Ýarymgeçirijiler senagatynda wafer barlagy çipiň hilini we işini üpjün etmek üçin möhüm halka bolup durýar we barlag stolunyň takyklygy we durnuklylygy anyklaýyş netijelerinde aýgytlaýjy rol oýnaýar. Özüne mahsus aýratynlyklary bolan granit esas, köpugurly seljermeden aşakdakylary öz içine alýan ýarymgeçiriji wafer barlag stoly üçin iň gowy saýlawa öwrüldi.
Birinjiden, takyklyk kepilliginiň ölçegi
1. Ultra ýokary tekizlik we gönilik: Granit esasy ösen gaýtadan işlemek tehnologiýasy arkaly işlenip düzülýär we tekizlik ±0,001 mm/m ýa-da ondan hem ýokary takyklyga ýetip bilýär, gönilik hem ajaýypdyr. Plastinany barlamak prosesinde ýokary takyklykly tekizlik plastina üçin durnukly goldaw berýär we barlag enjamlarynyň zondy bilen plastinanyň ýüzündäki lehim birleşmeleriniň arasynda takyk gatnaşygy üpjün edýär.
2. Termal giňelme koeffisiýenti örän pes: ýarymgeçiriji önümçilik temperatura üýtgemelerine duýgurdyr we granitiň termal giňelme koeffisiýenti örän pes, adatça 5 × 10⁻⁶/℃ töwereginde. Anyklaýyş platformasy işleýän wagty, daşky gurşawyň temperaturasy üýtgese-de, granit binýadynyň ululygy örän az üýtgeýär. Mysal üçin, tomusda ýokary temperaturaly ussahanada umumy metal binýady anyklaýyş platformasynyň temperaturasy waferiň we anyklaýyş enjamlarynyň deňeşdirilen ýerleşişiniň üýtgemegine sebäp bolup, anyklaýyş takyklygyna täsir edip biler; Granit binýady anyklaýyş platformasy durnuklylygy saklap biler, anyklaýyş prosesinde waferiň we anyklaýyş enjamlarynyň deňeşdirilen ýerleşişiniň takyklygyny üpjün edip biler we ýokary takyklykly anyklaýyş üçin durnukly gurşawy üpjün edip biler.
Ikinjiden, durnuklylyk ölçegi
1. Durnukly gurluş we titreme garşylygy: Millionlarça ýyllap dowam eden geologiki proseslerden soň granit, içki gurluş dykyz we birmeňzeşdir. Ýarymgeçiriji zawodynyň çylşyrymly gurşawynda, periferik enjamlaryň we töwereginde ýöreýän işgärleriň işlemegi netijesinde döreýän titreme granit binýady tarapyndan netijeli ýagdaýda gowşadylýar.
2. Uzak möhletli ulanylyş takyklygy: beýleki materiallar bilen deňeşdirilende, granit ýokary berklige, güýçli aşynma garşylygyna eýedir we Mohs gatylygy 6-7-ä ýetip biler. Granit esasynyň ýüzi wafer ýüklemek, düşürmek we barlag işleri wagtynda aňsatlyk bilen aşynmaýar. Maglumat statistikasynyň hakyky ulanylyşyna görä, granit esasy synag stoluny ulanmak, 5000 sagatdan soň üznüksiz işlemek, tekizlik we gönilik takyklygy başlangyç takyklygyň 98% -den gowragynda saklanyp bilner, bu bolsa enjamlaryň esaslaryň yzygiderli kalibrleme we tehniki hyzmat wagtlary sebäpli aşynmagyny azaldýar, iş çykdajylaryny azaldýar we synag işleriniň uzak möhletli durnuklylygyny üpjün edýär.
Üçünjiden, arassa we gatyşmalara garşy ölçeg
1. Tozan döremeginiň pesligi: ýarymgeçiriji önümçilik gurşawy örän arassa bolmaly we granit materialynyň özi durnukly we tozan bölejiklerini öndürmek aňsat däl. Synag platformasynyň işlemegi wagtynda, esas tarapyndan emele gelýän tozanyň waferi hapalamagynyň öňüni alýar we tozan bölejikleriniň gysga zynjyrlanma we açyk zynjyrlanma howpuny azaldýar. Tozansyz ussahananyň wafer barlag zolagynda, granit esas barlag stolunyň töweregindäki tozanyň konsentrasiýasy hemişe örän pes derejä çenli gözegçilik edilýär we ýarymgeçiriji senagatynyň berk arassaçylyk talaplaryna laýyk gelýär.
2. Magnit päsgelçilik ýok: anyklaýyş enjamlary elektromagnit gurşawa duýgurdyr we granit magnit däl material bolup, anyklaýyş enjamlarynyň elektron signalyna päsgel bermez. Elektron şöhlesini anyklaýyş we örän ýokary elektromagnit gurşaw talap edýän beýleki synag tehnologiýalary ulanylanda, granit esasy anyklaýyş enjamlarynyň elektron signalynyň durnukly geçirilmegini üpjün edýär we synag netijeleriniň takyklygyny üpjün edýär. Mysal üçin, plastinka ýokary takyklykly elektrik öndürijiligi üçin synag edilende, magnit däl granit esasy anyklaýyş tok we naprýaženiýe signallaryna päsgel bermegiň öňüni alýar, şonuň üçin anyklaýyş maglumatlary plastinkanyň elektrik häsiýetlerini hakykatdanam görkezýär.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 31-nji marty