Çip öndürmegiň esasy baglanyşygynda - wafli skanerlemek, enjamyň takyklygy çipiň hilini kesgitleýär. Enjamyň möhüm bölegi hökmünde granit maşyn bazasynyň ýylylyk giňelmegi meselesi köpleriň ünsüni özüne çekdi.
Granitiň ýylylyk giňelme koeffisiýenti adatça 4 bilen 8 × 10⁻⁶ / between arasynda bolup, metallaryň we mermerleriňkiden has pesdir. Diýmek, temperatura üýtgese, ululygy az üýtgeýär. Şeýle-de bolsa, pes ýylylyk giňelmesiniň ýylylyk giňelmesiniň ýokdugyny aňlatmaly däldir. Howanyň aşa üýtgemeginde, sähelçe ulalsa-da, wafli skanirlemegiň nanoskale takyklygyna täsir edip biler.
Wafli gözlemek prosesinde ýylylyk giňelmeginiň birnäçe sebäbi bar. Ussahanadaky temperaturanyň üýtgemegi, enjam bölekleriniň işlemegi netijesinde emele gelen ýylylyk we lazer gaýtadan işlemek arkaly getirilen dessine ýokary temperatura, granit bazasynyň "temperaturanyň üýtgemegi sebäpli giňelmegine we gysylmagyna" sebäp bolar. Baza ýylylyk giňelişini başdan geçirenden soň, ýol görkeziji demirýoluň gönilygy we platformanyň tekizligi sowulyp biler, netijede wafli stolunyň hereket traýektoriýasy nädogry bolar. Goldaw berýän optiki komponentler hem süýşer, skaner şöhlesiniň "sowulmagyna" sebäp bolar. Uzak wagtlap üznüksiz işlemek hem ýalňyşlyklary ýygnap, takyklygy hasam erbetleşdirer.
Worryöne alada etme. Adamlarda eýýäm çözgütler bar. Materiallar taýdan ýylylyk giňelişiniň pes koeffisiýenti bolan granit damarlary saýlanar we garrylyk bejergisine sezewar ediler. Temperatura gözegçiligi nukdaýnazaryndan, ussahananyň temperaturasy 23 ± 0,5 ℃ ýa-da ondanam pes derejede dolandyrylýar we baza üçin işjeň ýylylyk paýlaýjy enjam hem dörediler. Gurluş dizaýny taýdan simmetrik gurluşlar we çeýe goldawlar kabul edilýär we temperatura datçikleri arkaly hakyky wagtda gözegçilik edilýär. Malylylyk deformasiýasy sebäpli ýüze çykan ýalňyşlyklar algoritmler bilen dinamiki düzedilýär.
ASML litografiýa maşynlary ýaly ýokary derejeli enjamlar, bu usullar arkaly granit bazasynyň ýylylyk giňeliş täsirini gaty az aralykda saklaýar, wafli skaneriniň takyklygyny nanometr derejesine ýetirmäge mümkinçilik berýär. Şonuň üçin, dogry gözegçilik edilýänçä, granit bazasy wafli skaner enjamlary üçin ygtybarly saýlaw bolup galýar.
Iş wagty: Iýun-12-2025