Endokary derejeli önümçilik we iň täze ylmy gözleglerde takyk statiki basyşly howa ýüzýän hereket platformasy ultra takyklyk işini gazanmak üçin esasy enjamdyr. Granit takyklygy platformanyň esasy goldaw bölegi bolup, onuň işleýşi iş gurşawy bilen ýakyndan baglanyşyklydyr. Bu daşky gurşaw talaplaryna düşünmek we ýerine ýetirmek diňe bir platformanyň ýokary takyk işlemegini üpjün etmek bilen çäklenmän, aşakda jikme-jik beýan edilen degişli ugurlarda bäsdeşlige ukyplylygyny ýokarlandyrmak üçin kärhananyň möhüm bölegini hem üpjün edip biler.
1. Temperatura: ölçegli durnuklylygy üpjün etmek üçin takyk gözegçilik
Granit durnuklylygy bilen belli bolsa-da, ýylylyk giňeliş koeffisiýenti nol däl we kiçijik temperaturanyň üýtgemegi onuň ölçeg takyklygyna täsir edip biler. Umuman aýdanyňda, granitiň ýylylyk giňelme koeffisiýenti 5-7 × 10⁻⁶ / is. Takyk statiki basyşly howa ýüzýän hereket platformasynyň ulanylyş ssenarisinde bu sähelçe üýtgeşiklik hereketiň takyklygynyň gyşarmagyna sebäp bolup biljek platforma bilen güýçlendirilýär. Mysal üçin, ýarymgeçiriji çip öndürmek prosesinde, danami derejesiniň takyklyk talaplaryny ýerleşdirmek üçin daşbasma prosesi, 1 ° C daşky gurşaw temperaturasynyň üýtgemegi, 1 metr granit bazasynyň gapdal uzynlygy 5-7 mikron çyzykly giňelme ýa-da gysylma döredip biler, bu çip litografiýa nagşynyň gyşarmagyny üpjün etmek üçin ýeterlikdir. Şonuň üçin granit takyklyk bazasy bilen enjamlaşdyrylan takyk statiki basyşly howa ýüzýän platforma, iň oňat iş gurşawynyň temperaturasy 20 ° C ± 1 ° C-de berk gözegçilikde saklanmalydyr, kärhanalar ýokary takyk hemişelik temperatura kondisioner ulgamyny gurup bilerler, daşky gurşawyň temperaturasyna yzygiderli gözegçilik edip we takyk sazlap bilerler, granit bazasynyň durnuklylygyny saklarlar, platformanyň ýokary takyklygyny üpjün ederler.
2. çyglylyk: esasly gözegçilik, esasy öndürijiligi goramak
Çyglylyk takyk granit esaslaryna-da uly täsir edýär. Highokary çyglylyk gurşawynda granit suw buglaryny siňdirmek aňsat we üstünde kondensasiýa bolup biler, bu diňe howa flotasiýa ulgamynyň kadaly işlemegine päsgel bermän, granitiň uzak wagtlap eroziýasyna sebäp bolup, takyklygyny we hyzmat ediş möhletini azaldar. Optiki obýektiw üweýji ussahanany mysal hökmünde alyp, uzak wagtlap çyglylyk 60% RH-den ýokary bolsa, granit bazasynyň üstünde ýerleşdirilen suw bugy howa ýüzýän filmiň birmeňzeşligini ýok eder, netijede obýektiw üweýiş takyklygynyň we ýerüsti kemçilikleriň peselmegine sebäp bolar. Şonuň üçin iş gurşawynyň otnositel çyglylygyny 40% -60% RH aralygynda gözegçilikde saklamaly. Kärhanalar çyglylygy hakyky wagtda gözegçilik etmek we gözegçilikde saklamak, takyk granit bazasy üçin amatly çyglylyk gurşawyny döretmek we takyk statiki basyşly howa ýüzýän hereket platformasynyň durnukly işlemegini üpjün etmek üçin suwsuzlandyryjylary, çyglylyk datçiklerini we beýleki enjamlary ulanyp bilerler.
