Çip önümçiliginiň esasy ulgamynda - wafer skanirleme ulgamynda, enjamyň takyklygy çipiň hilini kesgitleýär. Enjamyň möhüm bölegi hökmünde granit maşynyň esasynyň termal giňelme meselesi köp üns çekdi.
Granitiň termal giňelme koeffisiýenti adatça 4 bilen 8×10⁻⁶/℃ aralygynda bolýar, bu bolsa metallaryň we mermeriňkiden has pesdir. Bu, temperatura üýtgeýän wagty, onuň ölçeginiň deňeşdirme boýunça az üýtgeýändigini aňladýar. Şeýle-de bolsa, pes termal giňelme termal giňelme ýok diýmek däldigini bellemeli. Temperaturanyň aşa üýtgeýän ýagdaýynda, hatda iň kiçi giňelme hem wafer skanirlemesiniň nanoskal takyklygyna täsir edip biler.
Plastinkany skanirleme prosesinde termal giňelmegiň köp sanly sebäpleri bar. Ussahanadaky temperatura üýtgemeleri, enjam bölekleriniň işlemeginden döreýän ýylylyk we lazer bilen işlemegiň getirýän derrew ýokary temperaturasy granit esasynyň "temperatura üýtgemeleri sebäpli giňelmegine we gysylmagyna" sebäp bolar. Esasyň termal giňelmeginden soň, ýol görkeziji reýsiň göniligi we platformanyň tekizligi üýtgeýär, bu bolsa plita stolunyň hereket traýektoriýasynyň nädogry bolmagyna getirýär. Destekleýji optiki bölekler hem süýşýär, bu bolsa skanirleme şöhlesiniň "sönmegine" sebäp bolýar. Uzak wagtlap üznüksiz işlemek hem ýalňyşlyklaryň toplanmagyna sebäp bolar, bu bolsa takyklygy barha ýaramazlaşdyrar.
Ýöne alada etme. Adamlaryň eýýäm çözgütleri bar. Materiallar babatda, termal giňelme koeffisiýenti pes bolan granit damarlary saýlanyp, köneliş bejergisine sezewar ediler. Temperatura gözegçiligi babatda, sehiň temperaturasy 23±0.5℃ ýa-da ondan hem pes derejede takyk dolandyrylýar we esas üçin işjeň ýylylyk ýaýradyjy enjam hem dizaýn ediler. Gurluşyk dizaýny babatda simmetriki gurluşlar we çeýe daýançlar kabul edilýär we temperatura datçikleri arkaly real wagt gözegçiligi amala aşyrylýar. Termal deformasiýanyň döreden ýalňyşlyklary algoritmler arkaly dinamiki taýdan düzedilýär.
ASML litografiýa enjamlary ýaly ýokary derejeli enjamlar bu usullar arkaly granit esasynyň termal giňelme täsirini örän kiçi aralykda saklaýar, bu bolsa wafer skanirleme takyklygynyň nanometr derejesine ýetmegine mümkinçilik berýär. Şonuň üçin, dogry dolandyrylýança, granit esasy wafer skanirleme enjamlary üçin ygtybarly saýlaw bolmagynda galýar.
Ýerleşdirilen wagty: 2025-nji ýylyň 12-nji iýuny