Um Alumina (Al2O3)
“ZhongHui” intellektual önümçilik topary (ZHHIMG) tarapyndan öndürilen takyk keramiki bölekler ýokary arassa keramiki çig maldan, 92 ~ 97% alýuminden, 99.5% alýuminden,> 99,9% alýuminden we CIP sowuk izostatik basyşdan öndürilip bilner.Temperatureokary temperaturany arassalamak we takyk işlemek, ölçeg takyklygy ± 0,001mm, Ra0.1 çenli tekizlik, 1600 gradusa çenli temperaturany ulanyň.Müşderileriň talaplaryna laýyklykda dürli reňkler ýasalyp bilner, meselem: gara, ak, goýy, goýy gyzyl we ş.m. uzak wagtlap ýokary temperaturada, wakuumda we poslaýjy gaz gurşawynda ulanylýar.
Dürli ýarymgeçiriji önümçilik enjamlarynda giňden ulanylýar: Çarçuwalar (keramiki ýaý), Substrat (esas), Arm / Bridge (manipulýator), Mehaniki komponentler we keramiki howa göteriji.
| Haryt ady | Pokary arassalyk 99 Alumina keramiki meýdany turba / turba / çybyk | |||||
| Indeks | Bölüm | 85% Al2O3 | 95% Al2O3 | 99% Al2O3 | 99.5% Al2O3 | |
| Dykyzlygy | g / cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
| Suwuň siňdirilmegi | % | <0.1 | <0.1 | 0 | 0 | |
| Sinterli temperatura | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Gatylyk | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Egilmek güýji (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Sykyş güýji | Kgf / cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
| Uzak wagtlap işlemegiň temperaturasy | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Maks.Iş temperaturasy | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Sesiň çydamlylygy | 20 ℃ | Ω.cm3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
| 100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
| 300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 | ||
Highokary arassalyk alýumin keramikasynyň ulanylyşy:
1. icarymgeçiriji enjamlara ulanylýar: keramiki wakuum çuk, kesiş diski, arassalaýjy disk, keramiki CHUCK.
2. Wafli geçiriji bölekler: wafli işleýän çukurlar, wafli kesýän diskler, wafli arassalaýjy diskler, wafli optiki gözden geçiriş käseleri.
3. LED / LCD tekiz panelli ekran senagaty: keramiki burun, keramiki ýylmaýjy disk, LIFT PIN, PIN demir ýoly.
4. Optiki aragatnaşyk, gün senagaty: keramiki turbalar, keramiki çybyklar, zynjyr tagtasynyň ekrany keramiki gyryjylar.
5. atylylyga çydamly we elektrik izolýasiýa bölekleri: keramiki podşipnikler.
Häzirki wagtda alýumin oksid keramikasyny ýokary arassalyga we umumy keramika bölmek mümkin.Alokary arassalyk alýumin oksidi keramika seriýasy 99,9% -den gowrak Al₂O₃ bolan keramiki materiallara degişlidir.1650 - 1990 ° C çenli arassalaýjy temperaturasy we 1 ~ 6μm tolkun uzynlygy sebäpli, adatça platinanyň ýerine birleşdirilen aýna gaýtadan işlenýär: ýeňil geçirijiligi we poslama garşylygy sebäpli natriý turbasy hökmünde ulanylyp bilner. aşgar metal.Elektronika pudagynda IC substratlary üçin ýokary ýygylykly izolýasiýa materialy hökmünde ulanylyp bilner.Alýumin oksidiniň dürli mazmunyna görä, umumy alýumin oksidi keramiki seriýasyny 99 keramika, 95 keramika, 90 keramika we 85 keramika bölmek bolar.Käwagt, alýumin oksidiniň 80% ýa-da 75% -i bolan keramika umumy alýumin oksidi keramiki seriýa hökmünde hem bölünýär.Şolaryň arasynda 99 sany alýumin oksidi keramiki material ýokary temperaturaly, ýangyna garşy peç turbasyny we keramiki podşipnikler, keramiki möhürler we klapan plitalary ýaly ýokary temperatura çydamly materiallary öndürmek üçin ulanylýar.95 alýumin keramika esasan poslama garşy aşaga garşy bölek hökmünde ulanylýar.85 keramika köplenç käbir häsiýetlerde garylýar we şeýlelik bilen elektrik öndürijiligini we mehaniki güýjüni ýokarlandyrýar.Molibden, niobium, tantal we beýleki metal möhürleri ulanyp biler, käbirleri elektrik vakuum enjamlary hökmünde ulanylýar.
