1. Ölçegli takyklyk
Tekizlik: bazanyň üstki tekizligi gaty ýokary standartlara ýetmeli we tekizlik ýalňyşlygy 100mm × 100mm meýdanda ± 0,5μm-den geçmeli däldir; Esasy tekizligiň hemmesi üçin tekizlik ýalňyşlygy ± 1μm aralygynda dolandyrylýar. Bu, ýarymgeçiriji enjamlaryň esasy bölekleriniň, daşbasma enjamlarynyň täsir ediji kellesi we çip kesgitleýji enjamyň gözleg tablisasy ýaly ýokary takyklyk tekizliginde durnukly gurnalyp we işledilip bilinjekdigini, enjamyň optiki ýolunyň we zynjyr birikmesiniň takyklygyny üpjün etmegini, ýarymgeçirijiniň deňsiz tekizligine sebäp bolýan komponentleriň süýşmeginiň gyşarmagynyň öňüni alar.
Göni: Bazanyň her gyrasynyň göni bolmagy möhümdir. Uzynlyk ugrunda göni ýalňyşlyk 1m üçin ± 1μm-den geçmeli däldir; Diagonally göni ýalňyşlyk ± 1.5μm aralygynda dolandyrylýar. Mysal üçin ýokary takyklykly daşbasma maşynyny alyp, stoluň esasy ýolunyň ugrunda hereket edende, bazanyň gyrasynyň göni bolmagy stoluň traýektoriýa takyklygyna gönüden-göni täsir edýär. Eger gönüden-göni standartlara laýyk gelmeýän bolsa, litografiýa nagşy ýoýulýar we deformasiýa ediler, bu bolsa çip öndürmegiň hasyllylygynyň azalmagyna getirer.
Parallelizm: Bazanyň ýokarky we aşaky ýüzleriniň parallelizm ýalňyşlygy ± 1μm aralygynda gözegçilik edilmelidir. Gowy parallellik enjam gurlandan soň umumy agyrlyk merkeziniň durnuklylygyny üpjün edip biler we her bir komponentiň güýji birmeňzeşdir. Ondarymgeçiriji wafli önümçilik enjamlarynda, bazanyň ýokarky we aşaky ýüzleri paralel bolmasa, wafli gaýtadan işlenende egiler, efirlemek we örtmek ýaly prosesleriň birmeňzeşligine täsir eder we şeýlelik bilen çip öndürijiliginiň yzygiderliligine täsir eder.
Ikinjiden, maddy aýratynlyklar
Gatylygy: Granit esasy materialyň gatylygy Şoryň gatylygy HS70 ýa-da ondan ýokary bolmaly. Hardokary gatylyk, enjamyň işleýşi wagtynda ýygy-ýygydan hereket etmek we komponentleriň sürtülmegi netijesinde dörän könelişmä garşy durup biler, uzak wagtlap ulanylandan soň bazanyň ýokary takyklyk ölçegini saklap biler. Çip gaplaýyş enjamlarynda robot goly çipi ýygy-ýygydan tutýar we bazanyň üstünde goýýar we bazanyň ýokary gatylygy, ýeriň çyzylmagyny aňsatlaşdyrmaýandygyny we robot gol hereketiniň takyklygyny saklap biler.
Dykyzlygy: Maddy dykyzlyk 2,6-3.1 g / sm³ aralygynda bolmaly. Degişli dykyzlyk bazany ýokary hilli durnuklylyga öwürýär, bu enjamy goldamak üçin ýeterlik berkligi üpjün edip biler we aşa agram sebäpli enjamlary gurmakda we daşamakda kynçylyk döretmez. Uly ýarymgeçirijini barlamak enjamlarynda durnukly esasy dykyzlyk enjamlaryň işleýşi wagtynda titremäni azaltmaga we kesgitlemegiň takyklygyny ýokarlandyrmaga kömek edýär.
Malylylyk durnuklylygy: çyzykly giňelme koeffisiýenti 5 × 10⁻⁶ / less-dan pes. Ondarymgeçiriji enjamlar temperaturanyň üýtgemegine gaty duýgur we bazanyň ýylylyk durnuklylygy enjamyň takyklygy bilen gönüden-göni baglanyşyklydyr. Daşbasma prosesinde temperaturanyň üýtgemegi bazanyň giňelmegine ýa-da gysylmagyna sebäp bolup biler, netijede täsir ediş nagşynyň ululygyna sowulmagyna sebäp bolup biler. Pes çyzykly giňelme koeffisiýenti bolan granit bazasy, daşbasma takyklygyny üpjün etmek üçin enjamyň işleýiş temperaturasy üýtgese (umuman 20-30 ° C) ululygyň üýtgemegine gözegçilik edip biler.
