Ýarymgeçiriji çip öndürmekde litografiýa prosesiniň ölçegleri ýaly ýokary takyklyk talaplary bolan ýerlerde ýalňyşlyk ± 1 mikron aralygynda rugsat berilýär we temperatura üýtgemelerini ± 0,1-0,2 ° C aralygynda berk gözegçilikde saklamak zerurdyr. Temperatura üýtgemesi bu çägi geçenden soň, granit platformasynyň termal giňelmesi we daralmagy ölçeg netijelerinde üýtgeşikliklere sebäp bolup biler, bu bolsa çip öndürmegiň hasyllylygyna täsir eder.
Daşky gurşawyň temperaturasynyň üýtgemeginiň granit takyk platformasynyň ölçeg takyklygyna täsirini çözmek üçin, amaly işlerde köp çäreler ulanylýar. Mysal üçin, temperatura üýtgemelerini örän kiçi aralykda dolandyrmak üçin ölçeg gurşawynda ýokary takyklykly hemişelik temperatura enjamlary gurnalýar; Temperatura kompensasiýa ölçeg maglumatlary boýunça amala aşyrylýar we ölçeg netijeleri platformanyň termal giňelme koeffisiýentine we real wagt temperatura üýtgemelerine laýyklykda programma üpjünçiligi algoritmi arkaly düzedilýär. Şeýle-de bolsa, nähili çäreler görülse-de, daşky gurşawyň temperaturasynyň üýtgemeginiň granit takyk platformasynyň ölçeg takyklygyna täsirini takyk düşünmek, ölçeg işleriniň takyk we ygtybarly bolmagyny üpjün etmegiň esasy şertidir.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 3-nji apreli