Häzirki wagtda global ýarymgeçirijiler senagaty tranzistor ölçegleriniň bary-ýogy birnäçe atomyň giňligi bilen ölçenýän "Angstrom döwrüniň" yzygiderli gözlegine gatnaşýar. Litografiýa we barlag gurallary bu mikroskopik ölçeglere geçensoň, gurluş durnuklylygyna bolan isleg "makro" ölçegden "nano" ölçegine geçdi. Bu rewolýusiýanyň merkezinde Ýeriň özi ýaly gadymy material ýatyr: Takyk Granit.
Köpler graniti ýönekeý daş hökmünde görseler-de, kontekstdenanopozisiýa tapgyryýa-da ýokary tizlikli wafer barlag ulgamy bolsa, ol çylşyrymly inženerçilik keramikasydyr. Kremniý öndürmekde mümkin bolan çäkleri giňeltmek isleýän OEM-ler üçin esasy metrologiýa gurallary bilen ösen hereket platformalarynyň arasyndaky tapawudy düşünmek möhümdir.
Granit CMM we Granit ýüzleý plitasy: Inženerçilik üýtgeşmesini düşünmek
Köp hil gözegçiligi laboratoriýalarynda,Granit ýüzleý plitael bilen ölçemek üçin ygtybarly, tekiz esas bolan ähli ýerde ulanylýan enjamdyr. Şeýle-de bolsa, ýüzleý plastinkanyň we Granit CMM (Koordinata Ölçeg Enjamy) esasynyň bir-birini çalşyryp boljakdygy barada umumy ýalňyş düşünje bar. Inženerçilik nukdaýnazaryndan, olar iki dürli çylşyrymlylyk derejesini görkezýär.
Ýüzleýiş plitasy statik durnuklylyk üçin niýetlenendir. Onuň esasy wezipesi hereketsiz ýüküň aşagynda tekiz galmakdyr. Tersine, CMM ýa-da takyk tapgyr üçin granit esas dinamiki ýüklere çydap durmaly. CMM-iň köprüsi hereket edende ýa-da çyzykly hereketlendiriji wafer tapgyryny birnäçe Gs tizlendirende, granit diňe bir egilmege däl, eýsem burulma we garmoniki rezonansa hem çydap durmaly.
ZHHIMG inženerleri ýokary dykyzlygy we has inçe däneli gurluşy sebäpli dinamiki ulanylyşlar üçin "Gara Graniti" aýratyn saýlaýarlar. Standart ýüzleý plastinka has gözenekli görnüşi ulanyp bilse-de, CMM binýady ýokary tizlikli hereketiň "çaltlamasynyň" ölçeg maglumatlaryny zaýalaýan gurluş halkasyna öwrülmezligini üpjün etmek üçin mümkin bolan iň ýokary Ýang moduluny talap edýär.
Ýarymgeçirijiler önümçiliginde takyklyk tapgyrlary: hasyllylygyň esaslary
Ýarymgeçirijiler önümçiliginde öndürijilik we girdejilik iň möhüm iki ölçegdir. Ikisi hem işiň netijeliligine gönüden-göni baglydyr.takyklyk tapgyrlaryDUV/EUV litografiýa maşynyndaky wafer tapgyry ýa-da Awtomatlaşdyrylan Optiki Barlag (AOI) guralyndaky ýerleşdiriş ulgamy bolsun, esasy material subnanometr gaýtalanmagyny üpjün etmelidir.
Zawodyň esasy kynçylygy ýylylykdyr. Lineýar hereketlendirijiler we hereketlendirijiler uly möçberde ýylylyk energiýasyny öndürýärler. Eger sahna binýady alýuminiýden ýa-da polatdan ýasalan bolsa, netijede ýüze çykýan ýylylyk giňelmesi plastinkanyň deňleşdirilmezligine sebäp bolardy we bu bolsa çipleriň tutuş tapgyryny zaýalaýan "gaplama ýalňyşlyklaryna" sebäp bolardy.