Üçünjiden, ýeriň hili
Gödeklik: surfaceer üstündäki çişlik Ra bahasy 0.05μm-den geçmeýär. Ultra tekiz ýer tozanyň we hapalaryň siňmegini azaldyp, ýarymgeçiriji çip öndürýän gurşawyň arassalygyna täsirini azaldyp biler. Çip öndürýän tozansyz ussahanada ownuk bölejikler çipiň gysga zynjyry ýaly kemçiliklere sebäp bolup biler we binanyň tekiz üstü ussahananyň arassa gurşawyny saklamaga we çip öndürijiligini ýokarlandyrmaga kömek edýär.
Mikroskopiki kemçilikler: Bazanyň üstünde görünýän çatryklar, gum deşikleri, gözenekler we beýleki kemçilikler bolmaz. Mikroskopiki derejede, inedördül santimetre 1μm-den uly kemçilikleriň sany elektron mikroskopiýa arkaly 3-den geçmeli däldir. Bu kemçilikler binanyň gurluş güýjüne we ýeriň tekizligine täsir eder, soňra enjamyň durnuklylygyna we takyklygyna täsir eder.
Dördünjiden, durnuklylyk we şok garşylygy
Dinamiki durnuklylyk: icarymgeçiriji enjamlaryň (wibrasiýa ýygylygy 10-1000Hz, amplituda 0.01-0.1mm) işlemegi netijesinde döredilen simulirlenen yrgyldy gurşawynda, bazadaky esasy gurnama nokatlarynyň yrgyldy süýşmesi ± 0.05μm aralygynda gözegçilik edilmelidir. Ondarymgeçirijiniň synag enjamlaryny mysal hökmünde alyp, enjamyň öz titremesi we daş-töwerekdäki yrgyldy iş wagtynda bazasyna geçirilse, synag signalynyň takyklygy päsgel berip biler. Gowy dinamiki durnuklylyk ygtybarly synag netijelerini üpjün edip biler.
Seýsmiki garşylyk: Baza ajaýyp seýsmiki öndürijilige eýe bolmalydyr we duýdansyz daşarky yrgyldylara (seýsmiki tolkun simulýasiýa titremesi ýaly) täsir edende titremäniň energiýasyny çaltlaşdyryp biler we enjamyň esasy bölekleriniň otnositel ýagdaýynyň ± 0.1μm üýtgemegini üpjün edip biler. Earthquakeer titremesine sezewar bolan ýerlerde ýarymgeçiriji zawodlarda ýer titremesine çydamly bazalar gymmat bahaly ýarymgeçiriji enjamlary netijeli gorap biler, titremäniň netijesinde enjamlaryň zaýalanmagy we önümçiligiň kesilmegi howpuny azaldyp biler.
5. Himiki durnuklylyk
Poslama garşylyk: Granit bazasy, gidroflor kislotasy, akwa regia we ş.m. ýaly ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde umumy himiki serişdeleriň poslamagyna garşy durmalydyr, gidroflor kislotasynyň erginini 40% massa bölegi bilen 24 sagat çümdüreniňizden soň, ýeriň hiliniň ýitmegi 0,01% -den geçmeli däldir; Aqua regia (gidroklor turşusynyň azot kislotasynyň göwrüm gatnaşygy 3: 1) 12 sagat çümdüriň, üstünde poslama yzlary ýok. Ondarymgeçirijini öndürmek prosesi dürli himiki arassalama we arassalaýyş amallaryny öz içine alýar we bazanyň gowy poslama garşylygy himiki gurşawda uzak wagtlap ulanylmagynyň bozulmazlygyny we takyklygy we gurluş bitewiligini saklamagy üpjün edip biler.
Hapalanmaga garşy: Esasy material ýarymgeçiriji önümçilik gurşawynda organiki gazlar, metal ionlary we ş.m. ýaly umumy hapalaýjy maddalaryň aşa pes siňdirilişine eýe, 10 PPM organiki gaz (meselem, benzol, toluen) we 1ppm metal ionlary (mysal üçin, mis ionlary, demir ionlary) 72 sagadyň dowamynda ýerine ýetirilýän üýtgemeler, ýerüsti hapalanmalar sebäpli ýüze çykýan üýtgemelerdir. Bu hapalaýjy maddalaryň esasy ýerden çip öndürýän ýerine geçmeginiň we çipiň hiline täsir etmeginiň öňüni alýar.
Iş wagty: 28-2025-nji mart