3. arassaçylyk: bölejikleriň päsgelçiligini berk gözegçilikde saklaň
Toz bölejikleri takyk statiki basyşly howa ýüzýän hereket platformasynyň "duşmany" bolup, granit takyklyk bazasyna uly zyýan ýetirýär. Kiçijik bölejikler gaz ýüzýän slaýder bilen granit bazasynyň arasyndaky gaz plyonkasynyň boşlugyna girensoň, gaz plýonkasynyň birmeňzeşligini ýok edip biler, sürtülmäni ýokarlandyryp biler we hatda binanyň üstüni çyzyp, platforma hereketiniň takyklygyna täsir edip biler. Aerokosmiki bölekleriň aşa takyk işleýiş ussahanasynda, howadaky tozan bölejikleri granit bazasyna düşse, işleýiş guralynyň hereket traýektoriýasy gyşarnyksyz bolup, bölekleriň işleýiş takyklygyna täsir edip biler. Şonuň üçin iş meýdany ýokary derejede arassa bolmaly we 10,000 ýa-da ondanam ýokary arassaçylyk derejesine ýetmeli. Kärhanalar ýokary netijelilik howa süzgüçlerini (HEPA) oturtmak arkaly howadaky tozan bölejiklerini süzüp bilerler we işgärlerden tozansyz eşikleri, aýakgap örtüklerini we ş.m. geýmegi, adamlar tarapyndan getirilen tozany azaltmak we granit bazasynyň ýokary takyk iş gurşawyny we takyk statiki basyşly howa ýüzýän hereket platformasyny saklap bilerler.
4. Wibrasiýa: tekiz ýer döretmek üçin täsirli izolýasiýa
Daşarky yrgyldy takyk statiki basyş howada ýüzýän platformanyň takyklygyna çynlakaý päsgelçilik döreder, takyk granit bazasynyň belli bir yrgyldy güýji bar, ýöne ýokary güýçli yrgyldy bufer çägini bozup biler. Zawodyň töweregindäki ulaglar we uly mehaniki enjamlaryň işlemegi netijesinde dörän yrgyldy, granit bazasyna ýer arkaly geçirilýär, bu platforma hereketiniň takyklygyna päsgel berer. Endokary derejeli CMM-de yrgyldy ölçeg zondy bilen iş böleginiň arasyndaky aragatnaşygyň durnuksyz bolmagyna sebäp bolup biler, netijede ölçeg maglumatlarynyň gyşarmagyna sebäp bolup biler. Bu meseläni çözmek üçin enjamlary gurnamak meýdanyna yrgyldy izolýasiýa padleri goýmak, yrgyldy izolýasiýa binýadyny gurmak ýa-da daşarky yrgyldylary işjeň ýapmak üçin işjeň yrgyldy izolýasiýa ulgamyny ulanmak we granit takyklygy bazasy we takyk statiki basyş howa ýüzýän hereket platformasy ýaly asuda we durnukly iş gurşawyny döretmek ýaly täsirli yrgyldy izolýasiýa çärelerini kabul etmeli.
Howanyň ýüzýän hereket platformasynda takyk statiki basyşly howa ýüzýän hereket platformasyndaky granit takyklyk bazasynyň artykmaçlyklaryny doly oýnamak, platformanyň dürli pudaklar üçin ýokary takyklygy we ýokary durnukly hereket dolandyryş hyzmatlaryny üpjün etmegini üpjün etmek üçin ýokardaky daşky gurşaw talaplaryna laýyk geliň. Kärhanalar önümçilik gurşawynda bu jikme-jikliklere üns berip bilseler, takyk önümçilikde, ylmy gözleglerde we beýleki ugurlarda pursatdan peýdalanyp, bäsdeşlige ukyplylygyny ýokarlandyrar we durnukly ösüşe ýeter.
Iş wagty: 10-2025-nji aprel