Wafer barlagy we metrologiýa üçin ultra takyk granit esasy

1. Ýokary derejeli material ylmy: ZHHIMG® Gara granit

Adaty granitden ýa-da has beteri, has ünssiz önüm öndürijiler tarapyndan ulanylýan pes derejeli mermerden tapawutlylykda, ZHHIMG esaslary diňe biziň hususy ZHHIMG® Gara Granitimizden gurulýar.

● Ajaýyp Dykyzlyk: Biziň materialymyz ≈ 3100 kg/m³ täsirli dykyzlyga eýedir, bu bolsa Ýewropadan we Amerikanyň köp sanly adaty gara granitlerinden has ýokarydyr.

● Termal Durnuklylyk: Ýokary dykyzlyk we minimal suw siňdirişi ýokary ölçegli durnuklylygy üpjün edýär we möhüm barlag sikllerinde termal süýşmäniň täsirini ep-esli azaldýar.

● Titreşimiň öçürilmegi: Tebigy mineral gurluşy ajaýyp içki öçürmegi üpjün edýär, bu bolsa duýgur optika we datçikleri daşarky titreşimden aýyrmak üçin zerurdyr.

2. Taýsyz önümçilik we ýygnamak ukyby

Takyklyga bolan ygrarlylygymyz esasy ynanjymyz bilen jemlenendir: "Takyklyk işi gaty talapkär bolup bilmez."

● Ussatlyk ussatlygy: Biziň esaslarymyz 30 ýyldan gowrak tejribesi bolan ussat tehnikler tarapyndan el bilen abatlanýar, olar nanometr derejesine çenli ýüziň tekizligini we parallelligini gazanyp bilýärler — takyklyk Renishaw lazer interferometrleri we WYLER elektron derejeleri bilen tassyklanyldy.

● Gözegçilik edilýän gurşaw: Işleýiş we gutarnykly ýygnamak işleri 10,000 m² temperatura we çyglylyk gözegçilik edilýän arassa otagymyzda (ýarymgeçiriji fabrikasynyň berk şertlerini modelirlemek arkaly) geçirilýär. Bu desga 1000 mm galyňlykdaky beton binýady we 2000 mm çuňlukdaky titreme garşy hendekleri öz içine alýar, bu bolsa hakykatdanam durnukly metrologiýa gurşawyny üpjün edýär.

3. Integrasiýalaşdyrylan takyk dizaýn (Suratda görkezilişi ýaly)

Esasy, adatça, çylşyrymly gurluş hökmünde hödürlenýär, köplenç aşakdakylary öz içine alýar:

● L görnüşli/Gantry gurluşlary: Surat başlarynyň dik hereketini (Z okuny) goldamak üçin niýetlenen, ortogonallygy we geometrik takyklygy üpjün edýär.

● Takyk oýuklar we goýmalar: Howa podşipniklerini, çyzykly hereketlendirijileri (XY Table), wizual ulgamlary we ýol görkeziji reýsleri (THK, HIWIN, Rexroth) oturtmak üçin dişli polat goýmalar we takyk dübel deşikleri bolan öňünden işlenen ýüzler.

● Özleşdirme: Biz uly göwrümli işläp bejermekde ýöriteleşýäris, uzynlygy 20 metre çenli we agramy 100 tonna çenli bolan monolit granit esaslaryny enjamyňyzyň çägine laýyk gelýän görnüşde taýýarlap bilýäris.