Granit bölekleri, ýokary derejeli ýüzleýligi, ýokary berkligi we ajaýyp titreme öçürijiligi ýaly ajaýyp häsiýetleri sebäpli ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde giňden ulanylýar. Granit bölekleri, önümçilik prosesinde takyk ýerleşdirilişi we durnuklylygy üpjün edýändigi üçin, litografiýa maşynlary, jylawlaýjy maşynlar we metrologiýa ulgamlary ýaly ýarymgeçiriji önümçilik enjamlary üçin möhümdir. Granit böleklerini ulanmagyň ähli artykmaçlyklaryna garamazdan, olaryň kemçilikleri hem bar. Bu makalada, ýarymgeçiriji önümçilik prosesi önümleri üçin granit bölekleriniň kemçiliklerini ara alyp maslahatlaşarys.
Birinjiden, granit bölekleri ýokary termal giňelme koeffisiýentine eýedir. Bu olaryň termal dartgynlyk astynda ep-esli giňelýändigini aňladýar, bu bolsa önümçilik prosesinde kynçylyklara sebäp bolup biler. Ýarymgeçirijileri öndürmek prosesi ýokary takyklygy we ölçeg takyklygyny talap edýär, bu bolsa termal dartgynlyk sebäpli bozulmagy mümkin. Mysal üçin, termal giňelme sebäpli kremniý plastinkasynyň deformasiýa edilmegi litografiýa wagtynda deňleşdirme meselelerine sebäp bolup biler, bu bolsa ýarymgeçiriji enjamyň hiline zyýan ýetirip biler.
Ikinjiden, granit böleklerinde ýarymgeçiriji önümçilik prosesinde wakuum syzmalaryna sebäp bolup biljek gözeneklilik kemçilikleri bar. Ulgamda howanyň ýa-da başga bir gazyň bolmagy waferiň ýüzünde hapalanmaga sebäp bolup, ýarymgeçiriji enjamyň işine täsir edip biljek kemçiliklere sebäp bolup biler. Argon we geliý ýaly inert gazlar gözenekli granit böleklerine siňip, wakuum prosesiniň bitewüligine päsgel berip biljek gaz köpürjiklerini döredip biler.
Üçünjiden, granit böleklerinde önümçilik prosesiniň takyklygyna päsgel berip biljek mikro döwülmeler bar. Granit, esasanam yzygiderli stres sikllerine sezewar edilende, wagtyň geçmegi bilen mikro döwülmeler döredip biljek döwülýän materialdyr. Mikro döwülmeleriň bolmagy ölçegleriň durnuksyzlygyna sebäp bolup, önümçilik prosesinde litografiýa deňleşdirilmegi ýa-da waferleriň jylaňlamagy ýaly möhüm meseleleri döredip biler.
Dördünjiden, granit bölekleriniň çeýeligi çäkli. Ýarymgeçiriji önümçilik prosesi dürli proses üýtgeşmelerine laýyk gelýän çeýe enjamlary talap edýär. Şeýle-de bolsa, granit bölekleri berkdir we dürli proses üýtgeşmelerine uýgunlaşyp bilmeýär. Şonuň üçin önümçilik prosesinde islendik üýtgeşme granit böleklerini aýyrmagy ýa-da çalşyrmagy talap edýär, bu bolsa iş wagtyndan öň işlemezlige we öndürijilige täsir etmäge getirýär.
Bäşinjiden, granit bölekleri agramy we ejizligi sebäpli ýörite işlenilmegi we daşalmagy talap edýär. Granit kranlar we göterijiler ýaly ýöriteleşdirilen işlenilýän enjamlary talap edýän dykyz we agyr materialdyr. Mundan başga-da, granit bölekleri daşalma wagtynda zyýanyň öňüni almak üçin ünsli gaplamany we daşalmagy talap edýär, bu bolsa goşmaça çykdajylara we wagta getirýär.
Netijede, granit bölekleriniň ýarymgeçiriji önümçilik prosesiniň önümleriniň hiline we öndürijiligine täsir edip biljek käbir kemçilikleri bar. Bu kemçilikleri granit böleklerine ünsli çemeleşmek we tehniki hyzmat etmek arkaly, şol sanda mikro döwülmeleri we gözeneklilik kemçiliklerini döwürleýin barlamak, hapalanmagyň öňüni almak üçin degişli arassalamak we daşamak wagtynda ünsli ulanmak arkaly azaltmak mümkin. Kemçiliklere garamazdan, granit bölekleri ýokary derejeli ýüzleýligi, ýokary berkligi we ajaýyp titreme öçürijiligi sebäpli ýarymgeçiriji önümçilik prosesiniň möhüm bölegi bolmagynda galýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2023-nji ýylyň 5-nji dekabry