| Hil elementi (wekilçilik gymmaty) | Haryt ady | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Himiki düzümi Az natriý aňsat süzgüç önümi | H₂O | % | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
| LOl | % | 0.1 | 0.2 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | |
| SiO₂ | % | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.03 | 0.02 | 0.04 | 0.04 | |
| Na₂O | % | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.04 | 0.02 | 0.04 | 0.03 | |
| MgO * | % | - | 0.11 | 0.05 | 0.05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
| Orta bölejikleriň diametri (MT-3300, lazer derňew usuly) | μm | 0.44 | 0.43 | 0.39 | 0.47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| α Kristal ululygy | μm | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0.3 | 0,3 ~ 1.0 | 0.3 ~ 4 | 0.3 ~ 4 | |
| Dykyzlygy emele getirmek ** | g / cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
| Sintering dykyzlygy ** | g / cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
| Sinter çyzygynyň gysyş tizligi ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO Al₂O₃ arassalygyny hasaplamaga goşulmaýar.
* 29.4MPa (300kg / cm²) ulaldyjy poroşok ýok, süzgüç temperaturasy 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: 0,05 ~ 0,1% MgO goşuň, geçirijiligi ajaýyp, şonuň üçin arassalygy 99% -den gowrak bolan alýumin oksid keramikasyna degişlidir.
AES-22S: formokary emele getirýän dykyzlyk we süzgüç çyzygynyň pes kiçelmegi bilen häsiýetlendirilýär, süýüm görnüşli guýma we zerur ölçeg takyklygy bilen beýleki uly göwrümli önümlere degişlidir.
AES-23 / AES-31-03: AES-22S-den has ýokary emele getiriş dykyzlygy, dikotropiýa we pes ýapyşyklylygy bar.öňküsi keramika bilen meşgullanýar, ikinjisi bolsa ýangyn geçirmeýän materiallar üçin suw azaldyjy hökmünde ulanylýar we meşhurlyk gazandy.
♦ Silikon Karbid (SiC) aýratynlyklary
| Umumy aýratynlyklar | Esasy komponentleriň arassalygy (wt%) | 97 | |
| Reňk | Gara | ||
| Dykyzlygy (g / cm³) | 3.1 | ||
| Suwuň siňdirilmegi (%) | 0 | ||
| Mehaniki aýratynlyklar | Fleksural güýç (MPa) | 400 | |
| Modaş modul (GPa) | 400 | ||
| Wikersiň gatylygy (GPa) | 20 | ||
| Malylylyk aýratynlyklary | Iň ýokary iş temperaturasy (° C) | 1600 | |
| Malylylyk giňelme koeffisiýenti | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
| (1 / ° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
| Malylylyk geçirijiligi (W / m x K) | 130 110 | ||
| Malylylyk zarbasyna garşylyk ΔT (° C) | 300 | ||
| Elektrik aýratynlyklary | Ses garşylygy | 25 ° C. | 3 x 106 |
| 300 ° C. | - | ||
| 500 ° C. | - | ||
| 800 ° C. | - | ||
| Dielektrik hemişelik | 10 GGs | - | |
| Dielektrik ýitgisi (x 10-4) | - | ||
| S faktor (x 104) | - | ||
| Dielektrik bölek naprýa .eniýesi (KV / mm) | - | ||
♦ Silikon Nitride keramika
| Material | Bölüm | Si₃N₄ |
| Sinter usuly | - | Gaz basyşy |
| Dykyzlygy | g / cm³ | 3.22 |
| Reňk | - | Gara çal |
| Suwuň siňdiriş derejesi | % | 0 |
| Modaş modul | Gpa | 290 |
| Wikers gatylygy | Gpa | 18 - 20 |
| Sykyş güýji | Mpa | 2200 |
| Egilmek güýji | Mpa | 650 |
| Malylylyk geçirijiligi | W / mK | 25 |
| Malylylyk zarbasyna garşylyk | Δ (° C) | 450 - 650 |
| Iň ýokary iş temperaturasy | ° C. | 1200 |
| Sesiň çydamlylygy | Ω · sm | > 10 ^ 14 |
| Dielektrik yzygiderli | - | 8.2 |
| Dielektrik güýji | kV / mm | 16 |