Ýarymgeçirijiler senagatynyň nanosölçegli önümçilik proseslerine geçmeginiň dowamynda, çip önümçiliginde esasy halka hökmünde wafer kesmek enjamlaryň durnuklylygy üçin örän berk talaplary goýýar. Ajaýyp titreme garşylygy we termal durnuklylygy bilen granit esasy wafer kesmek enjamlarynyň esasy bölegine öwrüldi we ýokary takyklykly we ýokary netijeli wafer gaýtadan işlemegini gazanmak üçin ygtybarly kepillik berýär.
Ýokary demping we titreme garşy häsiýetler: Nano derejeli kesiş takyklygyny goramak
Plastinka kesiji enjam işleýän wagty, şpindeliň ýokary tizlikli aýlanmagy, kesiji guralyň ýokary ýygylykly titremesi we töweregindäki enjamlaryň döredýän daşky gurşaw titremesi kesmegiň takyklygyna uly täsir eder. Adaty metal esaslaryň demping öndürijiligi çäkli, bu bolsa titremeleri çalt gowşatmagy kynlaşdyrýar, bu bolsa kesiji gurallaryň mikron derejesindäki titremesine getirýär we plastinalarda döwülen gyralar we ýaryklar ýaly kemçilikleriň döremegine gönüden-göni sebäp bolýar. Granit esasyň ýokary demping häsiýetnamalary bu meseläni düýpli çözdi.
Granitiň içki mineral kristallary bir-biri bilen berk baglanyşykly bolup, tebigy energiýa ýaýradyjy gurluş emele getirýär. Titreme esasa geçirilende, onuň içki mikrostrukturasy titreme energiýasyny çaltlyk bilen ýylylyk energiýasyna öwrüp, netijeli titreme gowşatmaga ýetip bilýär. Tejribe maglumatlary şol bir titreme gurşawynda granit esas titreme amplitudasyny 0,5 sekuntda 90% -den gowrak gowşadyp bilýändigini, metal esas üçin bolsa 3-5 sekunt gerekdigini görkezýär. Bu ajaýyp demping öndürijiligi kesiji guralyň nanosölçegli kesme prosesinde durnukly galmagyny üpjün edýär, plastinka kesmegiň tekiz gyrasyny kepillendirýär we döwülme tizligini netijeli azaldýar. Mysal üçin, 5nm plastinka kesme prosesinde granit esasly enjamlar döwülme ölçegini 10μm içinde dolandyryp bilýär, bu bolsa metal esasly enjamyňkydan 40% -den gowrak ýokarydyr.
Termal giňelmegiň örän pes koeffisiýenti: Temperatura üýtgemeleriniň täsirine çydamly
Plastinka kesiş prosesinde, kesiji gurallaryň sürtülmesinden döreýän ýylylyk, enjamyň uzak wagtlap işlemeginden ýylylygyň ýaýramagy we ussahana gurşawynyň temperaturasynyň üýtgemegi enjam bölekleriniň termal deformasiýasyna sebäp bolup biler. Metall materiallaryň termal giňelme koeffisiýenti deňeşdirme boýunça ýokarydyr (takmynan 12 × 10⁻⁶/℃). Temperatura 5 ℃ üýtgeýän mahaly, 1 metr uzynlykdaky metal esas 60 μm deformasiýa sezewar bolup, kesiş ýeriniň üýtgemegine we kesiş takyklygyna düýpli täsir edip biler.
Granit esasynyň termal giňelme koeffisiýenti diňe (4-8) × 10⁻⁶/℃ bolup, bu metal materiallaryňkydan üçden birinden azdyr. Şol bir temperatura üýtgemesinde onuň ölçeg üýtgemesini diýen ýaly gözardy edip bolýar. Ýarymgeçiriji önümçilik kärhanasynyň ölçenen maglumatlary, daşky gurşawyň temperaturasy 10℃ üýtgeýän mahalynda, 8 sagatlyk üznüksiz ýokary intensiwlikli plastinka kesmek operasiýasynda, granit esasy bolan enjamyň kesiş pozisiýasynyň üýtgemesi 20μm-den az, metal esasy bolan enjamyňky bolsa 60μm-den geçýändigini görkezýär. Bu durnukly termal iş görkezijisi kesiji gural bilen plastinkanyň arasyndaky deňeşdirme pozisiýasynyň hemişe takyk bolmagyny üpjün edýär. Uzak möhletli üznüksiz işlemede ýa-da daşky gurşawyň temperaturasynyň düýpli üýtgemelerinde-de, kesiş takyklygynyň yzygiderliligini saklap bolýar.
Gatylyk we aşynma garşylygy: Enjamyň uzak möhletli durnukly işlemegini üpjün ediň
Titreme garşylygynyň we termal durnuklylygynyň artykmaçlyklaryndan başga-da, granit esasynyň ýokary berkligi we aşynma garşylygy plastinka kesiji enjamlaryň ygtybarlylygyny has-da ýokarlandyrýar. Granit Mohs şkalasynda 6-dan 7-ä çenli berklige we basyş güýjüne 120MPa-dan geçýär. Ol kesiş prosesinde ägirt uly basyşa we zarba güýjüne çydap bilýär we deformasiýa sezewar bolmaýar. Şol bir wagtyň özünde, onuň dykyz gurluşy oňa ajaýyp aşynma garşylygyny berýär. Hatda ýygy-ýygydan kesiş operasiýalarynda hem esasyň ýüzi aşynma sezewar bolmaýar, bu bolsa enjamyň uzak wagtlap ýokary takyklykly işlemegini üpjün edýär.
Amaly ulanylyşlarda köp sanly wafli öndürýän kärhanalar granit esasly kesiji enjamlary ulanmak arkaly önümiň öndürijiligini we önümçilik netijeliligini ep-esli ýokarlandyrdylar. Dünýäde öňdebaryjy döküm zawodynyň maglumatlary granit esasly enjamlary ornaşdyrylandan soň, wafli kesiji öndürijiligiň 88% -den 95% -den gowrak ýokarlanandygyny görkezýär, enjamlaryň tehniki hyzmat sikli üç esse uzaldyldy, bu bolsa önümçilik çykdajylaryny netijeli azaldýar we bazaryň bäsdeşligini ýokarlandyrýar.
Netijede, ajaýyp titreme garşylygy, termal durnuklylygy, ýokary berkligi we aşynma garşylygy bilen granit esasy plastinka kesiji enjamlar üçin toplumlaýyn iş kepilligini üpjün edýär. Ýarymgeçiriji tehnologiýasy has ýokary takyklyga tarap öňe gidýän mahaly, granit esaslary plastinka öndürmek ulgamynda has möhüm rol oýnar we ýarymgeçiriji senagatynyň yzygiderli innowasion ösüşine ýardam eder.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 20-nji maýy