Granit esasly bir okly howa ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň ulanylyş meýdany.

Ýarymgeçirijileriň önümçiligi: Çip öndürmek prosesinde fotolitografiýa prosesi zynjyr nusgasyny wafera takyk geçirmeli. Bir okly howada ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň granit esasy litografiýa enjamlarynda wafer stoly üçin ýokary takyklykly ýerleşdirmegi we durnukly goldaw berip biler. Mysal üçin, ASML we beýleki halkara derejede meşhur litografiýa maşyn öndürijileri özleriniň ýokary derejeli enjamlarynda granit esasy howada ýüzýän hereket modullaryny ulanýarlar, olar litografiýa nusgasynyň takyklygyny üpjün etmek üçin waferiň ýerleşdirilişiniň takyklygyny nanometr derejesinde dolandyryp bilýärler, şeýlelik bilen çipiň integrasiýasyny we işini gowulandyrýarlar.
Takyk ölçeg meýdany: CMM senagat önümçiliginde giňden ulanylýan takyk ölçeg enjamy bolup, iş böleginiň ölçegini, görnüşini we ýerleşişiniň takyklygyny ölçemek üçin ulanylýar. Granit esasdaky bir okly howa ýüzüjisiniň ultra takyk hereket moduly CMM-iň hereket platformasy hökmünde ulanylyp bilner, bu bolsa ýokary takyklykly çyzykly hereketi amala aşyryp we ölçeg zondy üçin durnukly hereket traýektoriýasyny üpjün edip biler. Mysal üçin, Hexagon-yň ýokary derejeli CMM-i bu kombinasiýany uly we çylşyrymly bölekleri mikron derejesine çenli ölçeg takyklygy bilen ölçemek üçin ulanýar, bu bolsa awtoulag, awiakosmos we beýleki pudaklarda bölekleriň hilini gözegçilikde saklamak üçin güýçli kepillik berýär.
Aerokosmos pudagy: Aerokosmos böleklerini gaýtadan işlemekde we synagdan geçirmekde ýokary takyklyk talap edilýär. Mysal üçin, uçar hereketlendirijisiniň pyçaklaryny işläp taýýarlamak, pyçak profiliniň takyklygyny üpjün etmek üçin guralyň hereket traýektoriýasynyň takyk gözegçiligini talap edýär. Bir okly howa ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň granit esasy gural üçin ýokary takyk hereket gözegçiligini üpjün etmek we pyçagyň işleme takyklygynyň dizaýn talaplaryna laýyk gelmegini üpjün etmek üçin bäş okly işläp bejeriş merkezine we beýleki enjamlara ulanylyp bilner. Şol bir wagtyň özünde, awia hereketlendirijisini ýygnamak prosesinde bölekleriň ýygnamak takyklygyny anyklamak üçin ýokary takyklykly ölçeg enjamlaryny ulanmak hem zerurdyr. Granit esasynyň howa ýüzýän hereket moduly ýygnamak hilini üpjün etmek üçin ölçeg enjamlary üçin durnukly goldaw we takyk hereket üpjün edip biler.
Optiki barlag meýdany: Optiki bölekleriň öndürilişi we synagdan geçirilmegi prosesinde optiki bölekleriň ýokary takyklykly ýerleşişini we ölçeglerini ýerine ýetirmek zerurdyr. Mysal üçin, aýnalar we linzalar ýaly ýokary takyklykly optiki bölekleri öndürilende, ýüziň görnüşiniň takyklygyny anyklamak üçin interferometrleri we beýleki enjamlary ulanmak zerurdyr. Bir okly howada ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň granit esasy interferometriň hereket platformasy hökmünde ulanylyp bilner, bu bolsa mikrondan kiçi ýerleşiş takyklygyny amala aşyryp we optiki bölekleri anyklamak üçin takyk maglumat goldawyny berip biler. Mundan başga-da, lazer işläp bejeriş enjamlarynda lazer şöhlesiniň skanirleme traýektoriýasyny dolandyrmak üçin ýokary takyklykly hereket platformasyny ulanmak hem zerurdyr, howada ýüzýän hereket modulynyň granit esasy ýokary takyklykly lazer işläp bejerişine ýetmek üçin bu talaby kanagatlandyryp biler.