Ondarymgeçiriji önümçiligi: Çip öndürmek prosesinde fotolitografiýa prosesi zynjyryň nagşyny takyk wafle geçirmeli. Bir okly howanyň ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň granit bazasy, daşbasma enjamlarynda wafli stol üçin ýokary takyk ýerleşiş we durnukly goldaw berip biler. Mysal üçin, ASML we beýleki halkara meşhur daşbasma maşyn öndürijileri ýokary derejeli enjamlarynda granit bazasynyň howa ýüzýän hereket modullaryny ulanýarlar, bu litografiýa nagşynyň takyklygyny üpjün etmek üçin nanometr derejesinde wafliň ýerleşiş takyklygyna gözegçilik edip biler we şeýlelik bilen çipiň birleşmegini we işleýşini gowulandyrar.
Takyk ölçeg meýdany: CMM, önümçiligiň göwrümini, görnüşini we ýerleşiş takyklygyny ölçemek üçin ulanylýan, önümçilikde köplenç ulanylýan takyk ölçeg enjamydyr. Granit bazasynda ýüzýän ýeke okly howanyň ultra takyk hereket moduly, ýokary takyk çyzykly hereketi amala aşyryp bilýän we ölçeg zondy üçin durnukly hereket traýektoriýasyny üpjün edip bilýän CMM-iň hereket platformasy hökmünde ulanylyp bilner. Mysal üçin, “Hexagon” -yň ýokary derejeli CMM bu kombinasiýany, mikron derejesine çenli takyklygy ölçemek bilen uly we çylşyrymly bölekleri ölçemek üçin ulanýar, awtoulag, howa we beýleki pudaklarda bölekleriň hiline gözegçilik etmek üçin berk kepillik berýär.
Aerokosmos meýdany: Aerokosmiki bölekleri gaýtadan işlemekde we synagdan geçirmekde ýokary takyklyk talap edilýär. Mysal üçin, uçar dwigatelleriniň pyçaklaryny gaýtadan işlemek, pyçagyň profiliniň takyklygyny üpjün etmek üçin guralyň hereket traýektoriýasyna takyk gözegçilik etmegi talap edýär. Bir okly howa ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň granit bazasy, gural üçin ýokary takyk hereket gözegçiligini üpjün etmek we pyçagyň işleýiş takyklygynyň dizaýn talaplaryna laýyk gelmegini üpjün etmek üçin bäş okly işleýiş merkezine we beýleki enjamlara ulanylyp bilner. Şol bir wagtyň özünde, “aero” hereketlendirijisiniň gurnama işinde bölekleriň gurnama takyklygyny kesgitlemek üçin ýokary takyklyk ölçeg enjamlaryny hem ulanmak zerur. Granit bazasynyň howada ýüzýän hereket moduly, gurnama hilini üpjün etmek üçin ölçeg enjamlary üçin durnukly goldawy we takyk hereketi üpjün edip biler.
Optiki gözleg meýdany: Optiki komponentleri öndürmek we synagdan geçirmekde optiki komponentleri ýokary takyk kesgitlemek we ölçemek ýerine ýetirilmeli. Mysal üçin, aýna we linzalar ýaly ýokary takyk optiki komponentler öndürilende, ýerüsti şekiliň takyklygyny kesgitlemek üçin interferometrleri we beýleki enjamlary ulanmaly. -Eke okly howada ýüzýän ultra takyk hereket modulynyň granit bazasy, kiçi mikronyň ýerleşiş takyklygyna düşünip we optiki komponentleri tapmak üçin takyk maglumat goldawyny berip bilýän interferometriň hereket platformasy hökmünde ulanylyp bilner. Mundan başga-da, lazeri gaýtadan işleýän enjamlarda, lazer şöhlesiniň skaner traýektoriýasyna gözegçilik etmek üçin ýokary takyklyk hereket platformasyny ulanmak zerurdyr, howada ýüzýän hereket modulynyň granit bazasy bu talaby kanagatlandyryp biler, ýokary takyk lazer gaýtadan işlemegini gazanar.
Iş wagty: Apr-07-2025