Granitiň örän pes termal giňelme koeffisiýenti (CTE), motorlar gyzanda-da, sahnanyň fiziki "kartasynyň" üýtgewsiz galmagyny üpjün edýär. Mundan başga-da, ZHHIMG integrasiýa edilen howa göteriji ýollary bilen ýöriteleşdirilen granit böleklerini hödürleýär. Granit aýna ýaly tekizlige çenli örtülip bilinýändigi üçin, ol howa göterijileri üçin ajaýyp garşylyk hökmünde hyzmat edýär we sahnalaryň inçe howa örtüginde nol sürtülme we nol ýapyşma bilen "ýüzmegine" mümkinçilik berýär.
Nanopozisiýa basgançagynyň binýadynyň fizikasy
Biz älemine girenimizdenanopozisiýa tapgyry, biz adamyň saçyndan 10,000 esse kiçi hereketler bilen iş salyşýarys. Bu derejede titreme duşmandyr. Standart senagat pollary HVAC ulgamlary, pyýada hereketi we golaýdaky enjamlar sebäpli yzygiderli titreýär.
Granit ägirt uly pes geçirijili süzgüç hökmünde hereket edýär. Ýokary massasy we ýokary içki dempingi sebäpli, ol ýokary ýygylykly titremeleri duýgur datçiklere ýa-da plastinkanyň özüne ýetmezden öň tebigy ýagdaýda özüne siňdirýär. Bu "passiw izolýasiýa" dünýäniň öňdebaryjy litografiýa üpjün edijileriniň wakuum bilen utgaşykly tapgyrlary üçin agyr, durnukly binýady üpjün etmek üçin ZHHIMG-e bil baglamagynyň sebäbidir. Biziň granitimiz nol gaz çykarylmagyny üpjün etmek üçin ýörite işlenip düzülýär, bu bolsa ony elektron şöhlesi we EUV prosesleri üçin zerur bolan ýokary wakuumly gurşawlara laýyk edýär.
Çäklere çenli aýlanyp geçmek: ZHHIMG-niň artykmaçlygy
Çig daş blokundan ýarymgeçiriji derejeli böleklere geçmek örän sabyrly ýoldur. CNC üwemek bizi ýakynlaşdyrsa-da, soňky "Super-Takyklyk" derejesi el bilen sürtmek arkaly gazanylýar. Bu prosesde ZHHIMG tehnikleri birbada mikronyň böleklerini gyrmak üçin abraziw pastalary we el hereketlerini ulanýarlar.
Üçinnanopozisiýa tapgyry, tekizlik ýeke-täk talap däl; ýol görkeziji ýüzleriň parallelligi we perpendikulýarlygy hem şeýle möhümdir. Biziň desgamyz her bir okuň kämil deňleşdirilendigini barlamak üçin 0,1 ýaý-sekund çözgütli lazer yzarlaýjylaryny we elektron derejelerini ulanýar. Bu ussatlyk derejesi müşderi öz çyzykly hereketlendirijilerini we kodlaýjylaryny gurnanda, mehaniki binýadyň fizikanyň mümkinçilik berşi ýaly "kämillige" golaý bolmagyny üpjün edýär.
Fab-yň geljegini subut edýän
Senagat 2nm düwünlere we ondan hem öňe süýşýän mahaly, material arassalygyna we ölçeg durnuklylygyna bolan talaplar has-da güýçlener. Granitiň beýleki ösen materiallar bilen, meselem, uglerod süýümli köprüler ýa-da keramiki wakuum patronlary bilen integrasiýa edilmegi hereketi dolandyrmakda indiki sepgitdir.
ZHHIMG diňe bir üpjün ediji bolmakdan has köp zada ygrarly bolmagy dowam etdirýär; biz global ýarymgeçiriji üpjünçilik zynjyrynda hyzmatdaşlyk edýän hyzmatdaşdyrys. Indiki nesil takyklyk tapgyrlary üçin zerur bolan örän durnukly binýady üpjün etmek bilen, biz geljegi gurýan maşynlary gurmaga kömek edýäris.
Ýerleşdirilen wagty: 2026-njy ýylyň 2-nji fewraly